Генератор колебаний потока жидкости

 

Использование: для создания пульсирующего потока жидкости в устр-вэх для высококачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей. Сущность изобретения: упругий вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере турбулизатора полого цилиндра с сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов подачи и отвода жидкости и имеющим заостренные кромки. Кромки входят в канал подачи жидкости. Регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской пружины , один конец к-рой закреплен на вибраторе, другой - на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (s>)s F 15 В 21/12

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

6 (21) 4875914/29 (22) 21.09,90 (46) 23.04.93. Бюл. N 15 (71) Опытный завод микроэлектроники

"Риф" (72) П.И. Шипилов и Н.А. Круглова (73) Воронежский опытный завод микроэлектроники "Риф" (56) Авторское свидетельство СССР

N. 907323, кл. F 15 В 21/12, 1980, Авторское свидетельство СССР

¹ 925432, кл. В 08 В 3/02, 1979.

Авторское свидетельство СССР

N 1257305, кл, F 15 В 21/12. 1984.

Авторское свидетельство ССР

N. 597443, кл, В 08 В 9/06, 1976.

Авторское свидетельство СССР № 1498992, кл, F 15 В 21/12, 1987.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для создания пульсирующего потока жидкости в устройствах для высококачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей, например, пластин кремния в полупроводниковой промышленности или подложек поликоровых плат в производстве изделий микроэлектронной техники.

Целью предлагаемого изобретения является сохранение частоты потока жидкости за счет исключения подвижных взаимодействующих элементов конструкции, т.е. исключение вероятности внесения в промывочную жидкость загрязнений при упрощении конструкции генератора колебаний, „„Я.1 „„1811567 АЗ (54) ГЕНЕРАТОР КОЛЕБАНИЙ ПОТОКА

ЖИДКОСТИ (57) Использование: для создания пульсирующего потока жидкости в устр-вах для высококачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей. Сущность изобретения: упругий вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере турбулизатора полого цилиндра с сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов подачи и отвода жидкости и имеющим заостренные кромки. Кромки входят в канал подачи жидкости, Регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской поуж ны, один конец к-рой закреплен на вибраторе, другой — на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами. 3 ил.На фиг.1 изображен общий вид генератора; на фиг.2 — сечение А — А на фиг.1; на фиг.3 — вид по стрелке Б на фиг.2, Генератор состоит из следующих основных элементов: цилиндрического корпуса 1, в котором установлен упругий вибратор 2, имеющий входное 3 v выходное 4 отверстия для жидкости; элементов регулирования частоты колебаний в виде плоской пружины 5, один конец которой закреплен на вибраторе

2, а другой — на поворотной оси 6, имеющей рычаг 7 (фиг.2), взаимодействующий с регулировочными винтами 8 и 9 (см.фиг.3), установленными с наружной стороны корпуса 1, Корпус закрыт крышками 10 и 11. Внутри корпуса установлен сегмент 12, который с рабочим концом вибратора образует дроссельный канал 13. Вибратор выполнен в ви1811567 де коаксиально установленного в камере 1 полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки, входящие в канал подачи жидкости.

Вибратор 2 с помощью утолщения 15 закреплен консольно, а свободная заостренная кромка 16 направлена навстречу по даваемой жидкости из отверстия 4.

Генератор работает следующим образом.

При подаче жидкости через входное отверстие 3 в дроссельный канал 13 одна часть потока попадает s выходное отверстие 4, а другая завихряется в камере турбулизации 14. При этом, в результате поверхностных срывов жидкости у стенок камеры и взаимодействия прямого и завихренного потоков в дросселирующем канале 20

13 возникают высокочастотные колебания.

Они вводят s колебательный процесс вибратор 2, возбуждая в нем низкочастотные колебания, Процесс входит в режим автоколебаний. 25

В конкретном устройстве при длине консольной части вибратора 70 мм, диаметре камеры 38 мм и давлении подаваемой воды 200 кГс/см получены регулируемые колебания потока с частотами 900 — 3000 Гц 30 и амплитудой и 15 кГс/см .

В конструкции предложенного генератора колебаний потока жидкости нет движущихся взаимодействующих частей, что полностью исключает загрязнение жидкости продуктами износа. Это является важным положительным качеством особенно при использовании жидкости для промывки изделий в полупроводниковой промышленности и в производстве изделий микроэлектроники.

Формула изобретения

Генератор колебаний потока жидкости, содержащий корпус с каналами подачи и отвода жидкости, камеру турбулиэатора, консольно закрепленный упругий вибратор и регулятор частоты колебаний, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью сохранения чистоты потока жидкости эа счет исключения подвижных взаимодействующих элементов конструкции, вибратор выполнен s виде коаксиально установленного в камере полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки, входящие в канал подачи жидкости, а регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской пружины, один конец которой закреплен на вибраторе, а другой — на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами.

1811567

А-Д

8ид б

Составитель M.ÖûïëàêoBà

Техред М,Моргентал Корректор И.Шулла

Редактор Т.Иванова

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 1464 Тираж Подписное

8НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5