Вакуумная камера для селенирования электрофотографических цилиндров
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуум- v ной камере для селенирования электрофотографических аппаратов. Цель - повысить качество напыляемого на цилиндр большой длины селенового слоя путем обеспечения равномерного охлаждения цилиндра изнутри. Для подвода охлаждающего реагента 6 в вакуумной камера средство подачи выполнено в виде двух полостей 7 и 8. Полость 7 представляет трубопровод . Полость 8 вьтолнена в виде замкнутого цилиндрического кожуха. Кожух установлен с зазором относительно трубопровода. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК.Ю„„14 ?5 1
А1 (51) 4 G 03 G 5/082
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
C ф
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3946456/28-12 (22) 11.08.85 (46) 23.03.89. Бюл. У 11 (71) Специальное конструкторское бюро электрофотографических аппаратов (72) А.С.Клюшин, В.И.Зайцев, Н.У.Стоянов и В.И.Лупарев (53) 772.93 (088.8) (56)*Авторское свидетельство СССР
У 301677, кл. С 03 С 5/082. (54) ВАКУУМНАЯ КАМЕРА ДЛЯ СЕЛЕНИРОВАНИЯ ЗЛЕ КТРОФОТО ГРАФИЧЕСКИХ АППАРАТОВ ,57) Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумной камере для селенирования электрофотографических аппаратов. Цель— повысить качество напыпяемого на цилиндр большой длины селенового слоя путем обеспечения равномерного охлаждения цилиндра изнутри. Для подвода охлаждающего реагента 6 в вакуумной камере средство подачи выполнено в виде двух полостей 7 и
8. Полость 7 представляет трубопровод. Полость 8 выполнена в вида замкнутого цилиндрического кожуха.
Кожух установлен с зазором относительно трубопровода. 1 ил.
1467531 этой дпя поддержания технологического процесса формирования электрофотографического слоя селена к внутренней стороне подложки подводят холодный сжатый воздух автономно в нижнюю часть через полость ? и в верхнюю часть через полость 8. Вывод отработанного сжатого воздуха производится через полость 9, имеющую отверстия в торцевой части для выхода в атмосферу. Контроль температуры и регулирование процесса технологического охлаждения производят с помощью термопары.
Составитель Л.Носырева
Техред А. Кравчук I Редактор В.Данко Заказ 1194/44 Тираж 412 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к области нанесения полупроводниковых электрофотографических слоев на цилиндрические подложки и к вакуумной технике. Цель изобретения — повышение качества напыляемого на цилиндр большой длины селенового слоя путем обеспечения равномерного охлаждения цилиндра изнутри. 10 Ка чвртеже представлена вакуумная камера, общий вид в разрезе.. Вакуумная камера состоит из цилиндрического корпуса t, нагревателя 2, испарителя 3, узла 4 крепления цилин- 15 дра, электрографической подложки 5Ä Место подачи охлажцающего реагента 6 состоит из полости 7, которая представляет собой трубопровод, и полости 8, выполненной в виде замкну- 20 того цилиндрического кожуха, установленного с зазором относительно трубопровода. Средство подачи охлаждающего реагента снабжено перфорацнонными отверстиями и установлено концентрич- 25 но в узле крепления электрофотографического цилиндра. Вакуумная камера работает следующим образом. Цилиндрическую подложку S герме- 30 тично закрепляют на узле 4 крепления подложки цилиндра и устанавливают в цилиндрическом корпусе 1 по его оси, как показано на чертеже. В корпусе 1 откачивают вакуум до 10 йм рт. ст. и, воздействуя на селен в испарителе 3 нагревателем 2, создают температурные условия для его испарения. Пары селена заполняют вакуумную камеру и начинают конденсироваться на наружной поверхности подложки 5, при Ф о р м у л а и з обретения Вакуумная камера для селенирования,электрофотографических цилиндров, содержащая размещенные в цилиндрическом корпусе нагреватель, испаритель, средство подачи охлаждающего реагента, снабженное перфорационными отверстиями и концентрично установленное в узле крепления электрофотографического цилиндра, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения качества напыляемого на цилиндр большой длины селенового слоя путем обеспечения равномерного охлаждения цилиндра изнутри, средство выполнено в виде двух несообщающихся между собой полостей, одна из которых представляет трубопровод, а другая — замкнутый цилиндрический кожух, установленный с зазором относительно трубопровода, при этом перфорацнонные отверстия размещены в нижней части трубопровода и кожуха, а нижняя грань кожуха установлена выше верхнего уровня от в ер стий тр уб опр овода.
