Вакуумная установка и способ ее работы

 

Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - снижение энергозатрат путем сокращения времени вакуумирования. К реципиенту 1 подключены два основных адсорбционных насоса (Н) 3 и 4, коллекторы 2 и 7, механический Н 9 с ловушкой 8, вспомогательный Н 11 и запорная арматура 5,6,10,18 и 19. Активное сопло эжектора 15 через регулятор расхода 14 подключено к вспомогательному Н 11, который выполнен адсорбционным. Пассивное сопло подключено через вентили 16 и 17 соответственно к входному 2 и выходному 7 коллекторам, а механический Н 9 - к выходному коллектору 7 через вентиль 12. Способ работы вакуумной установки включает предварительное и высоковакуумное вакуумирование реципиента 1 механическим 9 и адсорбционными 3 и 4 Н с последующей регенерацией адсорбционных Н путем прогрева и вакуумирования. Предварительное вакуумирование реципиента 1 до давления 13-20 кПа производят вспомогательным и, в случае необходимости, адсорбционными Н, а регенерацию последних осуществляют путем подключения их к пассивному соплу эжектора 15, в качестве активной среды которого используют газ, десорбирующий во вспомогательном Н 11 при нагреве в нем адсорбента. В случае необходимости дополнительно осуществляют предварительное вакуумирование реципиента после адсорбционных Н путем подключения реципиента к пассивному соплу эжектора 15. 2 осн. п.ф. 2 з.п. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

1511 4 F 04 В 37/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

IlQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (2l) 4329066/25-29 (22) 17.11.87 (46) 23.07.89. Бюл. ¹ 27 (72) В. И. Куприянов, В. Е. Курташин, О. П. Литовка и Н. Н. Тарасов (53) 621.517.8 (088.8) (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА И СПОСОБ ЕЕ РАБОТЫ (57) Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения — снижение энергозатрат путем сокращения времени вакуумирования. К реципиенту 1 подключ«ны два основных адсорбционных насоса (Н) 3 и 4, коллекторы 2 и 7, механический Н 9 с ловушкой 8, вспомогательный Н 11 и запорная арматура 5. 6, 10, 18 и 19. Активное сопло эжектора !5 через регулятор расхода 14 подключено к вспомогательному

Н 11, который выполнен адсорбционным.

Пассивное сопло подключено через вентили !6 и 7 соответственно к входному 2

„.SU,» 1495500 А 1

2 и выходному 7 Ko. . «lx Top 3 11. d м< ха пи «. с к и и

Н 9 — к выходному коллектору 7 через вентиль 12. Способ работы вакуумной установки включает предваритсльное н высоковакуумное вакуумирование реципиента механическим 9 и адсорбционными 3 и 4 с последующей регенераци«й адсорбционных H путем прогрева и вакуумирования. Предварительное вакуумирование реципиента до давления !3 — 20 кПа производят вспомогательным и, в случае необходимости, адсорбционными Н, а регенерацию последних осуществляют путем подключения их к пассивному соплу эжектора 15, в качестве активной среды которого используют газ, десорбирующий во вспомогательном Н l! при нагревс в нем адсорбент

2 с. и 2 з.п.ф-лы, l,ил.

1495500

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям вакуумных установок с безмасляной системой.

Цель изобретения — снижение энергозатрат путем сокращения времени вакуумирования, На чертеже схематично изображена вакуумная установка.

Вакуумная установка содержит реципиен.- 1, последовательно подкл оч, нный к нему входной коллектор 2, блок адсорбционных насосов 3 и 4 с высоковакуумными кранами 5 и кранами 6 предварительной откачки, выходной коллектор 7, защитную ловушку 8 и механический насос 9, подключенный к входному коллектору 2 через вентиль 10 вспомогательный насос 11, причем установка снабжена дополнительным вентилем 12, установленным между ловушкой и выходным коллектором 7, выходным вентилем 13, регулятором 14 расхода и эжектором 15, пассивное сопло которого через дополнительно установленные вентили !

6 и 17 подключено к входному 2 и выходному 7 коллекторам, вспомогательный насос

1 выполнен адсорбционным, подк. ючен к активному соплу через регулятор 14 расхода и дополнительно соединен с выходным коллектором 7 через выходной вентиль 13, Установка содержит также вентили 18 и 19.

Способ работы вакуумной устаноьки включает предварительное и высоковакууMное вакуумирование реципиента 1 механическим 9 и адсорбционными 3 и 4 насосами с последующей регенерацией адсорбционных насосов 3 и 4 путем прогрева и вакуумирования, причем перед включеним механического насоса 9 производят предварительное вакуумирование реципиента 1 до давления !3 — 20 кПа вспомогательным насосом 1, а вакуумирование при регенерации адсорбционгп1х насосов 3 и 4 осуществляк г путем подключения их к пассивному соплу эжектора 15, в качестве активной среды используют газ, десорбирующий во вспомогательном насосе 11 при нагреве в нем адсорбента, расход которого регулируют путем изменения температуры нагрева адсорбента.

При предварительном вакуумировании реципиента 1 к вспомогательному насосу 11 нараллельно подключают по меньшей мере один основной адсорбционный насос.

Кроме того, дополнительно осуществляют предварительное вакуумирование реципиента 1 после адсорбционных насосов

3. 4 и 11 путем подключения реципиенга 1 к пассивному соплу эжектора 15.

