Сорбционный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным вакуумным насосам, и позволяет снизить время регенерации и упростить конструкцию насоса. Насос содержит корпус 1, в котором размещен внутренний стакан 4, в горловине 5 которого закреплены цанговый зажим с приводом 7 поступательного движения цанг, фиксатор 8 положения цанг и упор 15. Для осуществления процесса откачки внутренний стакан 4 заполняется жидким хладагентом и посредством входного патрубка 16 подсоединяется к системе вакуумирования. При насыщении сорбента, когда откачные характеристики насоса ухудшаются, необходимо проводить его регенерацию с помощью электронагревательного элемента. В первоначальный период упругая пластина 9 вершиной упирается в днище внутреннего стакана 4, а между ее боковыми поверхностями и боковыми стенками внутреннего стакана 4 имеется зазор. При поступательном движении привода 7 вниз цанги 6 выходят из ограничивающей втулки 14 и , разжимаясь, обеспечивают плотное прилегание упругой пластины 9 к стенкам внутреннего стакана 4. Фиксатор 8 стопорит цанги в заданном положении. При окончании процесса регенерации фиксатор 8 выводят в исходное положение, а привод 7 посредством кольца 11 и упругого элемента 13 возвращается в первоначальное положение. 1 ил.

СОЮЭ СОЕЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

091 (И) А1

m4 F 04Â 3702

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К А ВТОРСКОМЪ(СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4312734/25-29 (22) 05.10.87 (46) 23.12.89. Бюл. В 47 (72) В.П.Лунчев, В.И.Куприянов и Е.В.Леонов (53) 621.517.8(088.8) (56) Валикевич А.И. Высоковакуумные адсорбционные насосы. — М,:

Машиностроение, 1973, с. 131, рис. 51. (54) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным вакуумным насосам, и поз2 воляет снизить время регенерации и упростить конструкцию насоса. Насос содержит корпус I в котором размешен внутренний стакан 4, в горловине 5 которого закреплены цанговый зажим с приводом 7, поступательного движения цанг, фиксатор 8 положения цаиг и упор 15 ° Для осуществления процесса откачки внутренний стакан 4 заполняется жидким хладагентом и посредством входного патрубка 16 подсоединяется к системе вакуумирования, При насышении сорбента, когда откачные характерис1530809 тики насоса ухудшаются, необходимо проводить его регенерацию с помощью электронагревательного элемента. В первоначальный период упругая пластина 9 вершиной упирается в днише внутрен5 него стакана 4, а между ее боковыми поверхностями и боковыми стенками внутреннего стакана 4 имеется зазор.

При поступательном движении привода 7 вниз цанги 6 выходят .иэ ограниИзобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в сорбционных насосах.

Целью изобретения является снижение времени регенерации сорбента и упрощение конструкции.

На чертеже изображен сорбционный вакуумный насос, продольный разрез, Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1, кассеты 2 с сорбентом 3, внутренний стакан 4 с горловиной 5 и размещенный в стакане 4 нагревательный элемент, причем насос снабжен установленными в горловине

5 внутреннего стакана 4 цанговым зажимом с двумя цангами 6, приводом

7 поступательного движения цанг 6 и фиксатором 8, нагревательный элемент выполнен в виде упругодеформируемой пластины 9 дугообразной формы, покрытой диэлектрическим материалом 10, концы которой закреплены на цангах 6, а вершина обращена к днищу стакана 4 с возможностью контакта с последним, при этом кассета 2 с сорбентом 3 закреплена на наружной поверхности стакана 4. Насос содержит также опорные кольца 11 и 12, между которыми установлен упругий элемент 13. На кольце 11 закреплена ограничивающая втулка 14. Движение кольца ll ограничивается упором 15. На корпусе 1 выполнен входной патрубок 16.

Насос работает следуюшим образом.

Внутренний стакан 4 заполняется жидким хладагентом и подсоеди- няется входным патрубком 16 к системе вакуумирования. При насыщении сорбента 3, когда откачные характеристики насоса ухудшаются, необходимо проводить его регенерацию.

B начальный период прогрева насоса пластина 9 вершиной упирается в

55 чиваюшей втулки 14 и, разжимаясь, обеспечивают плотное прилегание упругой пластины 9 к стенкам внутреннего стакана 4. Фиксатор 8 стопорит цанги в заданном положении. При окончании процесса регенерации фиксатор

8 выводят в исходное положение, а привод 7 посредством кольца 11 и упругого элемента 13 воэврашается в первоначальное положение. 1 ил. дно стакана 4, а между ее боковыми поверхностями и боковыми стенками внутреннего стакана 4 имеется зазор. При поступательном движении привода 7 вниз цанги 6 выходят иэ ограничивающей втулки 14 и, разжимаясь, обеспечивают плотное прилегание пластины 9 к стенкам внутреннего стакана 4.

Фикстор 8 стопорит цанги 6 в заданном положении. При окончании процесса регенерации фиксатор 8 выводят в исходное положение, привод

7 посредством упругого элемента 13 возвращает пружину 9 в первоначальное положение. Такое выполнение нагревательного элемента позволяет обеспечить надежный тепловой контакт с нагреваемой поверхностью внутреннего стакана 4, что позволяет повысить эффективность процесса регенерации.

Формула и э о б р е т е н н я

Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус, кассеты с сорбентом, внутренний стакан с горловиной и размещенный в стакане нагревательный элемент, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью снижения времени регенерации сорбента и упрошения конструкции, насос снабжен установленными в горловине внутреннего стакана цанговым зажимом с двумя цангами, приводом поступательного движения цанг с фиксатором, нагре" вательный элемент выполнен в виде упругодеформируемой пластины дугообразной формы, покрытой диэлектрическим материалом, концы которой закреплены на цангах, а вершина обращена к днищу стакана с возможностью контакта с последнии, при этом кассета с сорбентом закреплена на наружной поверхности стакана.

Сорбционный вакуумный насос Сорбционный вакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики крионасоса и обеспечить его работу при произвольной ориентации в пространстве

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемым геттером

Изобретение относится к вакуумной технике

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбционного насоса

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства устройства

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить от- : качные характеристики и повысить экономичность насоса

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх