Сорбционный вакуумный насос

 

изобретение относится к конструкциям сорбционных вакуу.мны.х насосов с нераспыляемыми газоноглотителя.ми. Цель изобретения - улучшение откачны.х .характеристик насоса, а также повышение его экономичности . В корпусе I с в.ходным патрубком 2 размеш,ены но оси нагреватель 3 и о.чватываюший его кольцевой сорбционный блок, который выно;1нен в виде втулки 4 и закрепленных на ней по спирали сорбционных элементов 5. Последние .м. б. расположены с переменным шагом между витка.ми спирали, увеличивающимся от патрубка 2, что способствует меньшему сопротивлению молекулам газа, проникающим в глубину насоса, что в целом увеличивает откачные характеристики насоса. Элементы 5 м.б. выполнены в виде секторов, при это.м ось симметрии каждого сектора расположена к оси корпуса под острым углом, что обеспечивает экранировку элементов 5 соседних витков спирали. Это приводит к уменьшению потери тепла, выделяемого нагревателем, а следовательно, дает возможность повысить экономичность насоса. Выполнение эле.ментов 5 в виде секторов , которые могут располагаться с перекрытием зазоров между ними по вертикали , позволяет при повышении проводимости блока и, соответственно, увеличении быстроты действия уменьшить обратный поток газа из сорбционного блока к входному патрубку. 3 з.н. ф-лы, 4 ил. to сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (5114 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (f>

С:

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4116503)25-06 (22 ) 27.06.86 (46) 15.09.88. Бюл. Х<> 34 (71) Московский институт электронного машиностроенияия (72) 3. В. Быков, В. В. Вислоух, О. И. Кондрашова и С. Н. Смирнов (53) 621.528.6 (088.8) (56) Волчкевич Л. И. Высоковакуумные адсорбционные насосы. М.: Машиностроение, 1973, с. 105. (54) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НЛСОС (57) Изобретение относится к конструкциям сорбционных вакуумныx насосов с нераспыляемыми газопоглотителями. Цель изобретения улучшение откачных характеристик насоса, а также повышение его экономичности. В корпусе 1 с входным патрубком

2 размещены по оси нагреватель 3 и охватывающий его кольцевой сорбционный блок, который выполнен в виде втулки 4 и закреп„„SU„„1423787 А 1 ленных на ней по спирали сорбционных элементов 5. Г1оследние м. б. расположены с переменным шагом между витками спирали, увеличивающимся от патрубка 2, что способствует меньшему сопротивлению молекулам газа, проникающим в глубину насоса, что в целом увеличивает откачные характеристики насоса. Элементы 5 м.б. выполнены в виlt секторов. при этом î b симметрии каждого сектора расположена к оси корпуса под острым углом, что обеспечивает экранировку элементов 5 соседних витков спирали. Это приводит к уменьшению потери тепла, выделяемого нагревателем, а следовательно. дает возможность повысить экономичность насоса. Выполнение элементов 5 в виде секторов, которые могут располагаться с перекрытием зазоров между ними по вертикали, позволяет при повышении проводимости блока и, соответственно, увеличении быстроты действия уменьшить обратный поток газа из сорбционного блока к входному патрубку. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

1323787

Формула изобретения

QU7 2

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с нераспыляемыми газопоглотителям и.

Цель изобретения — улучшение откач5 ных характеристик насоса, а также повышение его экономичности.

На фиг. 1 представлен насос с сорбционными элементами в виде секторов окружности, общий вид; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — насос с увеличива10 ющимся шагом между витками спирали, общий вид; на фиг. 4 -- разрез Б- — Б на фиг. 3.

Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с осевым входным патрубком

2 и размещенные в корпусе 1 по оси нагреватель 3 и охватывающий его кольцевой сорбционный блок, выполненный в виде втулки 4 и закрепленных на ней по спирали сорбционных элементов 5. Последние расположены с переменным шагом между витками спирали, увеличивающимся от входного Il I1 рубка 2, и выполнены в виде секторов, причем ось симметрии каждого сектора pacIIoложена к оси корпуса 1 под острым углом.

Насос работает следующим образом.

В качестве сорбента на сорбционных элементах 5 используется нераспыляемый газопоглотитель, например спеченый порошок титана, который активно поглощает газы при высокой температуре. Включение насоса в З0 работу осуществляется путем включения нагревателя 3, тепло от которого через втулку 4 передается сорбционным элементом 5.

Газ, поступающий в насос через входной патрубок 2, взаимодействует с сорбционными элементами, где поглощается. Поскольку элементы 5 расположены Ilo спирали вокруг втулки 4, е поглощенные молекулы газа свободно IlpoHIIKBK)T н глубину насоса, где вероятность их поглощении за счет многократного соударенпя с поглощающей по- 40 верхностью увеличивается. Переменный шаг спирали, увеличивающийся от входного патрубка, способствует меньшему сопротивлению молекулам газа, проникающим в глубину насоса, что в целом увеличивает откачные характеристики насоса.

Наклон секторов к оси корпуса насоса обеспечивает экранировку сорбционных элементов 5 соседних витков спирали, что приводит к уменьшению потери тепла, выделяемого нагревателем, а следовательно, дает возможность повысить экономичность насоса.

Выполнение сорбционных элементов 5 в виде секторов, которые могут располагаться с перекрытием зазоров между ними по вертикали, позволяет при повышении проводимости сорбционного блока и, соответственно, увеличении быстроты действия уменьшить обратный поток газа из сорбционного блока к входному патрубку.

1. Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус с осевым входным патрубком и размещенные в корпусе IIo оси нагреватель и охватывающий его кольцевой сорбционный блок, отличающийся тем, что, с целью улучшения. откачных характеристик, сорбционный блок выполнен в виде втулки и закрепленных на ней по спирали сорбционных элементов.

2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что сорбционные элементы расположены с переменным шагом между витками спирали, увеличивающимся от входного патрубка.

3. Насос по и. 1, отличающийся тем, что сорбционные элементы выполнены в виде секторов.

4. Насос по и. 3, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, ось симметрии каждого сектора расположена к оси корпуса под острым углом.

1423787 фцГ (осT;

Ре,<ак<ор М Петрова Тскред И Ве!<е< 1<.«ррслтор 1! Мусл;<

За к аз 4624,< 40 Тираж 574 11одп ион«<

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4 <5

Производственно-полиграфическое предприятие, г Ужгород, у.д. Проектная, 4