Устройство для определения координат участка объекта, исследуемого в электронном микроскопе
252503
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 2lg, 37/10
Заявлено 27.VII.1967 (№ 1177434/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.1Х.1969. Бюллетень ¹ 29
Дата опубликования описания 24.II.1970
МПК Н Olj
УДК 621.385.833 (088.8) Комитет оо делам изобретений и открытей ори Совете ГЛнннстроо
СССР
Авторы изобретения Э. А. Шуляк, В. H. Капличный, В. М. Яременко и Г, Я. Игнатова
Заявитель
Завод электронных микроскопов и электроавтоматики
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КООРДИНАТ УЧАСТКА
ОБЪЕКТА, ИССЛЕДУЕМОГО В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ
Известные устройства для определения координат участка объекта, исследуемого в электронном микроскопе, полностью состоят из механических узлов. В таких устройствах механизмы индикации имеют непосредственную тесную связь с приводами столика объекта.
Вследствие больших увеличений электронного микроскопа (до 200000 раз) к приводам столика объектов предъявляются очень жесткие требования: отступления от траектории перемещения столика объектов, рывки и толчки обекта не должны превышать 0,1 — 0,2 мк.
Поэтому механическая связь приводов столика объектов с какими-либо дополнительными механизмами нежелательна, так как неизбежно возникающее трение, люфты и заедания между деталями механизма затрудняют задачу плавности перемещения столика объектов, могут привести к дрейфу столика объектов и тем самым снижают гарантируемую разрешающую способность прибора и точность огсчета координат.
При чисто механической конструкции индикатора координат его расположение строго лимитировано из-за мощности механических передач. Кроме того, при эксплуатации элек;ронного микроскопа требуется затем пенное помещение и, следовательно, для отсчета координат участка исследуемого обьекта необходима подсветка, что ведет к дополнительному усложнению конструкции, а также к нарушению адаптации глаз оператора.
Предлагаемое устройство отличается от из5 вестных тем, что для повышения точности определения координат оно содержит электроннолучевую трубку, потенциометры, с помощью которых производится перемещение электронного луча на экране указанной электроннолу10 чевой трубки синхронно с перемещением столика объектов, причем потенциометры связаны с приводами столика объектов редукторныными механизмами.
На чертеже схематично изображено предла15 гаемое устройство.
Оно состоит из электроннолучевой трубки 1, потенциометров 2, редукторных механизмов 3.
Электроннолучевая трубка 1, на экран которой нанесена координатная сетка, является инди20 катором. Электронный луч, указывающий координаты исследуемого участка объекта, перемещается по экрану трубки синхронно с перемещением столика объекта 4. Синхронность обеспечивается редукторными механизмами 8, 25 передаточное отношение которых рассчитано таким образом, что полное перемещение столика объектов 4 соответствует полному обороту ручек потенциометров 2 задающих потенциал на отклоняющих пластинках трубки 1, а
30 следовательно, и перемещение луча от одногО
252503
Составитель Т. М. Горчакова
Техред Л. Я. Левина Корректор В. И. Жолудева
Редактор H. С. Коган
Заказ 201/10 Тираж 480 П одписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-35, Раушская наб., д, 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 конца экрана до другого. Спектр свечения экрана трубки 1 и микроскопа одинаков, вследствие чего не нарушается адаптация глаза оператора при работе на больших увеличениях.
Предлагаемое устройство может быть использовано как один из элементов дистанционного контроля и управления электронным микроскопом, так как предусмотренное конструкцией преобразование механических перемещений в электрические сигналы позволяет размещать это устройство на любом расстоянии от электронного микроскопа. Преобразование механических перемещений в электрические сигналы освобождает приводы столика объектов от дополнительных нагрузок, возникающих при чисто механической конструкции устройства для определения координат участка объекта, В предлагаемой конструкции, например, возможно исключение даже редукторного механизма, если применить многозаходные потенциометры.
Предмет изобретения
Устройство для определения координат участка объекта, исследуемого в электронном микроскопе, помещенного,на столике объектов, снабженном приводами для перемещения, от10 личающееся тем, что, с целью повышения точности определения координат, оно содержит электроннолучевую трубку, потенциометры, с помощью которых производится перемещение электронного луча на экране указанной элек15 троннолучевой трубки синхронно с перемещением столика объектов, причем потенциометры связаны с приводами столика объектов редукторными механизмами.
