Способ изготовления мишеней для установок вакуумного распыления

Авторы патента:

B22F3/12 - уплотнение и спекание (ковкой B22F 3/17)

Сущность способа: смешивают порошки керамических материалов и алюминия, прессование и спекание заготовки при температуре 680 ± 20°С в кислородсодержащей среде.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

<51)5 В 22 F 3/12

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) /

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4875643/02 (22) 20,08.90 (46) 15.01.93. Бюп. N 2 (71) Ровенский государственный педагогический институт им. Д.З.Мануильского (72) О.Б.Пастошук (56) Заявка Великобритании !ч 1554856, кл.

C7F, 1978, Авторское свидетельство СССР

N 834246, кл. С 23 С 15/00, 1981.

-Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к способам изготовления мишеней, преимущестьенно керамических, для установок вакуумного распыления.

Известны способы изготовления керамических мишеней, согласно которым измельченный материал мишени перемешивают, прессуют в пресс-формах и обжигают с различным чередованием этих операций.

Недостатком этих способов является то, что в изготовленных мишенях возникают термические напряжения в процессе распыления, что приводит к растрескиванию мишени, Эффективное охлаждение мишени по всей толщине невозможно из-за глохой теплопро водности, обусловленной. пористо-стью мишени.

Целью изобретения является повышение термостойкости мишени путем добавки в шихту порошка алюминия и проведения спекания при температуре 680 + 20 С.

Пример. Порошок чистого алюминия смешивают с исходным инертным наполни„„5U „1787685 A l (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ ДЛЯ УСТАНОВОК ВАКУУМНОГО РАСПЫЛЕНИЯ (57) Сущность способа: смешивают порошки керамических материалов и алюминия, прессование и спекание заготовки при тем пературе 680 4-20 С в кислородсодержэщей среде. телем (AIN, SI3N<, BN, А!20з и др.) Процесс спекания заготовки осуществляют в атмосфере кислорода или смеси кислорода с инертным газом при температуре

680+ 20 С.

Таким образом предложенный способ обеспечивает получение керамических мишеней малой пористости, что повышает теппопроводность и уменьшает чувствительность мишени к термическим нагрузкам, возникающим в процессе неравномерного прогрева при распылении, Это увеличивает срок службы мишеней и повышает надежйость процесса распыления.

Ф ормула изобретения

Способ изготовления керамических мишеней дпя установок вакуумного распыления, включающий смешивание порошков, прессовэние и спекание, о т и и ч а ю щ и йс я reM, что, с целью повышения термостойкости мишени, при смешивании в шихту добавляют порошок алюминия, а спекание ведут в кислородсодержащей среде при

680 + 20 С.

Способ изготовления мишеней для установок вакуумного распыления

Изобретение относится к высокотемпературным сверхпроводникам (ВТСП) и может быть использовано при изготовлении мишеней ВТСП для получения тонких пленок магнетронным распылением

Способ получения алмазно-абразивного инструмента // 1785814

Способ изготовления кольцевого алмазного инструмента // 1785813

Способ спекания заготовок из металлического порошка // 1784006

Способ изготовления порошкового магнитопровода // 1766624

Способ получения марганец-цинковых ферритов // 1763089

Способ получения заготовок из спеченной быстрорежущей стали // 1759553

Способ изготовления магнитодиэлектриков на основе карбонильного железа // 1749926

Способ брикетирования металлической стружки // 1748942

Способ получения мелкозернистого спеченного твердого сплава // 1748935

Способ изготовления изделий из спеченного твердосплавного материала // 2110598

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к технологии получения твердых сплавов, и может быть использовано для изготовления металлорежущего инструмента и обработки преимущественно колесных пар подвижного состава железных дорог

Способ изготовления r - fe - b постоянных магнитов // 2112627

Изделие из материала на основе циркония // 2120220

Изобретение относится к устройствам, а именно, к столовым принадлежностям и приборам, в частности, к ложкам, вилкам, ножам, кофейникам, чайникам, коньячным наборам, рюмкам, и т.д., а также к металлическим украшениям, в частности, к серьгам, браслетам, цепочкам и т.д

Твердый сплав (варианты) и способ его получения // 2133296

Изобретение относится к спеченным твердым сплавам и может быть использовано для изготовления универсального режущего инструмента, абразивных шлифпорошков, мерительного инструмента в т.п

Способ изготовления алмазного инструмента // 2148490

Изобретение относится к области изготовления алмазного инструмента, предназначенного для резки, обработки и бурения горных пород

Способ получения композиционных материалов с градиентной структурой // 2164260

Изобретение относится к порошковой металлургии и может быть использовано для армирования различного износостойкого инструмента

Способ получения металлофторопластовых покрытий из порошкообразного материала на цилиндрической поверхности изделия // 2186658

Изобретение относится к получению металлополимерных покрытий и может быть использовано при создании защитных и антифрикционных покрытий на металлических изделиях

Твердосплавное изделие с улучшенными высокотемпературными и термомеханическими свойствами // 2186870

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к изделиям из твердых сплавов, используемых при экстремальных циклических нагрузках и силах трения, создающих высокие температуры и приводящих к быстрой термомеханической усталости

Способ синтеза фуллеренсодержащих фаз // 2188249

Изобретение относится к порошковой металлургии и может быть использовано для синтеза новой формы углерода - фуллерена, металлофуллеритов и фуллеренсодержащих композиционных материалов

Способ получения износостойкого композиционного материала на основе карбида титана // 2190681

Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности к технологии производства композиционных материалов из карбидных и металлических компонентов