Режущая головка

 

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИЦЕТЕЛЬСТВУ

29937I

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 02Л 1.1969 (№ 1337436 29-33) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 26.111.1971. Бюллетень ¹ 12

Дата опубликования описания 27.IV.1971

МПК В 28d 7/02

Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Мииистров

СССР

УДК 679.8.053.3(088.8) Авторы изобретения В. Т. Комиссаров, Н. С. Понарин, В. К. Кучеров и А. М. Копытин

Заявитель

P Е)КУЩАЯ ГОЛ О В КА

Предлагаемое изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов. В частности предлагаемая режущая головка предназначена для резки слитков полупроводниковых материалов на пластины диском с внешней режущей кромкой, армированной алмазным порошком.

В полупроводниковом производстве широко известны станки, в которых в качестве инструмента используются диски с режущей кромкой, армированной алмазом, и включающие устройство для подачи жидкости. Однако тонкие диски порядка 0,1 лл дают низкое качество реза за счет вибрации и деформации при резании, диски >ке порядка 0,3 — 0,5 м,и дают лучшее качество реза, но увеличивают количество материала, идущего в отходы за счет увеличения ширины реза.

Цель изобретения — повысить эффективностьсть резания, уменьшить вибрацию и механическую деформацию диска, обеспечить возможность регулирования зазора между дисками.

Для этого режущий диск устанавливается в регулируемый зазор между двумя неподвижными дисками, смонтированными с возможностью регулирования зазора между ними облицованнь|ми пористыми элементами, покрывающими сообщающиеся полости, выполненнь е в дополнительных лисках и соединенные с устройством для подачи жидкости.

А дополнительные диски соединены между собой с помощью подпружиненной колонки, упирающейся в винт с гайкой, и другого винта, упирающегося в один из дисков. На эти диски подается специальная эмульсия или вода, которая, проникая через поры пористых элементов, создает по обеим сторонам режущего диска гидравлические подушки. Эти по10 душки выравнивают диск в плоскости реза, уменьшая его вибрацию и деформацию.

На фнг. 1 схематически изобра>кена предлагаемая головка; на фиг. 2 — продольный разрез головки по оси шпинделя; на фиг.

15 3 — вид А.

Головка состоит из двух неподвижных дисков 1, 2, на которых установлены пористые металлические элементы 8, 4. Между этими элементами (дисками) установлен режущий

20 алмазный диск 5, закрепленный на валу б шпинделя, на корпус 7 которого насажена втулка 8, скрепленная с диском 1. Диск 2 в свою очередь посажен на колонки 9, которые запрессованы в диск 1. Требуемый зазор меж25 ду дисками 1 н 2 и режущим диском 5 устанавливается при помощи пружин 10, 11 винтом 12 и гайками 18. В дисках 1, 2 имеются сообщающиеся полости 14, 15, в которые подается вода. Вода, проникая через пористые

30 элементы, образует между боковыми поверх299371

3 ностями режущего диска 5 и обращенными к ним плоскостями дисков 1, 2 водяные подушки, которые гасят вибрацию и уменьшают деформацию режущего алмазного диска в процессе резания слитка.

1. Режущая головка, содержащая диск с режущей кромкой, армированной алмазом, и устройство для подачи жидкости, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения вибрации и динамической деформации диска, поtz o -г — - †.—

Жлг f

Составитель Г. Студенецкая

Редактор С. Ежкова Техред Е. Борисова Корректор А. П, Васильева

Заказ 963)18 Изд. № 414 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Предмет изобретения следний установлен между двумя дополнительными дисками, смонтированными с возможностью регулирования зазора между ними и облицованными пористыми элементами, 5 покрывающими сообщающиеся полости, выполненные в дополнительных дисках и соединенные с устройством для подачи жидкости.

2. Головка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью регулирования зазора между диска10 ми, дополнительные диски соединены между собой с помощью подпружиненной колонки, упирающейся в винт с гайкой, и другого винта, упирающегося в один из дисков.