Вакуумная камера

Изобретение относится к вакуумной камере. Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленную конструкцию в виде консоли наверху упомянутого цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг оси диаметра на угол. Консоль выполнена раздвижной с возможностью после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси, смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстояние, равное 0,5 диаметра его внутреннего размера. В результате улучшаются эксплуатационные свойства камеры. 5 ил.

 

Изобретение относится к конструкциям вакуумных камер и может быть использовано в вакуумных камерах магнитронно-импульсных, плазменных и ионных установок.

Известна вакуумная камера по авторскому свидетельству №1744229 содержащая створку с установленными на ней опорными роликами, закрепленные на камере направляющие, уплотнительные элементы и фиксатор створки.

В данной камере крышка камеры (называемая створкой) перемещается в сторону по направляющей от корпуса параллельно плоскости отверстия камеры.

В наших устройствах это не возможно из-за того, что на крышке камеры размещены рабочие узлы необходимые для процесса напыления.

Наиболее близким аналогом и прототипом является автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-1. Опубликованная на сайте htt:||ао-Kvartz.ru.

Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обоих сторон цилиндра и стационарно установленное устройство в виде консоли на верху цилиндрического корпуса камеры для отведения крышек от корпуса камеры и поворота их вокруг центральной оси диаметра крышки на необходимый для обслуживания угол.

Недостатком данного устройства заключается в том, что установка имеет большие габаритные размеры из-за консоли и это влияет на занимаемую площадь в цеху, а также установка неудобна при перевозке.

Заявляемое техническое решение решает задачу улучшение эксплуатационных качеств устройства.

Сущность изобретения состоит в том, что вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленное устройство в виде консоли на верху цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг вертикальной оси на необходимый угол, причем устройство выполнено в виде раздвижной компактной системы имеющей возможность после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстоянии равном 0,5 диаметра его внутреннего размера.

Сопоставительный анализ с аналогами и прототипом позволяет сделать вывод, что заявленное техническое решение отличается тем, что устройство выполнено в виде раздвижной компактной системы имеющей возможность после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 вокруг оси смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстоянии равном 0,5 диаметра его внутреннего размера.

Таким образом, заявленное техническое решение соответствует критерию «новизна».

Предлагаемые чертежи поясняют сущность предлагаемого технического решения.

Фиг. 1 - вид вакуумной камеры со стороны крышки.

Фиг. 2 - общий вид вакуумной камеры сбоку.

Фиг. 3 - вид сверху на вакуумную камеру, где одна из крышек выдвинута и развернута на 180 градусов.

Фиг. 4 - сечение по А-А.

Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус 1 с двумя крышками 2 с обеих сторон цилиндра. На верху цилиндра на четырех платиках, приваренных к корпусу крепится болтами раздвижная компактная система 3 выполненная в виде корпуса состоящая из двух параллельно друг к другу поставленных швеллеров 4 и 5 полками во внутрь и скрепленных между собой осями 6, на которых через распорные втулки 7 и 8 установлены ролики 9 с буртиками 10 по краям и вращающиеся на шарикоподшипниках 11. Ролики 9 на осях 6 установлены попарно рядом друг с другом симметрично по обе стороны, от центра длины осей, образуя опоры для внутренних 12 и наружных 13 направляющих пластин. Направляющие пластины 12 и 13 передвигаются внутри по верхним и нижним роликам 9 между буртиков 10 роликов.

На одном из швеллеров 5 сделаны вырезы для расположения квадратных труб 14. Направляющие пластины жестко закреплены в квадратной трубе 14. В отстоящей консоли трубы 14 выполнено сквозное отверстие 15 с центром, на расстоянии 0,5 от вертикальной оси внутреннего диаметра цилиндрического корпуса, в котором закреплена ось 16 гайками 17.

Ниже трубы 14 параллельно ей расположена вторая квадратная труба 18, которая одним концом установлена на оси 16 и имеет возможность поворота на подшипниках 19.

На другом конце трубы 18 закреплена крышка 2 вакуумной камеры, таким образом труба 18 с крышкой 2 может поворачиваться вокруг оси 16 на 180 градусов относительно трубы 14.

Для ограничения выхода внутренних 12 и наружных 13 направляющих пластин за пределы раздвижной компактной системы установлены упоры. Для внутренней направляющей ограничителями хода служат упоры 20 и 21, а для наружной направляющей ограничителями хода служат упоры 22 и 23. Упоры 20 и 22 встроены во внутреннюю и наружную направляющие, а упоры 21 и 23 установлены на швеллерах 4 и 5. Фиксация крышек 2 при их повороте осуществляется запором 24 который состоит из стакана 25, пружины 26 и штока 27 с шаровой ручкой 28 на конце.

Устройство работает следующим образом.

Для открытия освобождают крышку 2 от запоров и выдвигают ее из камеры на расстояние соответствующее глубины размещения на крышке рабочих узлов для напыления, что соответствует соприкосновению упоров 20 и 21 или 22 и 23 в зависимости от того какую крышку открывают. Затем оттягивают запор за шариковую ручку 28 вниз и поворачивают крышку 2 на необходимый угол 90 или 180 градусов. Запор фиксируется автоматически за счет пружины 26 шток 27 попадает в отверстие на фланце 29.

Таким образом данное устройство позволяет сократить площадь под оборудование и улучшает эксплуатационные качества вакуумной установки.

Заявителем изготовлен опытный образец и проведенные испытания показали его преимущества по сравнению с прототипом.

