Криогенный конденсационный форвакуумный насос

 

Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В вертикальном корпусе 1 расположе откачивающий элемент в виде сосуда 2 для криоагента. Охватывающий сосуд 2 охлаждаемый экран выполнен в виде соосных сосудов 4, 5, 6 для хладагента . Каяадый сосуд образован двумя коаксиальными усеченными конусами (УК), обра1ценными меньшими основаниями вниз, и снабжен трубками 7, 8 для подвода хладагента и отвода его паров и кольцевым желобом 9, Плоскости меньших оснопаний УК расположены ниже плоскости больших оснований УК соседних сосудов 4 и 5 или 5цИ 6. Желоб 9 установлен под УК, закреплен с тепловым контактом на трубке 8 и имеет сливной патрубок 1C, сообщенный со сборником 3 конденсата. Использование экрана насоса в качестве конденсирующего элемента, а также исключение повторной конденсации откачиваемого газа путем предотвращения испарения жидкого конденсата позволяет улучшить откачные характеристики насоса в широком диапазоне рабочих давлений, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 F 04 В 37 08

ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (46) 30.04.92, Пюл. Г 1Г> (21) 4 178549/Об (22) 12.01.В7 (72) Б,П. Батраков, Ю.H. Волков, В.И. Дракин и В.А. Кравченко (53) 621. 528. 1(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 773308, кл. F 04 В 37/08, 1977. (54) КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ ФОРВАКУУИНЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В вертикальном корпусе 1 расположен откачивающий элемент в ниде сосуда 2 для криоагента. Охватывающий сосуд

2 охлаждаемый экран выполнен в виде соосных сосудов 4, 5, 6 для хладагента. Каждый сосуд образован двумя коаксиальными усеченными конусами (УК), обращенными меньшими основаниями вииз, и снабжен трубками 7, 8 для подвода хладагента н отвода его паров и кольцевым желобом 9. Плоскости меньших оснований УК расположены ниже плоскости больших оснований УК соседних сосудов 4 и 5 или 5.и 6. Желоб 9 установлен под УК, закреплен с тепловым контактом на трубке 8 и имеет сливной пат"„убок 1С, сообщенный со сборником

3 конденсата. Использование экрана насоса в качестве конденсирующего элемента, а также исключение повторной конденсации откачиваемого газа путем предотвращения испарения жидкого конденсата позволяет улучшить откачные характеристики насоса в широком диапазоне рабочих давлений, 1 ил.

1443527

Подписное

ВНИИПИ Заказ 2315

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно конденсационным вакуумным насосам, работающим в форвакуумном диапазоне давлений, Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На чертеже схематично изображен предлагаемый насос.

Криогенный коиденсационный фор- 1О вакуумный насос содержит вертикаль-, ный корпус 1, расположенный в нем откачивающий элемент в виде сосуда 2 дпя криоагента, охватывающий сосуд

2 охлаждаемый экран и сборник 3 конденсата. Экран выполнен в виде соосных сосудов 4, 5 и 6 для хладагента, каждый из которых образован двумя коаксиальна усеченными конусамй, обращенными меньшими основания- 2О ми вниз, и снабжен трубками 7 и 8 подвода хладагента и отвода его паров и кольцевым желобом 9, -установленным под конусами, закрепленным с тепловым контактом на .трубке 8 от- 25 вода паров жпадагента.и имеющим сливной патрубок 1О, сообщенный со сборником 3 конденсата. Причем плоскости меньших оснований усеченных конусов расположены ниже плоскости больших Зп оснований усеченных конусов соседних .сосудов 4 и 5 или 5 и б для хладагенTB ф

Насос работает следующим образом, В сосуды 4, 5 и 6 заливается хлад; агент, например, жидкий азот. Путем о качки его паров через трубку 8 температуру хладагента понижают, после чего насос сообщают с откачиваемым объемом. Откачиваемый газ конденсируется на поверхностях сосудов .4, 5 и 6 в жидкую фазу и благодаря их конйческой форме стекает в желоб 9 а оттуда через сливной патрубок 10— в сборник 3 конденсата. Охлаждение желоба 9 вследствие теплового контакта с трубкой 8 исключает испарение конденсата и его повторную конденсацию, приводящую к излишним энергозатратам. После понижения давления откачиваемого газа до уровня, соответствующего давлению его насыщенных . паров при температуре сосудов 4, 5 и 6, в сосуд 2 подается криогент, например, неон или гелий. В результат"е дальнейшая откачка газа осуществляется на поверхности этого сосуда, причем конденсат стекает в сбоф ник 3, а после прохождения давления тройной точки откачиваемого газа, когда конденсация начинает происходить в твердую фазу,. сборник 3 отсекаетсг..от объема насоса, и насос работает путем накопления конденсата на поверхности сосуда 2. Сосуды 4, 5 и 6 при этом играют роль теплозащитного экрана, обеспечивающего эффективный подвод газа к сосуду 2, а также защиту этого сосуда от теплового излучения стенок корпуса 1 на= соса.

Таким образом, использование экрана насоса в качестве конденсирующего элемента, а также исключение повторной конденсации откачиваемого газа путем предотвращения испарения жидкости конденсата позволяет улучшить откачные характеристики насоса в широком диапазоне рабочих давлений.

Формула изобретения

Криогенный конденсационный форвакуумный насос, содержащий вертикальный корпус, расположенный в нем откачивающий элемент в виде сосуда для криоагента, охватывающий сосуд охлаждаемый экран и сборник конденсата, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, экран выполнен в виде соосных сосудов для хладагента, каждый из которых образован двумя коаксиальными усеченными конусами, .обращенными меньшими основаниями вниз, и снабжен трубками подвода хладагента и отвода его паров и кольцевым желобом, установленным под конусами, закрепленными с тепловым контактом на трубке отвода паров хладагента и имеющим сливной патрубок, сообщенный со сборником конденсата, причем плоскости меньших оснований усеченных конусов расположены ниже плоскости больших оснований усеченных конусов соседних сосудов для хладагента,