Устройство для нанесения поли-п-ксилиленовых покрытий

 

Использование: нанесение поли-п-ксилиленовых покрытий на изделия в радиотехнической , электронной и др. отраслях промышленности. Сущность изобретения: устройство содержит камеру сублимации с емкостью для материала покрытия, камеру пиролиза, емкость предварительного охлаждения и камеру покрытия с центральным патрубком. Он соединен с вакуумопроводом. Емкость предварительного охлаждения выполнена в виде кольца с винтообразным подъемом дна. Она тангенциально соединена с камерой пиролиза и отделена от камеры покрытия съемной перегородкой с отверстиями. Размер отверстий увеличивается по мере удаления от камеры пиролиза. Пластины-охладители размещены радиально на центральном патрубке внутри камеры покрытия. Они выполнены с возможностью регулировки температуры по их длине. Покрываемые детали уста на вливаются на пластинах-охладителях с зазором. 2 ил.

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si>s В 05 С 9/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ телях с зазором. 2 ил, (21) 4946832/05 (22) 19.06.91 (46) 15.04.93. Бюл. № 14 (71) Московский агрегатный завод "Дзержинец (72) О,M.ÀBäàêóíèí, Б.И.Плахов, ДД,Карпачев, Г.В,Жданов, А,С,Любский и К.А.Маилян (56) Патент США ¹ 3246627, кл.118 — 49, опублик. 1966, Патент Швейцарии ¹ 580649, кл. С 08 6 61/02, опублик. 1976. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛИ-п-КСИЛИЛЕНОВЫХ ПОКРЫТИЙ (57) Использование: нанесение поли-и-ксилиленовых покрытий на иэделия в радиотехнической, электронной и др. отраслях промышленности. Сущность изобретения; устройство содержит камеру сублимации с

Изобретение предназначено для нанесения влагозащитного слоя на блоки электронной аппаратуры, микросборки и может быть использовано в радиотехнической, электронной и других отраслях промышленности.

Целью изобретения является повыше.ние качества покрытия путем обеспечения равномерности его нанесения по всей поверхности изделия.

На фиг.1 изображен продольный разрез устройства; на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1.

Устройство для нанесения поли-и-ксилиленовых покрытий представляет собой герметичную емкость 1, соединенную с вакуумоповодом 2. Емкость 1 состоит из каме Ы,, 1808411 A 1 емкостью для материала покрытия, камеру пиролиза, емкость предварительного охлаждения и камеру покрытия с центральным патрубком. Он соединен с вакуумопроводом, Емкость предварительного охлаждения выполнена в виде кольца с винтообразным подьемом дна, Она тангенциально соединена с камерой пиролиза и отделана от камеры покрытия съемной перегородкой с отверстиями. Размер отверстий увеличивается по мере удаления от камеры пиролиза. Пластины-охладители размещены радиально на центральном патрубке внутри камеры покрытия. Они выполнены с возможностью регулировки температуры по их длине, Покрываемые детали устанавливаются на пластинах-охладиры сублимации 3, камеры пиролиза 4, емкости предварительного охлаждения 5, размещенной на входе камеры покрытия 6.

Камеры 3, 4 и 6 имеют цилиндрическую форму, а емкость предварительного охлаждения 5 выполнена в виде кольца 7 с винтообразным подъемом дна 8 и тангенциально соединена посредством патрубка 9 с камерой пиролиза 4. Камера сублимации.3. снабжена нагревателями 10, крышкой 11 и емкостью 12 с материалом покрытия и соединена с камерой пиролиза 4, которая снабжена нагревателями 13, 14, сьемным винтом

15, выполненным из жаростойкого теплопроводящего материала, Между емкостью предварительного охлаждения 5 и камерой

1808411 покрытия 6 размещена съемная перегородка 16, выполненная с отверстиями 17, 18, 19, 20, 21, 22, расположенными по окружности, размер которых увеличивается по мере удаления от камеры пиролиза 4. Камеры предварительного охлаждения 5 и покрытия 6 снабжены нагревателями 23 и 24 и центральным патрубком 25, соединенным с вакуумм и ро В одом, Внутри камеры покрытия 6 на централь- 10 ном патрубке 25 радиально размещены держатели в виде пластин — охладителей 26, снабженных средствами регулировки температуры по их длине, при этом на пластинах — охладителях 26 с зазором 27 с помощью захватов 28 устанавливаются по- крываемые изделия 29.