Вакуумная камера, содержащая цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленную конструкцию в виде консоли наверху упомянутого цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг оси диаметра на угол, отличающаяся тем, что упомянутая консоль выполнена раздвижной с возможностью после выдвижения крышек цилиндрического корпуса осуществления разворота крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси, смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстояние, равное 0,5 диаметра его внутреннего размера.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к поддону для транспортировки одной или нескольких стеклянных подложек по существу в вертикальном положении через распылительную установки (варианты) и системе осаждения методом распыления.

Изобретение относится к технике для нанесения покрытий на детали машин, более конкретно к вакуумным ионно-плазменным технологиям, и может быть использовано для нанесения эрозионностойких покрытий на лопатки блиска турбомашин.
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в авиационном двигателестроении и энергетическом турбостроении для защиты пера рабочих лопаток моноколеса компрессора ГТД из титановых сплавов от эрозионного разрушения.

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и позволяет изменять расположение покрываемой детали относительно источника распыляемого или испаряемого материала с сохранением осевого вращения детали - подложки.

Изобретение относится к технике для нанесения покрытий на детали машин, а именно к вакуумной ионно-плазменной обработке поверхностей, и может быть использовано для нанесения функциональных покрытий на моноколеса турбомашин.

Изобретение относится к устройству для вакуумной обработки армирующего волокна и способу вакуумной обработки армирующего волокна. Указанное устройство содержит камеру, выполненную с возможностью поддерживания в ней состояния пониженного давления, подающий ролик, расположенный с возможностью подвешивания армирующего волокна в упомянутой камере, устройство для нанесения покрытия, расположенное в упомянутой камере с возможностью пропускания через него армирующего волокна, подвешенного в упомянутой камере, захватное устройство, расположенное с возможностью захвата и удерживания на месте переднего конца армирующего волокна, проходящего через упомянутое устройство для нанесения покрытия и вертикально спадающего вниз, намоточный барабан для наматывания армирующего волокна, обработанного упомянутым устройством для нанесения покрытия, и упругий шнур, отводимый синхронно с вращением намоточного барабана из первого его положения, в котором упругий шнур окружает упомянутый передний конец армирующего волокна, удерживаемый на месте упомянутым захватным устройством, во второе его положение, в котором упругий шнур входит в контакт с армирующим волокном и подводит его к намоточному барабану.

Изобретение относится к области вакуумного напыления на заготовки печатных плат пленочных элементов и схем из различных материалов. Устройство для крепления заготовок плат содержит рамку 1 с технологическими окнами, установленные на рамке 1 по крайней мере две опорные площадки 3 для базирования заготовок плат 2 и механизм фиксации, выполненный в виде установленного в корпусе 6 крепежного элемента 4 с возможностью его жесткого соединения с соответствующей опорной площадкой 3 и подпружиненного относительно корпуса 6 посредством упругого элемента 5, при этом корпус 6 выполнен в виде втулки с прижимным выступом 7 для прижима заготовки платы 2, а втулка установлена с возможностью смещения прижимного выступа 7 относительно опорной площадки 3 и его линейного перемещения вверх-вниз при базировании на рамке 1 заготовки платы 2 в зависимости от ее толщины.

Изобретение относится к способу и устройству для изготовления ротора электростатического гироскопа. Процесс изготовления ротора включает формообразование сферической заготовки ротора, его балансировку и нанесение тонкопленочного износостойкого покрытия переменной толщины.

Изобретение относится к установке магнетронного напыления тонких пленок из карбидов или нитридов кремния на подложку, выполненную из полупроводникового материала, керамики или стекла.

Изобретение относится к области нанесения ионно-плазменных покрытий, а именно к устройству и способу нанесения защитных покрытий. Устройство содержит по меньшей мере одну пару расположенных напротив друг друга вакуумно-дуговых испарителей с общим электроизолированным анодом для каждой пары и одну пару газоразрядных источников ионов, образующих кольцевую зону обработки изделий.

Способ предназначен для использования в сварочном производстве при герметизации микроэлектронных устройств (МЭУ) методом электронно-лучевой сварки с обеспечением в их внутреннем объеме контролируемой атмосферы.

Изобретение относится к способу сварки стеклянных трубчатых деталей. Детали размещают в вакуумной камере, создают в ней давления 5÷20 Па и формируют сварной шов на стыке деталей сфокусированным электронным лучом от источника сфокусированного луча.

Изобретение относится к установкам для электронно-лучевой сварки (ЭЛС), применяемым, в частности, для качественной вакуумной сварки узлов и деталей СВЧ-приборов различных классов.

Изобретение относится к установкам для электронно-лучевой сварки изделий. .

Изобретение относится к оборудованию для сборки и электронно-лучевой сварки кольцевых стыков крупногабаритных обечаек из алюминиевых сплавов с локальным вакуумированием зоны сварки и может быть использовано в космической, авиационной, транспортной, химической отраслях промышленности.

Изобретение относится к установкам для электронно-лучевой обработки изделий сваркой, пайкой или наплавкой, а именно к вакуумным камерам. .

Изобретение относится к установкам для электронно-лучевой обработки изделий сваркой, пайкой или наплавкой, а именно к вакуумным камерам. .

Изобретение относится к электротехнике, в частности к электронно-лучевой установке, и может найти применение при электронно-лучевой сварке и термообработке в различных отраслях машиностроения.

Изобретение относится к области сварки плавлением и может быть использовано для электронно-лучевой сварки стержневых изделий в виде трубчатых оболочек, например оболочек тепловыделяющих элементов тепловыделяющих сборок для энергетических ядерных реакторов станций с заглушками.

Изобретение относится к вакуумной камере. Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленную конструкцию в виде консоли наверху упомянутого цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг оси диаметра на угол. Консоль выполнена раздвижной с возможностью после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси, смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстояние, равное 0,5 диаметра его внутреннего размера. В результате улучшаются эксплуатационные свойства камеры. 5 ил.

Наверх