Устройство для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей

Авторы патента:

G01B11/14 - для измерения расстояния или зазора между разнесенными предметами или отверстиями (G01B 11/26 имеет преимущество; дальномеры G01C)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскив

Социалистическил

Респуолив

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42d, 1/15

576, 5/02

Заявлено 04.IV.1966 (№ 1066543/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.1.1968. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 25.III.1968

МПК G 01d

G 03(УДК 53,087.354(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. Г. Лужецкий, В. Г. Лужецкий и П. А. Чернов

Институт математики Сибирского отделения АН СССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ПОДВИЖНОЙ

И НЕПОДВИЖНОЙ ПЛОСКОСТЕЙ

Данное изобретение относится к области электроавтоматики и электровакуумной техники.

Известные устройства для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей, содержащие осветители, механизм перемещения подвижной плоскости, оптическую систему и индикатор, обладают рядом недостатков: невысокой точностью измерения совмещения, невозможностью непрерывного контроля совмещаемых плоскостей, отсутствием автоматизации процесса совмещения, применением сложной оптики, малой производигельностью, невозможностью передачи информации о контроле на расстояние.

Предлагаемое устройство лишено указанных недостатков благодаря тому, что в нем оптическая система выполнена в виде трех непрерывно закрепленных световодов, а на подвижной плоскости нанесены две щели, пропускающие свет от осветителей к световодам, при этом к выходным торцам последних подключена схема преобразования световых потоков, выполненная в виде диска с тремя рядами отверстий, нанесенных с разной частотой, и фотоприемника, на выходе которого включены три фильтра, последовательно подключенные к индикатору.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Для совмещения неподвижной плоскости, например подложки 1 с подвижной маской 2, на последней нанесены две щели 8 и 4. Контроль совмещения производится по трем точкам с помощью трех неподвижно закрепленных световодов 5, б и 7, на выходе которых установлены три схемы 8, 9 и 10 преобразования световых потоков. Момент точного совмещения определяется максимальными показаниями всех схем преобразования световых потоков, на которые свет поступает от осветителей 11 и 12 через щели 8 и 4. Схема преобра15 зования световых потоков в простейшем случае может состоять из фотоэлектрического преобразователя и микроамперметра. При осуществлении процесса совмещения, когда маска 2 занимает положение, при котором ни

20 один из световодов не совпадает со щелями, необходимо сначала осуществить поворог маски в одну из сторон механизмом 18 до момента появления увеличения показаний одной из схем 8 или 9. После того, как схема даст

25 максимальные показания, маска 2 переместится механизмом 14 до максимального увеличения показаний схемы 9, при этом обе схемы (8 и 9) должны давать максимальные показания. Для совмещения в третьей точке ucÇ0 пользуется механизм 15, при этом световой

3 поток от осветителя 12 проходит через щель 8 и преобразуется схемой 10.

Максимальные показания всех трех схем соответствуют моменту окончания совмещения, Для упрощения схемы преобразования световых потоков используется вращающийся с постоянной скоростью диск 16 с тремя рядами отверстий, фотоприемник 17 и три фильтра 18, 19 и 20, выходы которых последовательно подсоединены к индикатору 21, например микроамперметру. Фильтры настроены на соответствующие частоты отверстий, нанесенных на диске. Применение модуляции повышает чувствительность схемы преобразования слабых световых потоков. Точность контроля совмещения определяется размерами щелей, диаметром световодов и чувствительностью схемы преобразования, 209781

Предмет изобретения

Устройство для контроля совмещения под. вижной и неподвижной плоскостей, содержащее осветители, механизмы перемещения подвижной плоскости, оптическую систему и индикатор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и непрерывного контроля совмещаемых плоскостей, оптическая система

10 выполнена в виде трех световодов, неподвижно закрепленных, а на подвижной плоскости нанесены две щели, пропускающие свет от осветителей к световодам, при этом к выходным торцам последних подключена схема пре15 образования световых потоков, выполненная в виде диска с тремя рядами отверстий, нанесенных с разной частотой, и фотоприемника, на выходе которого включены три фильтра, последовательно подключенные к индикатору.

Составитель Т. М. Сердобольскай

Редактор П. А. Вербова Текред А, А. Камышникова Корректоры: Н. И. Быстрова и А. П. Васильева

Заказ 493!11 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей

Похожие патенты:

Патент 200775 // 200775

Патент 196366 // 196366

Патент 195647 // 195647

Способ автоматического регулирования расстояния газового резака от поверхности изделия // 192001

Оптико-контактный прибор для измерения зазоров // 179941

Усовершенствованный перфлектометр // 178496

Автоматическая делительная л1ашина для нарезания // 173427

Патент 160593 // 160593

Патент 158681 // 158681

Устройство для проверки слюдяных деталей для радиоламп // 147324

Устройство для бесконтактного измерения воздушного зазора синхронной электрической машины // 2100818

Изобретение относится к измерительной аппаратуре, применяемой в электротехнике, и, в частности, может быть использовано для контроля воздушного зазора синхронной электрической машины, например гидрогенератора

Фотобарьерный датчик // 2107258

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в системах АСУ ТП промышленных предприятий

Устройство для определения расстояния между двумя расположенными на одном уровне точками, преимущественно для контроля положения подкрановых путей мостовых кранов // 2112918

Изобретение относится к области измерений, в частности к контролю положения подкрановых путей в плане преимущественно мостовых кранов

Способ измерения перемещений // 2115884

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам передачи в измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объекта

Устройство для определения расстояний // 2116617

Изобретение относится к измерениям и может быть использовано при быстрой (в темпе измерения) обработке результатов большого числа измерений, когда невозможно проводить накопление большого количества информации (нескольких чисел для вычисления координаты одной точки), а желательно получать результат в виде одного числа - каждой точке соответствует одно измерение и одно число (результат)

Микрорезонаторный волоконно-оптический датчик линейных перемещений // 2142116

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора с частотным кодированием выходного сигнала и может быть использовано в системах измерения различных физических величин (температуры, давления, линейных и угловых перемещений и др.)

Способ измерения квазипериода дифракционного распределения излучения от узкой щели // 2145054

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах

Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей // 2148790

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Способ измерения перемещений // 2149354

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам измерения и может быть использовано для измерения перемещений объекта

Способ контроля положения волокна, способ управления положением волокна и устройство для измерения расстояния до поверхности // 2152589