Устройство для улавливания паров от технологических ванн

 

Изобретение относится к устройствам для удаления газов или паров от технологических ванн и может быть использовано в установках для струйной химической и электрохимической обработки тонкопленочных микроплат. Цель изобретения - повышение эффективности очистки газов от капельно-жидких частиц раствора. Рабочую жидкость подают на подложку 33 через форсунку 31. Образующиеся в рабочей зоне пары по входному патрубку 19 отсасывают в конденсирующий резервуар 18, где капельки жидкости попадают за счет инерции на сетчатое отверстие 24, а основной поток газа проходит между пластинами 22, охлаждается, что способствует конденсированию паров. Сконденсированная жидкость стекает по пластинам 22, перегородке 21, через паз 25 по пластинам 26, через пазы к сливному патрубку 20. Очищенный от конденсата газ попадает в многоступенчатый фильтр 28, где происходит очистка от механических примесей. Конструктивные особенности устройства позволяют повысить экологическую безопасность работы при струйной обработке. 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU,„, 1479558 (511 4 C 25 D 21 /04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4263337/23-02 (22) 16.06,87 (46) 15.05.89. Бюл. 18 (72) Д.И.Лившиц и А.А.Рембеза (53) 621.357.14.002.52(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹- 1308652, кл. С 25 D 21/04, 1985.

Авторское свидетельство СССР № 1296630, кл..С 25 D 21/04, 1984.

Авторское свидетельство СССР № 565727, кл. С 23 G 5/04, 1975. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УЛАВЛИВАНИЯ ПАРОВ ОТ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ВАНН (57) Изобретение относится к устройствам для удаления газов или паров от технологических ванн и может быть использовано в установках для струйной химической и электрохимической обработки тонкопленочных микроплат.

Цель изобретения — повышение эффективности очистки газов от капельно-. жидких частиц раствора. Рабочую жидкость подают на подложку 33 через форсунку 31. Образующиеся в рабочей зоне пары по входному патрубку 19 отсасывают в конденсирующий резервуар

18, где капельки жидкости попадают за счет инерции на сетчатое отверс-: тие 24, а основной поток газа проходит между пластинами 22, охлаждается, что способствует конденсированию паров. Сконденсированная жидкос стекает по пластинам 22, перего одке

21, через паз 25 по пластина 26, через пазы к сливному патруб 20, Очищенный от конденсата газ п падает в многоступенчатый фильтр 8,где происходит очистка от механических примесей, Конструктивные особенности устройства позволяют повысить экологическую безопасность работы при струйной обработке. 5 ил.

1479558

Изобретение относится к устройствам для удаления газов или паров от технологических ванн и может быть использовано в установках для струй5 ной химической и электрохимической обработки тонкопленочных микроплат.

Цель изобретения — повышение эффективности очистки газов от каt пельно-жидких частиц раствора. 10

На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг,2. — то же, вид сбоку; на фиг.3 — конденсирующий резервуар, продольное сечение; на фиг.4 — сечение А-A на фиг.3; на фиг.5 — схема рециркуляции рабочего раствора.

Устройство закреплено на каркасе

1 и смонтировано на ячейке 2 активации, ванне 3 гальванической обработки и ванне 4 отмывки.. Устройство включает в себя блоки 5 — 7 клапанов, гидроблоки 8 и 9, бидоны 10 и 11 с рабочими жидкостями, механизмы загрузки 12 и разгрузки 13, промежуточ25 ные транспортеры 14 и 15.

Ячейка 2 активации ванны 3 и 4 оснащена системой 16 рециркуляции рабочей жидкости и узлом 17 для улавливания паров, содержащим конденси30 рующий резервуар 18 с входным 19 и сливным 20 патрубками, наклонной перегородкой 21, разделяющей конденсирующий резер ар 18 на две емкости, расположенн . †. одна над другой. 35 !

На пластинах 22, размещенных в верхней емкости под углом к вертикали и закрепленных поочередно одним концом к перегородке 21 и верхней 40 стенке емкости, а двумя другими — к боковым стенкам конденсирующего резервуара 18, смонтированы элементы охлаждающей системы, выполненной в виде трубопроводов 23. В перегородке 45

21 напротив входного патрубка 19 выполнено сетчатое отверстие 24, а перед каждой пластиной 22, прикрепленной к перегородке 21, выполнен сквозной паз 25. Нижняя емкость резервуара 18 выполнена в виде отдельных полостей, образованных направляющими пластинами 26, расположенными под острым углом поочередно к противоположным боковым стенкам конденсирующего резервуара 18, имеющими в этих углах паз 27, площадь которого на порядок меньше площади паза, образованного пластинами 22 и стенками конденсирующего резервуара 18. Конденсирующий резервуар 18 связан с многоступенчатым фильтром 28. Устройство содержит также ванну 29, крышку 30, форсунку 31 и вакуумный столик 32 для закрепления обрабатываемой подложки 33. При этом система 16 рециркуляции содержит коллектор 34, фильтр

35 с сорбентом для отделения органических примесей, фильтр 36 для очистки от механических примесей, бак 37 и насос 38.

Устройство работает следующим образом.

Подложку 33 подают механизмом 12 загрузки в ячейку 2 активации и закрепляют на вакуумном столике 32, а рабочую жидкость методом вытеснения подают из бидонов 10 и 11 через блок

5 клапанов, форсунку 31 на подложку

33, а затем в коллектор 34. Рабочую жидкость очищают от примесей фильтрами 35 и 36 и подают в бидоны 10 и

11, причем газ и образующиеся в рабочей зоне пары отсасываются по входному патрубку 19 в конденсирующий

| резервуар 18, где капельки жидкости попадают за счет инерции на сетчатое отверстие 24, а основной поток газа проходит между пластинами 22, охлаждается, что способствует конденсированию паров.

Сконденсированная жидкость стекает по пластинам 22, перегородке

21, через паз 25 по пластинам 26, через пазы 27 к сливному патрубку 20.

Очищенный от конденсата газ попадает в многоступенчатый фильтр 28,где происходит очистка от механических примесей. После обработки на позиции активации подложку подают последовательно в ванну 3 обработки и ванну 4 отмывки, рабочую жидкость на которые подают с использованием гидроблоков

8 и 9.

Улавливание паров от ванн 3 и 4 осуществляют аналогично.

Конструктивные особенности устройства позволяет повысить экологическую безопасность работы при струйной обработке.

Формула изобретения

Устройство для улавливания паров от технологических ванн преимущест) 479558 венно в установках для струйной химической и электрохимической обработки, содержащее конденсирующий резервуар с элементами охлаждающей сис-,емы и многоступенчатый фильтр, уст, новленные последовательно на вытяжном трубопроводе, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности очистки газов от капельно-жидких частиц раствора, конденсирующий резервуар выполнен в виде двух емкостей, расположенных одна над другой и разделенных наклонной перегородок с сетчатым отверстием, расположенным напротив входа вытяжного трубопровода, элементы охлаждающей системы выполнены в виде трубо. проводов, смонтированных на пласти"

5 нах, размещенных в верхней емкости под углом к вертикали, при этом пластины одним концом поочередно прикреплены к перегородке и к верхней стенке емкости, причем в перегородке перед каждой прикрепленной к ней пластиной выполнен сквозной паз, а нижняя емкость выполнена в виде отдельных сообщающихся между собой полостей.

1 479558

-1479558

Составитель В.Трегубов

Редактор Т.Лазоренко Техред .Л.Сердюкова Корректор Черни

Заказ 2509/28 Тираж 606 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101