Устройство для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков в электростатическом поле

 

О П И С А Н И Е 284076

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21а, 75

Заявлено 12.Ч.1969 (¹ 1331509/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14.Х.1970. Бюллетень ¹ 32

Дата опубликования описания 29.1.1971.ЧПК H 05k 3/28

УДК 667.64:002.5(088.8) Комитет по делам изабретеииЯ и открытиЯ ори Совете Мииистрав

СССР

Авторы изобретения

Д. В. Бантов, Г. М. Мартакова, Г. Х. Новик, А. Д. Слонимский и

С. А. Шапиро

Заявитель

ИБЛ! 3 :КА

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ КОПИРОВАЛЬНЫХ ЭМУЛЬСИЙ

И ИЗОЛЯЦИОННЫХ ЛАКОВ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения копировальных эмульсий на заготовки печатны плат и для нанесения копировального слоя на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок для тонкопленочной технологии, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий.

Известны устройства для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков .в электростатическом поле при помощи вращающихся грибковых, дисковых и чашечных распылителей и неподвижных лотков и щелевых распылителей, выполненные в виде коронирующего вращающегося электрода, полость которого заполнена распыляемым материалом, снабженного дозатором, служащим для подачи распыляемого материала в полость электрода и приводным механизмом.

Известные распылители работают удовлетворительно только прн нанесении копировальных слоев и лакокрасочных покрытий толщиной свыше 8 — 10 лкл.

Однако посредством этих распылителей не удается достигнуть высокодисперсного распыления при равномерном нанесении копировальных слоев толщиной по 1 — 2 лкл, поскольку во вращающихся распылителях разбрасывание частиц происходит не только за счет электростатических, но и за счет центробежных сил, под действием которых с распылителя могут срываться достаточно крупные частицы толщиной до 30 — 50 лк,u. Кроме того, в существующих лотковых и .щелевых,распылителях

5 не удается обеспечить при нанесении особо тонких копировальных слоев равномерного распределения осаждаемой эмульсии вдоль коронирующей кромки, что приводит к продо IbkIQH полосчатости на покрываемой плас10 тине.

С целью обеспечения наиболее тонкодисперсного распыления в предлагаемом устройстве в полости коронирующего вращающегося электрода, расположен поплавок цилиндри15 ческой формы, погруженный в распыляемую жидкость.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства в продольном разрезе; на фиг. 2— схема взаимодействия поплавка и жидкости.

20 Предлагаемое устройство состоит из вращающегося корпуса 1 с коронирующим электродом 2 и приводным шкивом 3, поплавка 4, представляющего собой полый цилиндр, выполненный из изоляционного материала, доза25 тора 5 с питающей трубкой б, снабженной уплотняющей манжетой 7, опоры8, корпуса стокоподводящим контактом 9, закрепляемым гайкой 10, двигателя 11 со шкивом 12, приводного ремня 13 и плиты 14 для закрепления

30 распылителя.

284076

Устройство работает следующим образом.

Распыляемая жидкость подается дозатором через питающую трубку во внутреннюю полость коронирующего электрода.

Поплавок цилиндрической формы за счет сил поверхностного натяжения притягивается к внутренней стенке коронирующего электрода, при этом между наружной поверхностью поплавка и внутренней поверхностью коронирующего электрода (см. фиг. 2) образуются две сужающиеся щели 15, по которым жидкость за счет капиллярных сил поднимается над первоначальным уровнем. Высота поднятия жидкости в щели плавно увеличивается с уменьшением ширины щели и достигает максимального значения вдоль образующей, по которой соприкасаются поплавок с электродом, так как щель имеет наименьшую ширину. В связи с высокой заостренностью менисков 1б, образовавшихся по обе стороны поплавка, на их вершинах жидкость распыляется и переносится аод действием электростатических сил на покрываемую подложку.

Расход жидкости, образующей мениск, непрерывно,воополняется поступлением ее снизу за счет капиллярных сил.

В свою очередь расход жидкости из внутренней полости коронирующего электрода вос,полняется поплавковым дозатором, поддерживающим постоянный в полости уровень жидкости.

Распыляемая с вершин менисков жидкость образует на неподвижной подложке два пятна, называемых статическими отпечатками.

При перемещении подложки они, соответственно, превращаются в две полосы. Для увеличения диаметра статического отпечатка корпус вращается с небольшой скоростью, исключающей возникновение заметных центробежных

5 сил и коронирующие вершины менисков, с которых происходит распыление жидкости, описывает окружности, при этом статический отпечаток получается в .виде кольца с диаметром, определяемым расстоянием коронируюl0 щих менисков от оси вращения.

Скорость вращения распылителя подбирается таким образом, чтобы при перемещении подложки относительно распылителя кольца статических отпечатков слились в сплошное

15 покрытие, Применение предлагаемого устройства дает определенный экономический эффект за счет снижения расхода распыляемых веществ, а также за счет повышения качества покрытий.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков в электроста25 тическом поле, выполненное в виде коронирующего вращающегося электрода, полость которого заполнена распыляемым материалом, снабженного дозатором, служащим для подачи распыляемого материала в полость элек50 трода, и приводным механизмом, orëè÷àþùåеся тем, что, с целю обеспечения наиболее тонкодисперсного распыления, в полости электрода расположен поплавок цилиндрической формы, погруженный в распыляемую жид35 кость.

284076 фиг. 1 ив. 2

Составитель Н. Степанов

Тсхред Л. Я. Левина Корректоры: E. Ласточкина и h1. Коробова

Редактор Е. Суханова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3674/6 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская паб., д. 4/5