Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения путем улучшения качества изображения, повышения разрешающей способности, а также измерения разности фаз вместо разности хода. Пучок света выходит из коллиматора 2, проходит поляризационный светофильтр 3 и светоделителем 4 в виде плоскопараллельной пластинки делится на два пучка, идущих в рабочую ветвь и ветвь сравнения. Пройдя через микрообъектив 5 и отражаясь от измеряемой поверхности 11, световой пучок выходит из рабочей ветви, сохраняя направление плоскости поляризации . Световой пучок, попадающий в ветвь сравнения, проходит через четвертьволновую пластинку 6, микрообъектив 7 и падает на референтное зеркало 8, Отраженный от референтного зеркала 8 пучок проходит через микрообъектив 7 и пластинку 6, после чего плоскость колебаний его оказывается повернутой на 90. При наложении световых колебаний, вышедших из обеих ветвей, получается, что результирующее колебание имеет разность фаз, пропорциональную глубине неровности на измеряемой поверхности 11 о 1 ил. с %е (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4219831/24-28 (22) 19.02.87 (46) 30.07.88. Бюп. 11 28 (75) Ф.М.Солодухо и И.В.Шмаев (53) 531.7 15.27 (088.8) (56) Колометцов 1О.В. Интерферометры.

Л.: Машиностроение, 1976, с.225.

Патент США Ф 3.620.593, кл. 350/2, 1971. (54) МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ. ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель иэобретения— повышение точности измерения путем улучшения качества изображения, повышения разрешающей способности, а также измерения разности фаз вместо разности хода. Пучок света выходит.из коллиматора 2, проходит поляризационный светофильтр 3 и светодедителем 4

„„SU„„1413417 А1 (51)4 G 01 В 11/30 в виде плоскопараллельной пластинки делится на два пучка, идущих в рабочую ветвь и ветвь сравнения. Пройдя через микрообъектив 5 и отражаясь от измеряемой поверхности 11, световой пучок выходит из рабочей ветви, сохраняя направление плоскости поляризации. Световой пучок, попадающий в ветвь сравнения, проходит через четвертьволновую пластинку 6, микрообъектив 7 и падает на референтное зеркало 8. Отраженный от референтного зеркала 8 пучок проходит через микрообъектив 7 и пластинку 6, после чего плоскость колебаний его оказывается повернутой на 90 . При наложении о световых колебаний, вышедших из обеих ветвей, получается, что результирующеее колебание имеет разность фаз, пропорциональную глубине неровности на измеряемой поверхности 11. 1 ил.

1413417

Благодаря поляризационному светофильтру 3, помещенному в осветительную часть микроинтерферометра, включается четвертьволновая пластинка иэ рабочей ветви микроинтерферометра и используется в качестве светоделителя 4 стандартная разделительная плоскопараллельная пластинка, что упрощает и удешевляет микроинтерферометр, повышает точность измерения.

Формула и э о б р е т е н и я

Составитель Л.Лобзова

Редактор А.Маковская . Техред А.Кравчук Корректор Э.Лончакона

Заказ 3782/41

Тираж 680

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительь ной технике и може т быть исполь- зовано, в частности, для измерения шер охов а тости повер хиос ти.

Цель изобретения — повышение точности измерения путем повышения качества изображения (путем устранения многократных отражений в светоделительной призме), повышения разрешающей способности, а также измерения разности фаэ. вместо разности хода.

На чертеже представлена оптическая схема микроинтерферометра.

Микроинтерферометр содержит последовательно расположенные на одной оптической оси источник света, коллиматор 2, поляризационный светофильтр 3, светоделитель,4 для разделения излучения на две ветви, выполнен- 2g ный в виде плоскопараллельной .пластинки, микрообъектив 5, установленный в одной ветви, четвертьволновую пластинку 6, микрообъектив 7 и референтное зеркало 8, последовательно ус- 25 тановленные в другой ветви, зрительную трубу 9 и расположенный по ходу излучения перед ней компенсатор 10

Сенармона.

Микроинтерферометр работает следующим образом, Пучок света выходит из коллиматора

2, проходит поляризационный светофильтр 3 (плоскость колебания пучка совпадает. с плоскостью чертежа, что условно показано стрелками).и свето35 делителем 4 в виде плоскопараллельной пластинки делится на два пучка, идущих в рабочую ветвь и ветвь сравнения. Пройдя через микрообъектив 5 и отразившись рт измеряемой поверхности 11, световой пучок выходит из рабочей ветви микроинтерферометра, сохранив направление плоскости поляризации, Световой пучок, попадающий в ветвь сравнения, проходит через четвертьволновую пластинку 6, микрообъектив 7 и попадает на референтное зеркало 8. Отраженный от референтного зеркала 8 пучок проходит через микрообъектив 7 и пластинку 6, после чего плоскость колебаний его оказывается повернутой на 90, т.е. лежит в плосо кости, перпендикулярной чертежу (условно показано точкой). При наложении световых колебаний, вышедших из обеих ветвей микроинтерферометра, получается, что результирующее колебание имеет разность фаз, пропорциональную глубине неровности на измеряемой поверхности 11. Результирующий пучок попадает в компенсатор, 10 Сенармона, с помощью которого измеряется разность фаз между двумя ветвями микроинтерферометра.

Микроинтерферометр для измерения шероховатости поверхности, содержащий последовательно расположенные на одной оптической оси источник света, коллиматор, светоделитель для разделения излучения на две ветви, микрообъектив, установленный в одной ветви, четвертьволновую пластинку, микрообъектив и референтное зеркало, последовательно установленные в другой ветви, зрительную трубу и расположенный по ходу излучения перед ней компенсатор Сенармона, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен поляризационным светофильтром, установленным между коллиматором и светоделителем, а последний выполнен в виде плоскопараллельной пластинки.