Сорбционно-ионный насос

 

ОП И САН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ нп11 328259

Йоюз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 20.03.70 (21) 1423365/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет (51) М. Кл. F 04Ь 37/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытиЙ (53) УДК 621.385(088.8) 1

Ои олнконано Oо.12. I б. 1 юл,.i i сiil, А ro

Дата опубликования оннсаинл 26.02. б (72) Автор изобретения

Г. Л. Саксаганский (71) Заявитель (54) СОРБЦИОННО-ИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционно-ионным насосам с термическим испарением активного вещества.

В известных насосах с испарительным узлом в виде штабика активного вещества испарение активного вещества происходит при нагреве с помощью интенсивного электронного пучка.

Однако для создания и фокусировки интенсивного электронного пучка требуется значительное количество сложных деталей и узлов.

Накаленные элементы конструкции при аварийном повышении давления выходят из строя. Кроме того, система электропитания и испарения имеет низкий к. п. д.

Цель изобретения — улучшение техникоэкономических характеристик. Это достигается тем, что для испарения активного вещества используют интенсивные фотонные пучки, создаваемые квантовым генератором, причем штабик активного вещества размещают по оптической оси квантового генератора.

На чертенке показана схема предлагаемого насоса.

Насос содержит охлаждаемый корпус 1 с присоединительным фланцем 2 и ступенчатым патрубком 3 для установки квантового генератора 4 с держателем 5, окно 6 и фигурный экран 7. Соосно с оптической осью квантового генератора на опорном диске 8 закреплены сменный штабик 9 из активного материала д (гетера) и экран 10. Полость в патрубке 3 с внешней стороны закрыта защитным диском

11 с вводами для энергопитания и охлаждения квантового генератора (не показаны) .

10 Насос действует следующим образом.

Излучаемын квантовым генератором пучок фотонов, падал на поверхность штабика нз активного материала, вызывает испарения последнего. Испарившиеся атомы гетера кон15 денсируются на внутренней поверхности охлаждаемого корпуса и сорбпруют остаточные газы. Пучок фотонов и вакуумный объем вводится через окно, выполненное из прозрачного для электромагнитного излучения в рабочем диапазоне частот квантового генератора материала и герметично соединенное с патрубком. Фигурный экран 7 с малым центральным отверстием предотвращает запыление окна атомами гетера. Дополнительное защитно действие оказывает сам пучок фотонов, создающий значительное световое давление, препятствующее пролету атомов гетера сквозь отверстие фигурного экрана. Экран 10 защищает откачиваемый объем от попадания атомов re30 тера.

328250

Предмет изобретения

11 5

Составитель И. Прокофьева

Текред 3. Тараненко

Корректор А. Дзесова

Редактор И. Грузова

Заказ 197/1 Изд. Мв 133 Тираж 740 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

В случае необходимости для повышения удельной мощности фотонного пучка може r быть применена система оптической фокусировки, устанавливаемая между квантовым генератором и окном. Для уменьшения габаритов в качестве квантового генератора целесообразно использовать твердотельные, например полупроводниковые лазеры. Энергетически эффективным является импульсный режим испарения.

Сорбционно-ионный насос, содержащий корпус с испарительным узлом в виде штабика

5 активного вещества, отличающийся тем, что, с целью улучшения технико-экономических характеристик, в корпус введен кванi оный генератор, например, полупроводниковый, а штабик активного вещества размещен

10 по оптической оси квантового генератора.