Состав для ретуширования фотошаблонов
Изобретение относится к фотографии, в частности к составу для ретуширования фотошаблонов, применяемых при изготовлении гибридных интегральных схем с размерами элементов 50 мкм и более, и для печатных плат. С целью повышения выхода годных фотошаблонов он имеет следующее соотношение компонентов, мас.ч: краситель 9, 4 - 20, 8 диметилсульфоксид 41, 6 - 56, 6 поливинилпирролидон 20, 7 - 25, 0 α-терпинеол 10, 3 - 12, 6. В качестве красителя он содержит эриохром черный Т, или эриохром синий SE, или эриохром оранжевый. Новый состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов, так как получаемая ретушь устройчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт), применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. Годность фотошаблонов, изготовленных с использованием нового состава, в среднем составляет 90%, после пятой отмывки (последней) в среднем 80%. 1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (19) SU)в 1 55
А1 (51) 5 G 03 С 11/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
llO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4438408/23-04 (22) 08.06.88 (46) 30.03.90. Бюл. У 12 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" (72) В.В. Смирнов, С.В. Мельников, Л.Ф. Краева и Н.В. Шубина (53) 771.5(088.8) (56) Краска универсальная, 2513 у 40п
ТУ 29-02-873-79.
Краткий справочник фотолюбителя./
/Под общ. ред. Н.Д. Панфилова, А.А. Фомина. М.: Искусство, 1985, с.329. (54) СОСТАВ ДЛЯ РЕТУШИРОВАНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ (57) Изобретение относится к фотографии, в частности к составу для ретуширования фотошаблонов, применяемых при.изготовлении гибридных интегральных схем с размерами элементов 50 мкм
Изобретение относится к микроэлектронике и радиоэлектронике, в частности к составам для ретуширования эмульсионных штриховых фотошаблонов, применяемых при изготовлении гибрид" ных интегральных схем с размерами элементов 50 мкм и более и для печатных плат.
Цель изобретения †.повышение выхода годных фотошаблонов °
Пример 1. В 5,4 мл диметил.— сульфоксида (уд.в. 1,0946) растворяли 1,0 r эриохрома черного Т. Отдельно готовили раствор из 1,3 мл с -терпинеола (уд.в.0,935) и 2,4 г поливи2 и более и для печатных плат ° С целью повышения выхода годных фотошаблонов состав имеет соедующее соотношение компонентов, мас.ч: краситель †. 9,420,8; диметилсульфоксид 41,6-56,6; полнвинилпирролидон 20,7-25,0 4— терпинеол 10,3-12,6. В качестве красителя он содержит эриохром черный
Т или эриохром синий SE, или эриохрои оранжевый. Новый состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов, так как получаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт), применяемых для отмывки фотошаблонов после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. Годность фотошаблонов, изготовленных с использованием нового состава, в среднеи составляет 90Х, после пятой отмывки (последней) в среднем 80Х.
1 табл. нилпирролидона. Растворы смешивали и CO получали(состав„ мас.ч.: 4ь
Эриохром черный T 9,4 ОО
Диметилсульфоксид 56,6
Поливинилпирролидон 22,5
Ы-Терпинеол 11,5
Ретуширование производили на фотографические пластинки для фотошабло- е нов интегральных схем ВР-П (ТУ-6-Т7-927-83) с помощью микроскопа МБС-9 при температуре состава 20-25 С. Фотопластинку с нанесенной ретушью вычеркивали на воздухе 10-20 мин, отмывали в деионизованной воде и сушили в термошкафу при t = 50 С в течение 5-.10 мин.
1553948
20,8
41,6
25,0
12,6
Быпо приготовлено еще шесть составов, три из которых отличались от приведенных выше лишь использованием в качестве красителя эриохрома сине" го SE, а три — использованием эриохрома оранжевого, устойчивость ретуши к воздействию растворителей (спирт, водный раствор мыла), применяемых для отмывки фотошаблонов, проверялась после пяти (1-я отмывка), десяти (2-я отмывка) и двадцати, пяти актов контактной печати (5-я отмывка) . Срок службы фотошаблона 30 актов. Отмывки производили после каждых пяти актов.
