Способ изготовления магнитных пленок

Авторы патента:

А. А. Глазер, А. И. Мицек, А. П. Потапов, Р. И. Тагиров , Ш. Шур

B29C41/08 - покрытие формы, стержня или другой подложки распылением или псевдоожижением, например распылением порошка

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

P,"„TÅÍ1ÍÐ,, X11a «N »

Зависимое от авт. свидетельства №

611 .";ИОТЕКЛ

Кл. 39аз, 7/20

Заявлено 18.Х.1965 (№ 1032781/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04.Ч,1967. Бюллетень № 10

МПК H 01т|

В 29с1

УДК 539.216.2:621.318. .132.002.2 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 12Х1.19б7

Авторы изобретения А, А. Глазер, А. И. Мицек, А. П. Потапов, P. И. Тагиров и Я. Ш. Шур

Заявитель

Институт физики металлов AH СССР

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНЪ|Х ПЛЕНОК

Известны способы получения магнитных пленок, основанные на напылении слоя пермаллоя на подслой марганца с последующеи термообработкой напыленной магнитной пленки.

По предлагаемому способу изготовления магнитных пленок размагничивание их производится в процессе охлаждения от точки Нееля. Это повышает стабильность параметроз пленок с перетянутой петлей гистерезиса и уменьшает остаточную намагниченность.

На стеклянную подложку, нагретую до

250 С в вакууме порядка 5 10 з мл рт. Ст., напыляют слой марганца толщиной около о

1000А, затем напыляют слой пермаллоя поо рядка 1000А и защитный слой SiO (последнее не обязательно). Полученная таким образом пленка обладает обычной одноосной анизотропией и прямоугольной петлей гистерезиса.

Затем пленку тщательно размагничивают прн комнатной температуре и отжигают в печи с бифилярной намоткой нагревателя 1,5 «ас прп

350 С в размагниченном состоянии. Во время отжига в промежутке между марганцем и пермаллоем в результате взаимной диффузии образуется антиферромагнитный сплав с точкой

Нееля около 250 С. После отжига пленку ovлаждают с печью до комнатной температуры.

В результате такой обработки петля гистерезиса пленки становится перетянутой.

Напыление слоев можно вести на подлож10 ку, нагретую до 350 С, затем размагнитить образец при этой жетемпературеи охладить сго до комнатной температуры.

Предмет изобретения

15 Способ изготовления магнитных пленок, основанный на напылении слоя пермаллоя на подслой марганца с последующей термообработкой напыленной магнитной пленки, отли«аюи1ийся тем, что, с целью повышения ста20 бильности параметров пленок с перетянутой петлей гистерезиса и уменьшения остаточной намагниченности, охлаждения пленок от точки Нееля производят в размагниченном состоянии.