Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов
Оп ИСАЙИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
234527 союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ н.
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 30. т!.1967 (№ 1162915/26-25) с присоединением заявки №
Приор итет
Опубликовано 10.1.1969. Бюллетень № 4
Дата опубликования описания 21 V.1969
Кл. 21g, 12/01
21g, 13! 30
МПК Н 011
Н 01
УДК 621.3.032.94 (088.8) Комитет по делам изобретениЯ и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Заявитель
А. Г. Денисов, В. И. Перфильев и Ю. С. Спиридонов
СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ
И АРМАТУРЫ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ПРИБОРОВ
Известны способы обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов во время откачки с помощью плазмы тлеющего разряда, Однако этими способами можно обезгаживать металлические детали, обезгаживание стеклянных оболочек производится за счет нагрева их под печью до 400 — 550 С.
Предложенный способ отличается от известных тем, что после напуска инертного газа до давления несколько тор обработку плазмой тлеющего разряда ведут при непрерывном понижении давления до величины, при которой прекращается горение разряда.
Предложенный способ позволяет очищать внутреннюю поверхность стеклянных оболочек приборов быстрее и качественнее, чем известные.
Сущность предложенного способа состоит в том, что прибор после напаивания на откачной пост и откачки до вакуума не хуже
5 10 ° тор наполняют инертным газом, например аргоном, при давлении несколько тор и зажигают в приборе электрический тлеющий разряд, причем во время обезгаживания давление газа снижается до величины, при которой прекращается горение разряда, чем достигается перемещение плазмы по внутренней поверхности оболочки прибора. Сила тока порядка 10 — 30 л1а. При этом плазма взаимодействует с поверхностью стекла и вызывает ее обезгаживание. Механизм десорбции, повидимому, связан с образованием отрицательного заряда на поверхности стеклянных сте5 нок из-за большой подвижности электронов и бомбардировки стенок положительными ионами.
Десорбированные с поверхности стекла ll арматуры активные газы загрязня!от напол10 няющий газ. Поэтому ее обрабатывают !!pl! неоднократной смене газа. Продолжительность обезгажпвания 7 — 10 111тн (по обычной технологии — 1 час).
15 Чтобы внедренные в стекло атомы инертного газа не изменяли значительно рабочее газовое наполнение лампы, целесообразно обработку производить в газе, который является составной частью рабочей газовой смеси, 20 предпочтительнее п самом тяже IQM, так 1 ак в этом случае эффект обезгаживания наибольший.
Возможны многочисленные варианты данного способа, напрнмер обезгаживание стекла
25 без смены газа с использованием для очистки наполняющего газа сорбционного насоса, вмонтированного в вакуумную систему откачного поста.
Предложенный способ позволяет упростить
30 кОнстрх кцию Откачного 110OTñt, так как Отпа234527
Предмет изобретения
Составитель И. С. Ратенберг
Редактор Б. Б. Федотов Техред Л. Я. Левина Корректор А. П. Васильева
Заказ 645/3 Тираж 465 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Uemp, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 дает надобность В пе !и для обсзгаживания стекла.
Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов с помощью плазмы тлеющего разряда во время откачки прибора, от,гичагогЧийся тем, что, с целью снижения времени обсзгаживания и повышения качества очистки внутренней поверхности стеклянной оболочки прибора, после на5 пуска инертного газа до давления несколько тор производят обработку плазмой тлеющего разряда при непрерывном снижении давления до величины, при которой прекращается горение разряда.
