Способ формирования рисунка в металлических пленках
Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам получения рисунка резистивных элементов и проводящих толстых и тонких пленок, а также для металлизации керамических печатных плит. Цель изобретения - расширение номенклатуры получаемых рисунков и повышение их точности. Способ заключается в нанесении сплошной металлической пленки на подложку , изготовлении шаблона с негативным изображением рисунка, совмещении шаб-, лона и подложки с пленкой и нагреве их в вакууме. При этом материал шаблона может образовывать легколетучие соединения с металлической пленкой. Нагрев осуществляют до температуры испарения легколетучего соединения. 3 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)ю Н 05 К 3/10
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4453737/12 (22) 04.07.88 (46) 15.03.91. Бюл, М 10 (71) Московский авиационный технологический институт им. К.Ç,Циолковского (72) В,Г.Блохин, T.È.Øèøêèíà, Г,Э.Квон, А.М. Васильев и В.А.Селезнев (53) 655.1/:3 (088.8) (56) Патент США М 4273812, кл. Н 05 К 3/10, 1981. (54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКА
В МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ (57) Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам получения
Изобретение относится к электронной технике, а частности к способам получения рисунка резистивных элементов и проводящих тонких и толстых пленок, а также для металлизации керамических печатных плат.
Цель изобретения — расширение технологических возможностей способа путем увеличения номенклатуры получаемых рисунков при обеспечении их точности.
На фиг.1, 2 и 3 последовательно показаныы операции технологического процесса.
Предлагаемый способ формирования рисунка в металлических пленках осуществляется следующим образом, Подложку-основание 1 покрывают тонкой металлической пленкой 2, в которой необходимо получить рисунок (фиг,1).
На диэлектрическую подложку-шаблон
3 наносят металлическую пленку 4. В пленке
„„. Ж „„1635292 А1 рисунка резистивных элементов и проводящих толстых и тонких пленок, а также для металлизации керамических печатных плит.
Цель изобретения — расширение номенклатуры получаемых рисунков и повышение их точности. Способ заключается в нанесении сплошной металлической пленки на подложку, изготовлении шаблона с негативным изображением рисунка, совмещении шаб-, лона и подложки с пленкой и нагреве их в вакууме. При этом материал шаблона может образовывать легколетучие соединения с металлической пленкой. Нагрев осуществляют до температуры испарения легколетучего соединения, 3 ил.
4 методом фотолитографии вытравливают рисунок. обратный рисунку схемы (фиг,1).
Шаблон 3 накладывают на основание 1. всю систему помещают в вакуумную камеру (фиг.2) и подвергают отжигу. Материал пленки подбирают в соответствии с диаграммой состояния: материалы металлических пленок шаблона и основания должны образовывать легоколетучие интерметаллические соединения. В процессе нагрева в вакууме в результате взаимной диффузии образуются интерметаллические соединения, которые возгоняются в вакууме, что приводит к удалению реагирующих пленок в местах их контакта (фиг.3), Примеры конкретного выполнения приведены в таблице, Предлагаемый способ позволяет расширить номенклатуру получаемых рисунков, повысить их точность и дает
1635292
Формула изобретения
Способ формирования рисунка в метал- 5 лических пленках, заключающийся в нанесении на подложку сплошной металлической пленки, изготовлении шаблона с негативным изображением рисунка и формировании резистивных элементов, 10 отличающийся тем, что, с целью
Пример 2
Пример 1
Поликор
Никель
Поликор
Никель
Электронно-лучевой а 10
7,5
12,5
100
250-300
Поликор
Молибден
Электронно-лучевой
2 ° 105
130-140
500-600
600
2 ° 10
80
200-250
Поликор
Ниобий
2 ° 105
120-140
500-600
600
700-900
10-15
105 (х - МЬЙ12
900-1000
10-20
Мой!э возможность многократно использовать шаблон.
Условия и результаты осуществления способа
Материал подложки- шаблона
Материал пленки на шаблоне
Метод нанесения пленки
Режимы нанесения: Р,мм. рт. ст, U, кВ
l,А
I луча,мА о
Т подл. С напыл мин
Материал подложки-основания
Материал пленки на основании
Метод нанесения пленки
Режимы нанесения: Р,мм. рт. ст.
U,кВ
I,А
I,ìÀ о
Т подл.. С тнапыл. Мин
Ттерм.. С ттерм., мин
Режимы отжига после наложения шаблона на основание:
Т ooTT)NK.,OC то ж. мин
Р,мм рт. ст.
Образующиеся интерметаллические сое инения расширения технологических возможностей путем увеличения номенклатуры получаемых рисунков при обеспечении их точности, формирование резистивных элементов вы пол ня ют путем совмещения шаблона и подложки с пленкой с последующим нагревом в вакууме, при этом шаблон выполнен из материала, образующего легколетучие соединения с металлической пленкой. а нагрев осуществляют до температуры испарения легколетучего соединения.
1635292 фея, 2 фМГ, 3
Составитель И, Королев
Редактор А, Маковская Техред М.Моргентал Корректор С. Шекмар
Заказ 762 Тираж 510 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101
![Способ формирования рисунка в металлических пленках](https://img.findpatent.ru/img_data/718/7183661-s.jpg)
![Способ формирования рисунка в металлических пленках](https://img.findpatent.ru/img_data/718/7183662-s.jpg)
![Способ формирования рисунка в металлических пленках](https://img.findpatent.ru/img_data/718/7183663-s.jpg)