Магниторазрядный насос

 

305523

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЯЬСТВУ

Ones Советскив

Социелистическив

Реслублии

Зависимое от BBT. свидетельства Ы

Заявлено 02.IX.1968 (М 1267838/26-25) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 04.Ч1.1971. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 27Л 11.1971

МПК Н 011 41, 00

F 04Ь 87!00

Комитет оо дела1и изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 621.528(088.8) Авторы изобретения

А. И. Скакун и В. И. Маханов

Заявитель

МАГНИТОРАЗРЯДНЬ!й НАСОС

Для поддержания высокого и сверхвысокого вакуума в отпаянных мощных приборах

СВЧ-диапазона в течение срока их службы и при длительном хранении использу1отся магниторазрядные насосы, которые присоединяются к прибору посредством штенгеля или располагаются внутри вакуумной оболочки прибора.

Известные магниторазрядные насосы состоят, как правило, из анода, представляющего собой сотовую конструкцию, набран11у;с из ячеек круглой или квадратной в сечении формы, и двух катодов, установленных с об=их торцовых сторон анода и представляющих собой обь1чно сплошные гладкие или оребренные пластины. Анод и катоды монтиру1отся в корпусе насоса, присоединяемом к реципиенту. Катоды насоса выполняются из титана, а аноды, как правило, из нержавеющей стали или меди.

Удобным местом для расположения магниторазрядного насоса в вакуумной ооолсчкс ряда приборов СВЧ большой мощности является коллектор прибора. Однако известны"конструкции насосов со скоростью отка.-1кп около и свыше 1 л/сек имеют весьма значительные габариты и не могут быть вмонпгпрованы в коллектор, поэтому магниторазряднbill насос подсоединяется к коллектору посредством штенгеля. Такое подсосдиненис магниторазрядного насоса общепринятой конструкции нарушает осевую симметри1о прибора и приводит к большому увеличению его габаритов в поперечном сечении в месте подсосдинсния магниторазрядногс насоса.

С целью улх чшения компоновки и уменьше пия габаритов ряда приборов СВЧ большой мощности, снабжаемых магниторазрядным насосом для их откачки в течение срока служ10 бы, предлагается магнитсразрядный насос, корпус которого выполнен в виде полого цилиндра и является анодом насоса, а катод представляет собсн стержень с закрепле lными на нем перпендикулярно его оси дисками, 15 расположенный cooclio с корпусом-анодом.

Учитывая, что коллектор ряда ЭВП СВЧ представляет собой, как правило, полый цилиндр, он может быть (будучи удлиненным в осевом направлении) использован в ка 1естве

20 корпуса-анода магниторазрядного насоса, полость которого должна быть отделена от области собственно коллектора диафрагмой с отверстиями определенной проводимости для исключения попадания электронного потока

25 на насос.

На чертеже изображена предлагаемая конструкция магнптсразрядногс насоса.

Корпус насоса 1 представляет собой глад1 ий цилиндр и изготавливается из немаг 1пт30 ного вакуумноплотного металла, например

305523

Предмет изобретения

Составитель А. И. Фригнер

Тскред Т, П. Курилйо

Редактор Загребельная

Корректоры: М. Коробова и А. Абрамова

3 ак аз 2035, 13 Изд. № 854 Тираж 473 Лодписнос

ЦНИИПИ Коми ста по делам изобретений и открытий при Совсте Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4;5

Типография, пр. Сапунова, 2 меди или нержавеющей стали. Катод выполнен в виде стержня 2 из титана или титан-молибденовой проволоки диаметром 2 ял, íà Ко тором с определенным шагом закреплены перпендикулярно оси стержня диски 8 из титана.

1(атод пасоса закреплен на металлоксра:,Iической ножке 4, изолирующей его от корпуса.

Ноиска заварена в корпус посредством, Iaпример, аргонодуговой сварки. Конец катода, противоположный ножке, опирается на корпус насоса через керамический изолятор я, выполненный в виде стержня и закрепленный на стержне катода с помощью хомутика 6 из титановой ленты.

Корпус насоса является анодом и при работе насоса заземляется; элемент корпуса насоса, расположенный между двумя соседними дисками 8катода,,является по отношению к нпм кяк бы элементарной ячейкой анода. Следовательно, если катод насоса содержит шесть дисков 8, то насос как бы состоит из пяти элементарных разрядных ячеек, характеризующих магниторазрядный насос оощепри ятой конструкции. На катод насоoã Iпlоoд а стся напряжение 4 — 6 кв. На наружну1о поверх5 ность корпуса насоса устанавливается постоя11ный магнит, создающий E области насоса, ограниченной крайними дисками 8, однородное магнитное поле с напряженность1о 800—

1200 эрст, Магниторазрядный насос, содержащий анод

H катод, Отлича1ощийся тем, что, с целью

15 уменьшения габаритов откачиваемого прибора, анод насоса выполнен в виде полого металлического цилиндра, служащего одновременно корпусом насоса. а катод представляет собой стержень, расположенный cooсио с

20 K o p II) c o RI - а н одo %1, перпендикулярно ol о сси дисками.