Ахроматическое просветляющее покрытие

 

Изобретение относится к интерференционным покрытиям, применяемым в оптическом приборостроении, и позволяет упростить конструкцию, снизить коэффициент отражения и повысить его равномерность по спектру для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до 2,55 показателем преломления. Покрытие состоит из четырех слоев. Оптические толщины слоев, считая от подложки, /idi } 4d4 (0,91 ±0.01) ; 7720)2 ftd3 1о

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s G 02 В 5/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (2-1) 4778060/10 (22) 05.01.90 (46) 23.12,91. Бюл. N 47 (71) Институт полупроводников АН УССР (72) M.Ï,Ëèñèöà, С.В.Орлов. Ю.А,Первак и И.В.Фекешгази (53) 535.345,67{088.8) (56) Macleod ТЫп Югп Gptical Filters—

London, LTO, 1969, 332р.

Минков И,M. Простой способ определения показателей преломления слоев. четвертьволновых просветляющих покрытий.—

Оптика и спектроскопия, 1985, 59, М 1, с,212 — 214. (54) АХРОМАТИЧЕСКОЕ ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ

Изобретение относится к интерференционным покрытиям, применяемым в оптическом приборостроении.

Целью изобретения является упрощение конструкции, снижение коэффициента отражения и повышение его равномерности по спектру для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2.77 до 2,55 показателем преломления, Предлагаемое ахроматическое просветляющее покрытие для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до

2,55 показателем преломления состоит из четырех чередующихся диэлектрических слоев с высоким и низким показателями преломления с оптическими толщинами, считая от подложки, "r)>di = g4d4 = (0,91 й0,01) i4. 4;

tyd2 - рбз= {1,83= -0,03) i4/4 из веществ с показателями преломления у1 = 7р =

» БЫ„, 1700512 А1 (57) Изобретение относится к интерференционным покрытиям, fip!4MBHsleMb!M в оптическом приборостроении, и позволяет упростить конструкцию, снизить коэффициент отражения и повысить его равномерность по спектру для оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до

2,55 показателем преломления. Покрытие состоит из четырех слоев. Оптические толщины слоев, считая от подложки, spd> =

Я

= g4d4 = (0,91+-0,01) —; rpdz = г/збз =

C

= {1,83+0,03) —, а их показатели прелом4 ления r,, = тр = 2,11ч=0,01; р = y4= 1,37.+ ч-0 01. 2 ил.

= 2,11+0,01, р = g4 = 1,37ч-0,01, ГдЕ di, dZ, бз и d4 — геометрические толщины слоев.

Покрытие изготавливается с использованием только двух пленкообразующих веществ, обеспечивает снижение коэффициента отражения в спектральной -области лс/Л = 0,78 - 1,40 до величины менее 0,47 при оптимальных значениях оптических толщин и показателей преломления слоев и до величины менее 0,6; для всех возможных вариаций параметров слоев из области их допустимых значений, повышение равномерности коэффициента отражения в спектральной области просветления

Ймакс Вмин = 0,33 д, При этом значение среднего коэффициента отражения снижается до 0,225 g,.

На фиг.1 приведены спектральные зависимости коэффициента отражения оптических элементов из веществ с изменяющимся по закону нормальной дисперсии показателем преломления от значения

1700512

Q,01×

0,Я0

0,006

0,003

100

2,77 до 2,55, на поверхности которых нанесено предлагаемое покрытие с оптическими толщинами слоев gtd1 =: ryder =

= 0,91 о/4 ф б2 = rpd 3 = 1,83 i4/4 и показателями преломления g> = 2,10, р =

=1,38, р =2,12, r/4 = 1,38(кривая 1}; g =

=:2,10, 3р = 1,36, р = 2,10, 4 = 1,38 (кривая 2); r/q = 2,12, rp = 1,36, р = 2,10, у4=

=1,36 (кривая 3); д1 = 2,12, rp = 1,38, цз =

= 2,12, r/p= 1,38 (кривая 4), На. фиг.2 приведены спектральные зависимости коэффициента отражения оптических элементов из веществ с изменяк щимся по закону нормальной дисперсии показателем преломления от значения 2,77 до 2,55, на поверхности которых нанесено предлагаемое покрытие с показателями преломления слоев g> =ty= 2,11; р = 4= 1,37 и оптическими толщинами >) == 0,92ilo/4; ryder= 1,86ilo/4; ryder = 1,86Яо/4; 4с14= 0,9 i4>/4 (кривая 1); g1d> = 0,92 Яо!4; фдад = 1 8 о/4; зс1з = 1,8 Яо/4; у4сИ =

= 0,9 Ло/4 (кривая 2); g>d> = 0,9 Я< /4; rpdz = 1,8 Ла/4; )риаз = 1,86 5/4; g4d4 = 0,92 Яо/4 (кривая 3}; g = 0,92i4/4; dz = 1,86 >/4; ф бз = 1,86Яо/4; y4d4 = 0,92 g/4 (кривая 4).

Четырехслойное просветляющее интерференционное покрытие было изготовлено путем вакуумного осаЖдения на оптические элементы из кристаллов карбида кремния SlC-6H слоев, испаряемых электронно-лучевым способом веществ из двуокиси циркония в качестве пленкообраэующего вещества с высоким показателем преломления и фтористого магния в качест5 ве пленкообразующего вещества с низким показателем преломления, При этом использовался фотометрический контроль оптической толщины осаждаемых пленок, 10 Формула изобретения

Ахроматическое просветляющее покрытие, состоящее из четырех диэлектрических слоев, причем слой, прилегающий к подложке, выполнен иэ вещества с высоким пока15 зателем преломления, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции, снижения коэффициента отражения и повышения его равномерности по спектру для оптических элементов иэ веществ с иэменя20 ющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,77 до 2,55 показателем преломления, оптические толщины чередующихся слоев с высоким и низким показателями преломления составляют, считая от подлож25 ки,g1d1= $4dq == (0,91 0,01) i4/4; Qdz =

= трс1з = (1,83 0,03) Яо/4, а их показатели преломления равны r1= р=2,11 0,01, r/2=

=g<=1,37+0,01, где d1, dz, бз, d4 — геометрические толщины слоев, а 4> — длина волны середины спектральной области просветления.

1700512

ЦО08

Составитель С. Орлов

Техред M.Ìîðãåíòàë

Корректор B. Гирняк

Редактор M. Янкович

Производственно-издательский комбинат * Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Заказ 4466 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5