Пример 2. Аналогично примеру
t готовили два раствора из 3,,0 мл диметилсульфоксида (уд.в. 1,0946) и
0,8 г эриохрома черного Т, из 0,6 мл о(-терпинеола и 1,2 r поливинилпирролидона, Растворы смешивали и получали состав, мас.ч.;
Эриохром черный Т 13,8
Диметилсульфоксид 55,2
Поливинилпирролидан 20,7 о -Терпинеол 10,3
Далее, как в примере 1.
Пример 3. Аналогично примеру 1 готовили два раствора из 0,9 мп диметилсульфоксида (уд.в. 1,0946) и
0,5 r эриохрома черного Т, из 0,4 мл
Ы-терпинеола и 0„6 r поливинилпирролидона. Растворы смешивали и получали сос ав, мас.ч.:
Эриохром черный Т
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон
d-Терпинеол
Результаты провеки представлены в таблице. I
Из приведенных в таблице данных
5 следует, что предложенный состав обеспечивает хорошее качество фотошаблонов, так как получаемая ретушь устойчива к воздействию растворителей (водный раствор мыла, спирт), применяемых для отмывки фотошаблонов
0 после нескольких актов контактной печати на фоторезистивные слои заготовок изделия. После второй отмывки все фотошаблоны, изготовленные с использованием состава по прототипу, приходили в негодность, годность же фотошаблонов, изготовленных с использованием предложенного состава, в среднеи составляла 90Х, после пятой отмывки (последней) - в среднем 807..
Формула изобретения
9,4-20,8
41,6-56,6
20,7-25,0
10,3-12,6
Состав для ретуширования фотошаб25 лонов, включающий краситель и растворитель, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных фотошаблонов, в качестве красителя он содержит эриохром черный Т
30 или эриохром синий SK, или эриохром оранжевый, в качестве растворителя— диметилсульфоксид и дополнительно содержит поливинилпирролидон и Ы-терпинеол при следующем соотношении компонентов мас.ч.:
Краситель
Диметилсульфоксид
Ноливинилпирролидон аС-Терпинеол
1553948
Количест- Годность образцов, Х, во образ- после отмывки
Мас.ч.
Пример
Состав смеси цов, шт.
t 1
1-й 2-й 3-й
80
9,5
56,6
22,5
1 l,5
13,8
55,2
20,7
10,3
20,8
41,6
25,0
12,6
9,4 56,6
22,5
11,5
13,8
55,2
20,7
10,3
20,8
41,6
25,0
12,6
9,4
56,6
22,5
11,5
13,8
55,2
20,7
10,3
20,8
41,6
25 0
12,6
100
90
100
100
80
90
1I 0О
100
80
90
100
100
100
10
Составитель А.Круглов
Техред А. Кравчук Корректор Т. Палий
Редактор М.Келемеш
Подписное
Тираж 373
Заказ 456
Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
ВНИИПИ
Производственно-издательский комбинат
Эр и охр ом ч ер ный Т
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон ,/-Терпинеол
Эриохром черный Т
Диме тилсульфоксид
Поли ви нил пирр олид он
d. — ÒåðïèHåoë
Эриохром черный Т
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон
0-Терпинеол
Эриохром синий SE
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон
J.-Терпинеол
Эриохром синий SE
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон о -Терпинеол
Эриохром синий SE
Диметилсул ьфоксид
Поли ви нилпирр олидон
Ы-Терпинеол
Зриохром оранжевый
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон
1-Терпинеол
Эриохром оранжевый
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон с -Терпинеол
Эриохром оранжевый
Диметилсульфоксид
Поливинилпирролидон
Ы-Терпинеол
Прототип
"Патент, r. Ужгород, ул. Гагарина, I 01
