Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике, и позволяет повысить степень сжатия насоса. Ротор 2 поперечными перегородками (ПП) 4 и 5 разт делен на ряд ступеней (С). ПП 5 перед каждой четной по ходу откачивае мого газа С имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии. В ПП 4 перед каждой нечетной С выполнены радиальные прорези 6 и на уровне ПП .4 в зазоре расположены уплотняющие элементы, выполненные в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса 1. Форма поверхностей ПП 5 н выступов 7 обусловливает преимущественное отражение молекул газа в направлении последующей С, что снижает обратные перетечки газа. 2 ил. (Л к

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

1511 4 F 04 0 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 918552(21) 3980731/25-06 (22) 28.10.85 (46) 07.04.87.Вюл. 9 13 (7!) МВТУ им.Н.Э.Баумана (72) К.Е.Демихов, В.Д.Лубенец и В.А.Мешков (53) 621,527.8 (088.81 (56) Авторское свидетельство СССР

9 918552, кл. F 04 D 19/04, 1980. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЬЙ ВАКУУМНЬП!

НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить степень сжатия насоса. Ротор 2 попеÄÄSUÄÄ 1302023 A 2 речными перегородками (ПП) 4 и 5 раз-, делен на ряд ступеней (С ) . ПП 5 перед каждой четной по ходу откачивае мого газа С имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии. В ПП 4 перед каждой нечетной С выполнены радиальные прорези 6 и на уровне

ПП,4 в зазоре расположены уплотняющие элементы, выполненные в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса 1. Форма поверхностей ПП 5 и выступов 7 обусловливает преимущественное отражение молекул газа в направлении последующей С, что снижает обратные перетечки газа. 2 ил.

1 130202

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов и является усовершенствованием изобретения по авт.св.¹ 918552.

Цель изобретения — повышение степени сжатия насоса.

На фиг.l представлен насос с двухсторонней конусностью уплотняющих 10 элементов, продольный разрез; на фиг.2 — то же, с одноеторонней конусностью уплотняющих элементов.

Турбомолекулярный вакуумныи насос

15 содержит корпус 1 и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор

2. с лопатками 3, расположенными параллельно оси насоса. В роторе 2 установлены поперечные перегородки 20

4 и 5, разделяющие его на ряд ступе— ней, причем в перегородках 4 перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполняют радиаль25 ные прорези 6, в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6 расположены уплотняющие элементы, а лопатки

3 в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона. Поперечные перегородки 3 перед каждой четной ступенью имеют перемен— ную толщину, уменьшающуюся к их периферии, а уплотняющие элементы вы—

3 2 и олнены в виде конических выс тупов 7, обращенных вершинами к оси корпуса I.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 насоса, где молекулы его взаимодействуют с лопатками 3 ротора 2 и получают импульс в направлении откачки. Молекулы, попадающие в пространство между соседними ступенями, соударяются с поверхностями перегородок 5 и выступов 7, причем форма этих поверхностей обуславливает преимущественное отражение ударяющихся молекул газа в направлении последующей ступени и тем самым обеспечивается наименьшее отражение в сторону: предыдущей ступени, что позволяет снизить обратные перетечки газа в насосе и, следовательно, повысить

его степень сжатия.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос по авт.св.№ 918552, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, поперечные перегородки перед каждой четной ступенью имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии, а уплотняющие элементы выполнены в виде конических выступов, обращенных вершинами к оси корпуса.

ВНИИПИ Заказ 1200/35 Тираж 575 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул; Проектная; 4