Устройство работает следующим образом, 20

Перед началом работы с устройства снимаются крышка 11 и в емкость 12 засыпается необходимая доза материала покрытия 30 (циклода-п-ксилиленэ), после чего крышка 11 закрывается, С устройства снимается камера покры- 25 тия 6 и покрь1ваемые изделия 29 устанавливаются на пластинах-охладителях 26 с зазором 27 с помощью захватов 28, после чего камера покрытия 6 устанавливается на прежнее место. Затем из емкости 1 через 30 центральный патрубок 25 и вакуумпровод 2 откачивается воздух для создания необходимого воздуха. При этом пластины-охладители 26, выполненные с возможностью регулировки температуры по их длине, ох- 35 лэждают изделия 29, установленные на них с зазором 27 с помощью захватов 28. Причем охлаждение изделий 29 производится неравномерно — более сильно охлаждается верхняя, наиболее удаленная от камеры 40 предварительного охлаждения 5 часть деталей с целью получения более равномерного покрытия на всей поверхности деталей.

После достижения необходимого вакуума в емкости 1 и охлаждения изделий 29 45 включаются нагреватели 10, 14, 23 и 24 и в течение установленного времени проводят процесс нанесения покрытия. во время которого пары цикла-п-ксилилена из камеры сублимации 3 поступают в камеру пиролиза 50

4, где происходит образование п-ксилилена.

При этом при прохождении паров циклода-и-ксилилена через разогретый винт 15, выполненный из жаростойкого теплопроводящего материала, обеспечивается более 55 полное образование п-ксилилена.

Далее в емкости предварительного охлаждения 5, выполненной в виде кольца 7 с винтообразным подъемом дна 8, пары постепенно охлаждаются и через отверстия

17, 18, 19, 20, 21, 22, расположенные по кругу в съемной перегородке 16. равномерно поступают в камеру покрытия 6, далее, проходя вдоль изделий 29, осаждаются на их поверхности ровным слоем, где и происходит полимеризация покрытия.

Сразу после начала полимеризации покрытия средства регулировки пластин — охладителей выключаются с целью экономии материала покрытия.

После окончания цикла выключают все нагреватели и после охлаждения всех камер

3, 4, 5, 6 в емкость 1 подается воздух.

Далее с устройства снимается камера покрытия 6 и покрытые изделия 29 снимаются с пластин-охладителей 26, а на их место устанавливается новая партия изделий 29 и устанавливается камера покрытия 6 на прежнее место. В емкость 12 как и прежде засыпается новая порция материала покрытия 30, После чего цикл повторяется.

B предложенном устройстве емкость предварительного охлаждения выполнена с винтообразным подъемом дна 8, а отверстия в перегородке 16 расположены по кругу и размер их увеличивается по мере удаления от камеры пиролиэа 4, вследствие чего поток паров в емкости предварительного охлаждения 5, постепенно охлаждаясь у перегородки 16, равномерно поступает в камеру покрытия 6.

Кроме того в предложенном устройстве обеспечивается возможность регулировки температуры при охлаждении иэделий 29 пластинами-охладителями 26 для того, чтобы части изделий, расположенные дальше от источника napos, охладились сильнее с тем, чтобы там образовывался такой же слой покрытия, как и на частях, более близких к источнику паров, Отсос паров производится из верхней части камеры покрытия б,с тем чтобы уменьшить воэможность образования так называемых "мертвых зон".

Предложенное устройство обеспечивает равномерное покрытие по всей поверхности покрываемых изделий 29, снижает процент брака изделия за счет повышения качества покрытия и, кроме того уменьшает расход материала покрытия за счет уменьшения охлаждения на стенках камеры и пластинах-охладителях 26.

Формула изобретения

Устройство для нанесения поли-п-ксилиленовых покрытий, содержащее последовательно размещенные камеру сублимации с емкостью для материала покрытия, камеру пиролиза и камеру покрытия с держателями изделий и с центральным патрубком, соединенным с вакуум-проводом, о т л и ч э ю щ е1808411 фиг2

Составитель Л. Кольцова

Техред M. Моргентал г"

Корректор М, Андрушенко

Редактор

Заказ 1235 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 е с я тем, что, с целью повышения качества покрытия путем обеспечения равномерности его нанесения по всей поверхности изделия, входная часть камеры покрытия выполнена в виде кольцевой емкости предварительного охлаждения с винтообразным подъемом дна, соединенной тангенциально с камерой пиролиза и отделенной от камеры покрытия съемной перегородкой с размещенными по окружности отверстиями, размер которых выбран увеличивающимся по мере удаления от камеры пиролиза, при этом держатели выполнены в виде пластин5 охладителей со средствами регулировки температуры по их длине и размещены радиально на центральном патрубке камеры покрытия для установки на них изделий с зазором.