Вакуумная установка работает следующим образом.

Перед запуском установки производится подготовка к работе адсорбционных насоспз 3, 4 и 11 путем охлаждения адсорбента в них при помощи жидкого азота.

Вспомогательный адсорбционный насос 11 имеет большое количество адсорбента и хорошо развитую поверхность теплообмена, обеспечивающую интенсивныс охлаждение и прогрев адсорбента.

После подготовки адсорбционных насосов 3, 4 и 11 открываются вентили 18 и 10, и газ из реципиента 1 поступает в насос

11. Достижение в реципиенте 1 давления около 13 — 20 кПа позволяет проводить даль-!

О нейшую и-.,:÷÷êó механическим насосом 9 через лозуп ку 8, Г1ри этом не требуется дросселирования потока на входе в механический насос 9.

В случае вакуумирования реципиента 1, ! 5 имеющего объем, превосходящий предел, при котором емкости насоса 11 доствто но для достижения давления 13 — 20 кПа, установка позволяет подключить к реципиенту 1 через краны 5 один или два основных адсорбционных насоса 3 и 4, используя их в качестве форвакуумных, а затем уже подключить механический насос 9. Время откачки реципиента адсорбционными насосами значительно меньше времени, которое требуется механическому насосу 9, В процессе работы

25 на реципиент насосов 3 или 4 производят отогрев адсорбента в насосе 11, что приводит к десорбции ранее адсорбированного в нем газа и повышснию давления в объеме насоса. После насыщения насосов 3 и 4 откачку производят механическим насосом 9, З0 а насосы 3 и 4 регенерируют путем отогрева.

Одновременно с отогревом адсорбента в насосах 3 и 4 производят их вакуумирование, причем осушествляют его при помощи эжектора 15. Для этого открывают вентиль

17 и через регулятор расхода !4 подают в

З5 активное сопло эжектора 15 газ, десорбирова н и ы и в насосе 11.

В том случае, когда объем реципиента столь велик, что использование насосов 3, 4 и 1! недостаточно для достижения в нем

40 давления 13 — 20 кПа, регенерация насосов

3 и 4 производится при вакуумировании через вентили 6 при открытом вентиле 12 механическим насосом 9, а откачка реципиента 1 дс требуемого давления осуществляется с помощью эжектора 15 через вентиль 16.

45 После того, как насос 9 с ловушкой 8 откачает реципиент до давления 1 в 10 Па, дальнейшая откачка до высокого вакуума в реципиенте 1 производится насосами 3 и 4.

В процессе откачки реципиента 1 насосами 3 и 4 производится регенерация насоса 11 с вакуумированием при помощи механического насоса 9.

Таким образом, предлагаемая вакуумная установка обеспечивает снижение энергозатрат:a счет рационального использовани я и меющегося оборудования. Использование энергии десорбирующегося газа для от!

495500 качки либо насосов, либо,)сципиента 1 также снижает энергозатраты. : п

Форл!ула изобретения

1. Вакуумная установка, содержащая р ципиент, последовательно подключенные к нему входной коллектор, блок адсорбционных насосов с высоковакуумными кранами и кранами предварительной откачки, выходной коллектор, защитную ловушку, механический насос и подключенный к входному коллектору через вентиль вспомогательный насос, отличающаяся тем, что, с целью снижения -)нергозатрат путем сокращения времени вакуумирования, установка снабжена дополнительным вентилем, установленным между ловушкой и выходным коллектором, выходным вг нтилем, регулятором расхода и эжектором, пассивное сопло которого через дополнительно установленные вентили подключено к входному и выходному коллекторам, вспомогательный насос выполнен адсорбционным, подключен к активному соплу через регулятор расхода и допол нительно соединен с выходным коллектором через выходной вентиль.

2. Способ работы вакуумной установки, включающий вакуумирование реципиента

6 механическим и адсорбционными гасосами с оследующей регенерацией адсорбционных насосов путем прогрева и вакуумирования, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат путем сокращения времени вакуумирования, перед вклю-!ением механического насоса проводят предва рител ьное вакуумирование реципиента до давления

l3 — 20 кПа вспомогательным адсорбционным насосом, а вакуумирование при регене10 рации адсорбционных насосов осуществляют путем подключения их к пассивному соплу эжектора, в качестве активной среды используют газ, десорбирующий во вспомогательном насосе при нагреве в нем адсорбента, расход которого регулируют путем изменения температуры нагрева адсорбента.

3. Способ по и. 2, отличающийся тем, >i" o при предварительном вакуумировании рени пиента к вспомогательноу насосу параллель20 но подключают по меньшей мере один основной адсорбционный насос.

4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что дополнительно осуществляют предварительное вакуумирование реципиента после адсорбционных насосов путем подключения реципиента к пассивному соплу эжектора. (оста витель 1...)аб) гни

Редактор >.i. Гол ов<>и ТекрЕл, И. Hci)> с К»рр - »; 1! М>, I;,:

Заказ 4232/32 Тираж 522 П д

ВНИИПИ Государственного комитета IIo изобретен»им и» кр: i »>! и: !) . I I; I I I (> д .!

I !3035, Москва. Ж вЂ” 35, Рае»>ск;>»»;»> .. 5

Производственно-издательский комбинат «Платен»» г. Х и.г; .;. i 1,» .»>»>»>, I>i !