Устройство для металлизации в вакууме

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

ОПИСАНИЕ l78635

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06,VI I.1964 (№ 910509/22-2) Кл. 48Ь, 13вв с присоединением заявки №

МПК С 23с

УДК 621.793.093.14 (088.8) Приоритет

Опубликовано 22.1.1966. Б1оллетеиь № 3

Комитет по делам

- изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

Дата опубликования описания 9.Ш.1966

Авторы изобретения

С. И. Гриншпун, Я. М. Закис, А. Л. Кокле и С.

Конструкторско-технологическое бюро металлиз

Совета народного хозяйства Латвийско

Заявитель

УСТРОЙСТВО .ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Извесп|ы различные устройства для металлизации в вакууме, в том числе и устройстга барабанного типа.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что испарители служат одновременно электродами тлеющего разряда, а весь объем корпуса коллектора заполнен маслопоглощающим сорбентом. Это упрощает конструкцию установок и сокращает рабочий цикл. Кроме того, испаритель снабжен саморегулируемым натяжным приспособлением, например, рычажного типа, для фиксации его и вертикальном положении.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 вЂ” испаритель.

Устройство состоит из вакуумных камер 1, внутри которых расположены барабаны 2 с кассетами и испарители 8, вакуумных затворов 4, коллектора 5, заполненного маслопоглощающим сорбентом, и системы для создания вакуума. Последняя состоит из паромасляного диффузорного насоса, сильфона и ротационного форвакуумного пасоса.

Испаритель 8 снабжен натяжным приспособлением для фиксации его в вертикальном положении, содержащим рычаг б с грузом 7 на одном конце, и клеммными зажимами 8 и

9. Другой конец рычага служит электрическим контактом держателя спирали испари. теля.

При накале спирали испарителя натяжение автоматически выравнивается грузом.

При работе устройства испаритель в первый период создания разрежения служит

5 электродом тлеющего разряда, для чего на контакт испарителя подают напряжение 3000 и.

После того, как тлеющий разряд погаснет, отключают высокое напряжение и на клеммы испарителя подают напряжение разогрева

10 спирали для испарения исходного материала.

1. Устройство для металлизации в вакууме, 15 содержащее вакуумные камеры, внутри которых расположены барабаны с кассетами и испарители, вакуумные затворы, коллектор, ловушку, заполненную маслопоглощающим сорбентом, и систему для создания вакуума, 20 «тличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и сокращения рабочего цикла, испарители служат одновременно электродами тлеющего разряда и весь объем корпуса коллектора заполнен маслопоглощающим

25 сорбентом.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью фиксации испарителя в вертикальном положении, он снабжен саморегулируемым натяжным приспособлением, напри30 мер, рычажного типа.

178635

Состав ель Е. Кубасова

Техред Т. П. Курилко Ко1 ректоры: Л. Е. Марисич и О. Б. Тюрина

Редактор Л. М. Струве

Типография, пр. Сапунова. 2

Заказ 419/1 Тираж 1225 Формат бум. 60X90 /8 Объ м 0,21 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Похожие патенты:

Патент 172169 // 172169

Патент 161606 // 161606

Патент 154996 // 154996

Плавящий элемент для испарения металла в вакууме // 65570

Патент 58290 // 58290

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме