Вакуумный крионасос
Использование: получение и поддержание высокого безмасляного вакуума в технологическом оборудовании. Сущность изобретения: крионасос содержит встроенный в корпус 1 двухступенчатый криогенератор 2, на первой ступени которого закреплен теплозащитный экран 3. а на второй - криопанель 4. Соединение криопанеяи 4 с второй ступенью криогенератора 2 осуществлено при помощи теплопровода 5, имеющего контакте криопэнелью4 в ее наиболее удаленной части от входного отверстия экрана 3. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я) F 04 В 37/08
СПИ
К АВТО
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
llO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР .
1 (21) 4841787!29 (22) 18.06.90 (46) 30.07;92. Бюл. t+ 28 (71) Омское научно-производственное объединение микрокриогенной техники (72) Н, В.Тятюшкин (56) Патент Японии М 61-24551Â, кл. F 04 B 37/08, опублик, 1986. (54) ВАКУУМНЫЙ КРИОНАСОС . (57) Использование: получение и поддержание высокого беэмасляного вакуума в технологическом оборудовании. Сущность изобретения; крибнасбс содержит встроенный в корпус 1 двухступенчатый криогенератор
2, на первой ступени которого закреплен теплозащитный экран 3, а, на второй— криопанель 4. Соединение.криопанели 4 с второй ступенью к зиогенератора 2 осуществлено при помощи теплопровода 5, имеющего контакт с криопанелью 4 в ее наиболее
jtäàëåííîé части от входного отверстия экрана 3. 1 ил.
1751400
Составитель И.Киснер
Редактор T.Ëàçîðåíêî Техред М.Моргентал Корректор М,ткач
Заказ 2674 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, К-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для получения безмасляного сверхвысокого вакуума, использующим принципом криоконденсации илй криоадсорбции различ- 5 ных газов на поверхностях, охлажденных до криогенных температур.
Целью изобретения является улучшение откачных характеристик, Поставленная цель достигается тем, что 10 в вакуумном крионасосе, содержащем корпус с входным патрубком, встроейным двухступенчатым криогенератором, размещенным в корпусе теплозащитным экраном, закрепленным на первой ступени 15 криогенератора, и расположейную вйутри экрана криопанелью, закрепленной на-второй ступени криогенератора при помощи теплопровода, последний соединен с криопанелью в ее наиболее удаленной от вход- 20 його патрубка части.
На чертеже приведена схема предлагаемого.вакуумного крионасоса.
Крионасос содержит корпус 1, встроенный двухступенчатый криогенератор 2, на 25 охлаждаемых фланцах которого установлены теплозащитнь и экран 3 и криопанель 4, соединенная с охлаждаемым фланцем вто рой ступени криогенератора теплопроводом5. - 3 0
Крионасос работает следующим образом.
Криогенератор 2 охлаждает теплозащитный экран 3 до 60 — 90 К и криопанель 4 через теплопровод 5- до 15-20 К. При этом 35 на экране конденсируются пары воды, углеводороды, углекислый газ. Остальные ком1 поненты откачиваемой среды, за исключением неона, водорода и.гелия, конденсируются на криопанели 4.
Давление конденсирующегося на криопанели газа максимально в области входного отверстия экрана и минимально в зоне периферийного участка криопанели. Так как теплопровод 5 подсоединен к криопанели 4 в ее части, наиболее удаленной от входного отверстия экрана, то периферия криопане-.. ли имеет мийимальную температуру, а ее часть, обращенная к откачиваемому объему — максимальную температуру.
Откачивающая структура организована так, что в сечениях с более высокой температурой криопанели соответственно выше и давление откачиваемого газа, находящегося над криопанелью. Это обеспечивает более равномерное расйределение степеней перенасыщения паров откачиваемого газа над различными участками криопанели, что улучшает эффективность откачки при низких рабочих давлениях и приводит к увеличейию быстроты действия насоса.
Формула изобретения
Вакуумный крионасос, содержащий корпус с входным патрубком и встроенным двухступейчатым криогенератором, размещейный в корпусе теплозащитный экран, закрепленный на первой ступени криогенератора, и расположенную внутри экрана криопанель, закрепленную на второй ступени криогенератора при помощи теплопровода, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, тенлопровод соединен с криопанелью в ее наиболее удаленной от входного патрубка части.
