Камера объектов для электронного микроскопа

 

ОПИСАНИЕ 22l855

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Респтблик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21g, 37/10

Заявлено ОЗ.Ч1.1967 (№ 1160681/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК Н 011

УДК 621.385.833(088.8) комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 17.Ч11.1968. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 21.Х.1968

Автор изобретения

П. А. Стоянов

Заявитель

КАМЕРА ОБЪЕКТОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Данное изобретение относится к области электронной микроскопии, В известных электронных микроскопах для отвода тепла, поступающего к объективу от обмотки возбуждения объектива и других линз, обычно применяется водяное охлаждение.

Время и степень нагревания или охлаждения того или иного узла объектива произвольны и трудно подаются учету. Тепловое расширечие нагретых и сжатие охлажденных деталей объектива вызывает их взаимное смещение — дрейф. Дрейф конструктивных элементов нарушает механическую стабильность электронного микроскопа. Дрейф столика объектов за время экспозиции смазывает фотоснимок и в результате этого не может быть реализована разрешающая способность электронного микроскопа, обеспечиваемая оптикой прибора.

Для уменьшения дрейфа столика объектов необходимо, чтобы детали столика имели ту же температуру, что и корпус камеры объектов.

Предлагаемая камера объектов для электронного микроскопа отличается от известных камер тем, что, с целью уменьшения теплового дрейфа столика объектов, она содержит тепловые экраны, образующие вместе с корпусом камеры изотермическую полость, в которой расположен столик объектов, причем внутренняя поверхность полости, а также поверхность деталей столика зачернены.

5 На чертеже изображена конструкция предлагаемой камеры объектов.

Камера содержит механизм перемещения объектов, состоящий из столика объектов 1, толкателя 2, компенсатора 8 для осуществле10 ния взаимной компенсации линейных расширений конструктивных элементов при нагревании, который расположен на стыке толкателя и столика. Сам механизм расположен внутри полости, ограниченной экраном 4 и

15 стенками корпуса объектива 5. Хороший тепловой контакт экрана с корпусом, осуществляемый при помощи винтов, прижимающих его к выточке в корпусе, обеспечивает равенство температур всех поверхностей, обращенных к

20 столику и другим элементам механизма, температуре корпуса объектива в той его части, которая находится вблизи столика и толкателей. Эти поверхности, а также столик окрашены в черный цвет или подвергнуты чернению

25 любым известным методом (чернение поверхности на чертеже помечено пунктиром), что создает требуемый теплообмен между столиком 1 и корпусом 5 и другими элементами, механизма. Обмотка возбуждения б заключе30 на в медный кожух 7. изолипованный в тепло3 вом отношении от корпуса о линзы прокладкам1и;8 из материала с низкой теплопроводностью, например из стекловолокнита, а также воздушными щелями между корпусом линзы и кожухом. Последний имеет водяную рубашку 9, по которой протекает охлаждающая жидкость (вода), Температура воды выравнивается с температурой внешней среды в резервуаре lO за счет естественного теплообмена или при помощи дополнительного подогревания (охлаждения).

Предмет изобретения

Камера объектов для электронного микроскопа, включающая корпус и столик объектов, 5 отличающаяся тем, что, с целью уменьшения теплового дрейфа столика объектов, она содержит тепловые экраны, образующие вместе с корпусом камеры изотермическую полость, в которой расположен столик объектов, при10 чем внутренняя поверхность полости, а также поверхность деталей столика зачернены.

Составитель Т. М. Горчакова

Редактор Н. А, Джарагетти Техред Т. П. Курилко Корректор А. П. Васильева

Заказ 3082(19 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам пзооретеппи и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Камера объектов для электронного микроскопа Камера объектов для электронного микроскопа 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем
Наверх