Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум

 

1. Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум, содержащее рабочую и шлюзовую камеры с затвором, съемный контейнер с подложкодержателем и затвором, расположенными в шлюзовой камере, шток с приводом возвратно-поступательного перемещения, соединенный с затвором шлюзовой камеры, и узел сцепления затворов контейнера и шлюзовой камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства за счет улучшения его герметичности, оно снабжено дополнительными приводами и полым корпусом, причем один из дополнительных приводов выполнен с упором, закрепленным на корпусе рабочей камеры с возможностью вращения и зацепления со штоком привода возвратно-поступательного перемещения, а другой дополнительный привод закреплен на контейнере с возможностью зацепления с подложкодержателем, при этом подложкодержатель жестко соединен с затвором контейнера, а полый корпус выполнен с окнами, расположен в рабочей камере соосно штоку и закреплен одной стороной на ее корпусе, а другой стороной на затворе шлюзовой камеры.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что узел сцепления выполнен в виде постоянного магнита, закрепленного на штоке, и вкладыша из магнитного материала, закрепленного на затворе контейнера.