Способ определения разнотолщинности пленки

 

Изобретение относится к измерительной технике и 1иожет быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки. Целью изобретения является повышение точности. Свет от источника 1 проходит через конденсор 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на пленку 9, отражаясь от которой, из.меняет свои параметры , проходит через фазовую пластину 5 т, анализатор 6 и светофильтр 7. Изменяют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6 и получают минимальную интенсивность света. Визуально оценивают равномерность пленки, выбирают характерные точки и с помощью сетки 8 находят их координаты, по которым строят номограммы. С их по.мощью определяют поправки к углу наблюдения. Вновь из.меняют ази.муты поляризации и повторно определяют толщины с учетом поправок к углу наблюдения. По разности полученных значений толщин пленок в выбранных точках определяют разнотолщинность пленки. 1 ил. (Л 4 Ю 05

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК 5114 6 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4004112/24-28 (22) 08.01.86 (46) 07.06.88. Бюл. № 21 (72) Ю. И. Урывский, А. А. Чуриков и А. Н. Седов (53) 531.715.27 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 856806, кл. Ci 01 В 11/06, 1981. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩИННОСТИ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие полупроводниковые подложки. Целью изобретения является повышение точности. Свет от источника 1 проходит через конденсор 2, ÄÄSUÄÄ 1401267 А ) светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на пленку 9, отражаясь от которой, изменяет свои параметры, проходит через фазовую пластину

5 —, анализатор 6 и светофильтр 7. Измен.

4 няют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6 и получают минимальную интенсивность света. Визуально оценивают равномерность пленки, выбирают характерные точки и с помощью сетки 8 находят их координаты, по которым строят номограммы. С их помощью определяют поправки к углу наблюдения. Вновь изменяют азимуты поляризации и повторно определяют толщины с учетом поправок к углу наблюдения. По разности полученных значений толщин пленок в выбранных точках I определяют разнотолщинность пленки. 1 ил.

1401267

Формула изобретения + с

Ьф = +.arctg — — — —, L

Составитель H. Захаренко

Редактор О. Головач Техред И. Верес Корректор А. Зимокосов

Заказ 2532/38 Тираж б80 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

I 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения разнотолщинности фоторезистивных пленок, нанесенных на отражающие по1 лупроводниковые подложки.

Целью изобретения является повышение точности.

На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ.

Устройство содержит источник 1 света, конденсор 2, светофильтр 3, линейный по3 ляризатор 4, фазовую пластину 5 —, анализатор 6, светофильтр 7, координатную сетку 8 с постоянным шагом и пленку 9.

Способ реализуют следующим образом.

Свет от источника 1 проходит через конденсор 2, светофильтр 3, линейный поляризатор 4 и под определенным углом падает на исследуемую пленку 9. Отражаясь от исследуемой пленки 9, линейно поляризованный свет изменяет свои параметры и в общем случае превращается в эллиптически поляризованный свет, азимут которого отличается от азимута, падающего на пленку 9 линейно поляризованного света, проходит через фазовую пластину 5, анализатор 6 и светофильтр 7.

Изменяют азимуты плоскостей пропускания поляризатора 4, анализатора 6, расположенных в падающем и отраженном свете при неизменном положении фазовой пластины 5, и получают минимальную («нулевую») интенсивность наблюдаемого глазом поляризованного света. Если пленка разнотолщинная, минимальная интенсивность достигается только на тех участках, где толщина пленки одинакова. Остальные участки светлее. Таким образом, получают визуально наблюдаемые изображения темных и светлых участков пленки.

Визуально оценивают равномерность пленки и выбирают характерные точки для исследования (количество точек определяется характером наблюдаемой картины и задачей на проведение исследований). Для выбранной точки, например, на темном участке с помощью координатной сетки 8 находят координаты точки х, у., по которым, пользуясь полученными заранее исходя из формулы аф =1(х;,у;) номограммами, определяют поправку к углу наблюдения по зависимости

X +у>

Ьф = arctg

5 где1 — расстояние от характернои точки до входного зрачка устройства.

Изменением азимутов анализатора и поляризатора 4 для данной точки настраивают устройство на минимальную интенсивность до тех пор, пока светлые участки не станут темными. Определяют параметры поляризованного света, по ним с учетом поправки к углу наблюдения для вновь выбранной точки находят толщину планки.

По разности полученных значений толщин пленки в выбранных точках определяют разнотолщинность пленки.

Способ определения разнотолщинности пленки, заключающийся в том, что направляют на поверхность пленки napaëëåëüíûé поляризованный пучок монохроматического света, изменяют параметры поляризованноIo пучка света до получения визуально наблюдаемых изображений темных и светлых участков и определяют толщину пленки в разных местах, по разности которых судят о разнотолщинности пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, проЗО изводят выбор нескольких характерных точек на пленке, определяют их координаты с помощью прямоугольной координатной сетки с постоянным шагом, по номограммам зависимости

/зф= f(x,,у .), 35 где А ф — поправка к углу характерных точек; х;, у; — координаты характерных точек, определяют поправку к углу наблюдения по зависимости

40 где L — расстояние от характерной точки до выходного зрачка устройства, а определение разнотолщинности пленки производят с учетом поправки к углу наблюдения.