Полупроводниковый тензодатчик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
l7t637
Союз Советских
Социалистических
Республик
Ф ъ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 19.111.1963 (№ 826416/25-28) Кл. 42k, 45ез с присоединением заявки №
Приоритет
МПК G 011
УД К 621.315.592:
Государственный комитет по делам
Бюллетень № 11
Заявитель Институт машиноведения Госкомитета по автоматизации и машиностроению при Госплане СССР
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОДAT×ÈÊ
Под!!нсная группа И 172
Известны полупроводниковые теизодатчики, представляющие собой топкую узкую полоску, вырезанную из моиокристалла германия.
К концам полоски присоединены выводные проводники для включения в электрическую измерительную схему прибора.
Для повышения механической прочности теизодатчика и уменьшения трудоемкости его изготовления в качестве материала теизодатчика предложено использовать выращенный из переохлаждеииого расплава гермаиия кристалл ленточной формы деидритиой структуры.
Деидритная лента имеет моиокристалличес!() !о cTp) кт pg с иссколькими плоскостями двойниковаиия, расположенными в центральной части поперечного сечения дендритя и простиршощимися по всей длине дсидрита, который растет в одном кристаллографи !еском иапрявлепии <112>, которое благодаря физике роста выдерживается с высокой точиостью. Плоские грани деидрита являются кристаллографическими плоскостями (111 ) иа которых атомы наиболее плотно упакованы, а потому их поверхность по степени чистоты выше чистоты поверхности, полученной путем шлифования; на ией ист микротре!ции и иет нарушений ириповерхиостиого слоя. Мсхаиичсская прочность этой ленты выше мехаиической прочности ленты таких же размероп, полученной из крупных монокристаллов после механической обработки, так как после мехаиической обработки иа поверхности остаются микротрещииы, которые ие устраняются и последующим травлением и служат концентраторамии напряжений.
При изготовлении датчиков иа дендритную ленту коруидовой иглой почти без нажима наносят поперечные риски так, что расстояние между ними равно базе датчика. Зятем лента разламывается точно по ияисссииым рискам
i! и Овцам по. чсипь!х oTpt 3!iÎÂ сс л!Обым известным способом прикрепля!от выводы.
15 Датчик иредл!Океииой копструкшш обладает повыгпеи!юй стабильностью сопротивления во времени.
Коэффициент тензочувствительности гермаиия имеет максимяльиу!о вечичину в иаправ20 леиии <111>. Продольным направлением описываемого датчика является <112>, что составляет угол л!ежду ними, рявиый 20 (это несколько снихкает теизочувствительиость, примерно иа 10%). Процесс изготовлсш!я та25 кого тснзодатчикя менее трудоемок, потери исходного материала минимальны.
Благодаря повьциеиию мехяиической прочности теизодятчика расширяется диапазон допустимых деформаций, стабильность его соЗО противлеиия во времени повышается.
i7i837 бретения
Составитель В. П. Снежко
Редактор Н. П. Белявская Текрсл Л. К. Ткаченко Корректор Л. М. Комарова
Закал !2ббнб Тирлж l325 Формат бум. 60,90 /8 Об»ем О,l иэл. л. Цена 5 коп.
l)ill l ill ill Госу,алрстяс iíoãî комi òcòà по делам изобретении и открытий СССР
Мос»ла, Центр, ир. Серова, л. 4
Типография, ир. Сапунова, 2 тензодатчик, предлл германия ленточкими выводами, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения механической прочности тензодатчика и уменьшения трудоемкости его изготовления, в качестве кристалла использован дендрит гер5 мания.
