Универсальная шахтная установка

 

301677

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 0å3 Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ОЗ.XI.1967 (№ 1194231/28-12) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 21.IV.1971. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 31 V.1971

МПК G 03g 5/08

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 772.93(088.8) Авторы изобретения

Б. А. Тазенков, В. Г. Бойцов, Г. Н. Сандалов, И. Б. Шнейдман, Л. H. Перепечаев, В. В, Браницкий и П. В. Хайкин

Заявитель

Грозненский завод «Электроприбор»

УНИВЕРСАЛЬНАЯ ШАХТНАЯ УСТАНОВКА

ДЛЯ СЕЛ ЕНИРОВАНИЯ БАРАБАНОВ

ЭЛ ЕКТРОФОТО ГРАФИЧ ЕСКИХ МАШИ Н

Изобретение относится к области нанесения полупроводниковых селеновых слоев, применяемых в электрофотографии.

Известны установки для селенирования барабанов. Однако наличие движущихся рабочих органов внутри вакуумного объема затрудняет возможность сохранения надежного разряжения в течение длительного времени, снижает надежность контроля температуры и делает практически невозможным создание стабильного технологического процесса селенирования.

С целью повышения качества покрытий внутренняя полость барабана сообщается с атмосферой посредством отверстий, имеющихся в крышке камеры. Стяжная труба имеет отверстия для подачи теплоносителя.

На фиг. 1 представлена предлагаемая установка, разрез; на фиг. 2 — принципиальная конструкция установки при загруженном барабане.

Универсальная шахтная установка включает в себя неподвижный трубчатый напылитель 1 с промежуточным слоем олова на внутренней поверхности.

В вакуумкамере 2 находится съемный лодочный испаритель 8 с нагревателем 4, который вынимается вместе с крышкой 5.

Барабан б герметизирован в специальном приспособлении, состоящем из нижней заглушки с трубой 7 и верхнего вкладыша 8.

Внутренняя полость барабана сообщается с атмосферой посредством отверстия на крышке 5. На стяжной трубе 7 сделаны отверстия

5 для подачи теплоносителя.

Процесс проходит следующим образом, Сначала загружается лодочный испаритель и уплотняется технологический вакуумный

10 объем. Достигнув вакуума порядка 1 ° 10 4 л лт рт. ст., спиральным нагревателем 9 нагревают испаритель. По достижении рабочих температур селен свободно летит из лодочек и покрывает внутреннюю поверхность напылителя

15 ровным слоем. Замкнутая поверхность напылителя исключает непроизводительный распыл сслена. Одной зарядки достаточно для напыления нескольких десятков барабанов. После зарядки лодочный испарптель удаляют, и его

20 место занимает собранный в приспособлении барабан.

После получения вакуума и включения нагревателя начинается возгонка селена на поверхности барабана, которую охлаждают для

25 предупреждения перегрева. По достижении задаш .ой толщины слоя селена на барабане включают нагрев и напускают воздух в вакуумкамеру. Процесс возгонки прекращается, что уменьшает потери селена и обеспечивает

30 качественное покрытие. При наличии двух

301677 приспособлений легко производят повторное напыление барабаня.

Производительность установки 3 — 5 барабанов в смену.

Предмет изобретения

Универсальная шахтная установка для селенирования барабанов электрофотографических машин, имеющая неподвижный трубчать;й папылитель с промежуточным слоем олова на внутренней поверхности и расположенным в нем съемным лодочным испарителем и нагревателем, стяжную трубу для закрепления барабана, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, внутренняя полость барабана сообщается с атмосферой посредством отверстий, имеющихся в крышке камеры, а стяжная труба имеет от10 верстия для подачи теплоносителя.

301677

Составитель Н. Вирко

Редактор Э. Н. Шибаева Техред Л. Я. Левина Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод

Заказ 1408/18 Изд. № 585 Тираж 473 Подписнос

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2