Способ выявления электрических неоднородностей на поверхности твердых тел

 

3!6982

ОГ1ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 10.V1.1969 (№ 1337599!26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 07.Х.1971. Бюллетень ¹ 30

Дата опубликования описания 21.XII.1971

МПК G 01п 23/04

Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров

СССР Д11 621 9 048(088 8) 1

l,.! (Авторы изобретения

О. М. Артамонов и В. И. Зынь

Заявитель

СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ

НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ

Предмет изобретения

Изооретение относится к области экспери ментальной физики, занимающейся вопросами контроля чистоты и однородности поверхности твердых тел, а также к областям техники, где важен контроль за электрическим состоянием поверхности, например, микроэлектронике тонкопленочной технике.

Известен способ выявления электрических неоднородностей на поверхности твердых тел, заключающийся в том, что исследуемую поверхность подвергают воздействию электронного пучка высокой энергии в присутствии паров какого-либо вещества, образующего при облучении полимерную пленку на поверхности.

Для этого способа характерно необратимое изменение поверхности твердого тела при 00лучении высокоэнергетичными электронами.

Предложенный способ выявления электрических неоднородностей на поверхности твердых тел»редусматривает облучение исследуемой поверхности электронным пучком со средней энергией, близкой к порогу возбуждения молекул адсороированных паров BelllecTВа> образующего твердую пленку. Это исклю lael возможность повреждения поверхности электронным пучком.

Данный способ электронного декорировании заключается в том, что исследуемую поверхность помещают в вакуум в присутствии малого количества паров выбранного заранее вещесТВВ и облучают электронным потоком при пороговой энергии. Образовавшийся геометрический рельеф изучают методами электро1шой или оптической микроскопии.

Предлагаемый способ обладает высоким разрешением по отношению к потенциальному микрорельефу ири достигнутом линейном геометрическом разрежении порядка 1000А. О»

10 позволяет выявлять электрические неоднородности поверхности как искусственного Ilpollcхождения, TBI 11 00pBBOвавшиеся за c ipT p33ности работ выхода отдельны.; участков по верхности.

1. Способ выявления электрически.; неод»ородиостей на поверхности твердых тел путем облучения исследуемой поверхности пучком

20 электронов в вакууме в присутствии паров вещества, образующего при этом твердую пленку на поверх»ости, отлача1ощи11сл тем, что, с целью увеличения чувствительности, облучение про»зводят медленными электрона25 м» с энергией, близкой к порогу возбуждения молекул адсорбированных паров вещества.

2. Способ по». 1, от,1ича1оаушсл тем, чго облучение производят электронами со средней энергией,5 эв при»лотност» тока 10 а/с.11з

30 в среде паров вакуумного масла при интегральном давлении 10 тор.