Вакуумный сорбционный насос

Авторы патента:

F04B37/02 - для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции (абсорбция или адсорбция вообще B01J)

Изобретение позволяет уменьшить загрязнение откачиваемого объема парами геттера. В продольном пазу 2 корпуса 1 размещен испаритель 3 геттера . По оси корпуса 1 установлен вал 4. Корпус 1 выполнен охлаждаеьым и снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера. Пазы 2 выполнены цилиндрическими . Испарители 3 размещен по их оси. Вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1. Конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и тем самым развитую рабочую поверхность. 1 ил. (Л с

СО0З СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (511 4 Р 04 В 3 7 /02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (2 1) 4253432/25-29 (22) 01.06.87 (46) 23.02.89. Бкл. В 7 (7i) Физико-технический институт низких температур (72) Ю.А.Захарченко и И.Я.Фуголь (53) 621 528.3 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 1268799, кл. P 04 В 37/02, 1985. (54) ВАКУУМНЬЙ СОРБЦИОННЬЙ1 НАСОС (57) Изобретение позволяет уменьшить загрязнение откачиваемого объема парами геттера. В продольном пазу 2 корпуса 1 размещен испаритель 3 гет тера. По оси корпуса 1 установлен вал 4. Корпус 1 выполнен охлаждаемым и снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера. Пазы 2 выполнены цилиндрическими. Испарители 3 размещен по их оси. Вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1. Конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и тем самым развитую рабочую поверхность. 1 ил.

1460407

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов.с распыпяемыми геттерами.

Цель изобретения вЂ” уМеньшение загрязнения откачиваемого объема парами геттера.

На чер геже представлена схема насоса. 10

Вакуумный сорбционный насос содержит корпус 1 с продольным пазом 2, размещенный в пазу 2 испаритель 3 геттера и установленный по оси корпуса 1 вал 4. Корпус 1 выполнен охлаждаемым и снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера, причем каждый паз 2 выполнен цилиндрическим и испаритель 3 размещен по его оси, а вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1.

Насос работает- следующим образом. 25

Заслонка 5 перемещается в положе» ние, при котором . она полностью закрывает один из пазов 2. Испаритель 3 геттера в этом пазу 2 включается, и на поверхность паза 2 наносится слой сорбирующего покрытия. После завершения цикла напыления покрытия заслонка 5 перемещается путем поворота вала 4 в положение, где она перекрывает другой паз 2. Сорбирующая поверхность паза 2, в котором 35 было произведено напыление, включается в работу, поглощая газы, поступающие в полость корпуса 1. Таким образом, попеременно происходит возобновление сорбирующего покрытия на внутренней поверхНости охлаждаемого корпуса 1, причем благодаря циклическому процессу напыления в условиях отделения напыляемой эоны от полости корпуса 1 исключается попадание паров геттера в откачиваемый объем. Кроме того, конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и тем самым развитую рабочую поверхность.

Формула и э обретения

Вакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с продольным пазом, размещенный в пазу испаритель геттера и установленный по оси корпуса вал, отличающийся тем, что, с целью уменьшения загрязнения откачиваемых объемов, корпус выполнен охлаждаемым и снабжен дополнительными пазами с размещенными в них испарителями геттера, причем каждый паз выполнен цилиндрическим и испаритель размещен по его оси, и вал снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения

l плоской заслонкой, перпендикулярной радиусу корпуса.

Составитель В.Кряковкин

Редактор Н.Тупица Техред Л.Сердюкова Корректор В.Гирняк

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101..Заказ 520/40 Тираж 520 Подписное

ВНИНПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Похожие патенты:

Криосорбционный насос // 1451340

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить от- : качные характеристики и повысить экономичность насоса

Криоадсорбционный насос // 1448098

Сорбционный вакуумный насос // 1439278

Вакуумный адсорбционный насос // 1423788

Изобретение относится к конструкциям вакуумны.х насосов с газопоглотителя.ми

Сорбционный вакуумный насос // 1423787

Вакуумный сорбционный насос // 1418484

Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос // 1366690

Высоковакуумный адсорбционный насос // 1359480

Вакуумная ловушка // 1355759

Сорбционный вакуумный насос // 1333834

Изобретение относится к вакуумной технике и м.б

Адсорбционный насос // 2101564

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Модуль и система геттеронасоса // 2138686

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Геттерный насос квантового водородного генератора // 2183768

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Адсорбционный насос // 2186248

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Газопоглотительный насос // 2186249

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Адсорбционный насос // 2187694

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187695

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187696