Проектор для измерения параметров сечения кристалла

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению параметров сечения кристалла. Цель изобретения - повышение производительности измерения за счет быстрого и удобного закрепления кристалла и обеспечения свободного доступа к кристаллу в плоскости сечения. Проектор содержит проектирующую систему 1, экран 2, держатель 3 кристалла, набор лучеобразно расположенных ползунов 4, имеющих возможность радиального перемещения относительно оптической оси проектора, и измерительные наконечники 6, укрепленные в одной плоскости на ползунах, источник 7 света, оптические волокна 8, которые с одной стороны расположены во взаимном контакте и соединены торцами с источником 7 света, а с противоположной стороны каждое волокно закреплено на отдельном ползуне 4 параллельно оптической оси. Торцы всех волокон расположены в одной полости, приближенной к проектирующей системе относительно плоскости расположения измерительных наконечников 6. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (1) 4 С 01 В 9/08

gä n..----::

11Р и.",, : ю

Е, .Е".

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ а б Ч

Фиг. 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4349195/25-28 (22) 30.11.87 (46) 30.06.89. Бюл. У 24 (71) Киевское производственное объединение пИзумрудп (72) А.А, Аптекман, С.И. Босенко, А,P.. Житницкий и В.Е. Сологуб (53) 531 ° 715.27 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

III 550527, кл. G 01 В 9/08, 17.06.75. (54) ПРОЕКТОР ЛЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СЕЧЕИИЯ КРИСТАЛЛА (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению параметра сечения кристапла.

Цель изобретения — повьпаение производительности измерения эа счет быстрого и удобного закрепления кристалла и обеспечения свободного доступа к кристаллу н плоскости сечения. Проек„„SU„„1490464 А 1 тор содержит проектирующую систему

1, экран 2, держатель 3 кристалла, набор лучеобразно расположенных полэунов 4, имеющих возможность радиального перемещения относительно оптической оси проектора, и измерительные наконечники 6 укрепленных в одной плоскости на ползунах 4, источник 7 света, оптические волокна 8, которые с одной стороны расположены во взаимном контакте и соединены торцами с источником 7 света, а с противоположной стороны каждое волокно закреплено на отдельном ползуне 4 параллельно оптической оси. Торцы всех волокон расположены в одной полости, приближенной к проектирующей системе относительно ппоскости расположения измерительных наконечников

6. 2 ил.

1490464

Изобретение относится к измерительной технике, и может быть использовано, в частности для измерения параметров сечения кристалла. 5

Цель изобретения — повышение производительности измерения за счет быстрого и удобного закрепления кристалла и обеспечения свободного доступа к кристаллу в плоскости сечения.

На фиг.1 изображена принципиальная схема проектора, на фиг.2 — разрез

А-А на фиг.1.

Проектор содержит проектирующую систему 1, экран 2, держатель 3 крис- 15 талла, набор лучеобразно расположенных ползунов 4, имеющих возможность перемещения по направляющим 5, измерительные наконечники 6, укрепленные на ползунах 4, источник 7 света и 20 оптические волокна 8, которые с одной стороны соединены друг с другом и с источником 7 света, а с другой стороны каждое волокно 8 укреплено с по— мощью кронштейна 9 на отдельном ползуне 4, причем так, что ось волокна

8 параллельна оптической оси проектора, а расстояние ее от оптической оси равно расстоянию от соответствующего острия наконечника 6 до оптической оси. Индексом 10 обозначен крист алл.

На фиг.1 показаны равные расстояния а и о соответственно от оптической оси проектора до острия наконечника 6 и от оптической оси проектора до оси волокна 8, а также нап— равление свободного доступа к кристаллу 10, которое совпадает с направлениями перемещения ползунов 4

40 с измерительными наконечниками 6 и лежит в плоскости исследуемого сечения кристапла 10 — в плоскости Б-Б.

Проектор работает следующим образом, 45

Ползуны 4 с измерительными наконечниками 6 разводят и устанавливают в держателе 3 кристалл 10, после чего ползуны 4 с наконечниками 6 прижимают к поверхности кристалла 10. Благодаря равенству расстояний от острия наконечника 6 и от соответствующего оптического волокна 8 до оптической оси проектора торцы оптических волокон своим расположением повторяют контур сечения, кристалла 10, Изображения светящихся торцов оптических волокон 8 проектируются с помощью проектирующей системы 1 в увеличенном виде на экран 2, где можно наблюдать обозначенный светящимися точками контур сечения кристалла 1О.

Фор мул а изобретения

Проектор для измерения параметров сечения кристалла, содержащий осветитель, проектирующую систему, экран и держатель кристалла, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности измерения, он снабжен набором лучеобразно расположенных ползунов, установленных с возможностью радиального перемещения относительно оптической оси проектора, измерительными наконечниками, расположенными в одной ппоскости на полэунах, и оптическими волокнами, одни концы которых взаимно контактируют и соединены торцами с осветителем, а каждый противоположный конец волокон закреплен на соответствующем полэуне параллельно оптической оси проектора на одинаковом с острием соответствующего измерительного наконечника расстояния от этой оси, а их торцы расположены в одной плоскости, находящейся между ппоскостью расположения измерительных наконечников и проектирующей системой.

-t490464

Составитель Л. Лобзова

Техред А. Кравчук

Корректор М. Шароши

Редактор О. Спесивых

Заказ 3739/44 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101