Способ контроля толщины пленки в процессе
Г, <
О П Й-K---А--Й-"И- Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
255728 бсюа Соеетских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства М
Заявлено 15.1V.1968 (№ 1233778/22-1) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 28.Х.1969. Бюллетень ¹ 33
Дата опубликования описания 10.1 .1970
Кл. 48Ь, 13/00
ЧПК С 23с
УДК 621.793.1:53.0S3.2 (088.8) Комитет по Полата иаобретеиий и открытий при Сосете Ыинистрое
СССР
Автор изобретения
В. T. Николаев
Заявитель
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЬ1 ПЛЕНКИ В ПРОЦЕССЕ
EE НАПЫЛЕНИЯ
Известен способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, например при вакуумном напылении, по изменению разностной частоты между измерительным генератором, кварцевый резонатор которого помещен в зону напыления, и опорным генератором, причем для повторного осаждения опорный генератор должен быть перестраиваемым.
Предлагаемый способ отличается от известного тем, что кварцевый резонатор опорного генератора помещают в зону напыления и контролируют напыление первой половины требуемой толщины пленки кварцевым резонатором измерительного генератора при защищенном от потока напыляемого материала кварцевом резонаторе опорного генератора.
По достижении половины требуемой толщины пленки защищают от упомянутого потока кварцевый резонатор измерительного генератора, и контроль второй половины осуществляют с открытым кварцевым резонатором опорного генератора. Достижение заданной толщины пленки определяют по равенству частот измерительного и опорного генераторов. Это позволяет осуществлять контроль при многократном напылении без перестройки опорного гене р атор а.
На чертеже представлена схема реализации предлагаемого способа.
Схема состоит из кварцевых резонаторов 1 и 2, соединенных с измерительным 8 и опорным 4 генераторами. Выходы генераторов 8 и 4 соединены со входом смесителя 5, последний — со входом преобразователя 6, преобразующего входной сигнал в постоянное напряжение, пропорциональное частоте. Выход преобразователя соединен с электронным потенциометром 7, управляющим электромагнитом
>0 8, который передвигает заслонку 9, предназначенную для перекрытия кварцевых резонаторов. Испаряемый материал помещают в тигель 10. Электромагнит, кварцевые резонаторы, заслонку 9 и тигель размещают под колпа15 ком 11 вакуумной камеры.
Перед напылением разность частот кварцеBbIx резонаторов равна нулю. Электромагниг
8 включен, и заслонка 9 открывает доступ пспаряемого материала на кварцевый резона20 тор 1. В процессе напыления частота генератора 8 уменьшается, разность частот увеличивается. Когда разность частот достигает величины соответствующей половине толщины напыляемой пленки, электронный потенциометр
25 7 включает электромагнит 8, которьш передвигает заслонку 9, перекрывающую кварцевый резонатор 1 и открывающую KBBpUåBbø резонатор 2. Напыление на резонатор 1 прекращается, и начинается напыление на резона30 тор 2.
Предмет изобретения
Составитель Ю, Иосилевич
Техред Л. В, Куклина
Редактор T. Фадеева
Корректоры: А. Николаева н М. Коробова
Заказ 510/4 Тираж 480 Подписное
ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-35, Раушскап наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Частота генератора 4 уменьшается, разностная частота также уменьшается. Когда разностная частота падает до нуля, потенциометр выключает электромагнит и выдает сигнал о достижении заданной толщины для прекращения процесса напыления. Прибор готов для повторного контроля процесса напыления.
Способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, например при вакуумном напылении, по изменению разностной частоты между измерительным генератором, кварцевый резонатор которого помещают в зону напыления, и опорным генератором, отлачаюи ийся тем, что, с целью получения возможности контроля при многократном напылении без перестройки опорного генератора, кварцевый резонатор опорного генератора также помещают в зону напыления и контролируют на5 пыление первой половины требуемой толщины пленки кварцевым резонатором измерительного генератора при защищенном от потока напыляемого материала кварцевом резонаторе опорного генератора, а по достижении поло10 вины требуемой толщины пленки защищают от упомянутого потока кварцевый резонатор измерительного генератора, и контроль второй половины осуществляют кварцевым резонатором опорного генератора, а достижение задан15 ной толщины пленки определяют по равенству частот измерительного и опорного генераторов.
