Устройство для бесконтактного измерения с •*;-•/. толщины прозрачной пластины^-^-^^•'

 

О П И С А Н И Е 357464

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

G0UHBëèñòè÷åt:êèõ

Республик

Зависимое от яf)T. свидетельств 1

3 аявлепо 02.1 l.1971 (№ 1615998/25-28) с присоединснием заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень ¹ 33

Дата опубликования описания 29.XI.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531 715 27(088 8) АВТОpl;I

1сяot)pe reft float

P. Я. Лядиев, С. А. Китраиов, А. I(. Плескоиос, В. П, Коноико и А. А. Кривоконь

Киевский ордена Ленина политехнический институт им. 50-летия

Великой Октябрьской социалистической революции

Заявит"ль

УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТ11ОГО ИЗМЕРЕНИЯ

ТОЛ 1ЦИ НЫ ПРОЗРАЧ НОЙ ПЛАСТИНЫ

Изобретение относится к области контрольtto-измерит льной техники и мо)кст бь1ть использовано в датчиках толщины движущейся ленты стекла и других прозрачных материалов в непрерывном производственном процессе.

Известно устройство для бесконтактного измерения толщины прозрачной пластины, содсржащсе осветитель с щелевой диафрагмой и фотонриемпик с измерительной схемой.

Принцип работы такого устройства состоит в том, что измеряется смещспие луча, прошедшего через прозрачную пластину при измененснии толщины последней.

Однако смещение луча, по которому судят о толщине, весьма невелико и поэтому не обеснс)ивает высокую чувствительность измерения.

Предлагаемое устройство отличается от извссзчцио Teil, что, с цел)ло повышения чувствн)сльности измерения, оно снабжено располо>кснным в ходе световых лучей между осветителем и с )отоп1)исв)ником зеркалом, имеющи м отряжающу)о поверхность в фор мс цилиндра.

11а чертеже изображена принципиальнал схема предлагаемого устройства.

Оно содср)кит освститсль 1 с диафрагмой 2, зеркало 8 имеющее отражающую поверхность в форме цилиндра, линзу 4, фотоприемник 5, поворотное основание б, усилитель 7, рсвсрсивный двигатель 8 и самописец 9. Зеркало 8, линза 4 и фотоприемник 5 укреплены на поворотном основании б, ось вращения которого совпадает с осью цилиндрического зеркала 8. Основание б связано кинематически с реверсивным двигателем 8, Устройство работает следующим образом.

Освerttreль 1 с помощью диафрагмы 2 формирует узкий пучок света, который, проходя

10 под углом через измеряемую прозрачную пластину 10, смещается и попадает на цилиндрическое зеркало 8. Последнее направляет луч через линзу 4 на сдвоенный фотоприeitttHt< 5, nont Jltonefi;IhtÉ Iio входу усилителя 7.

15 Hp t попадании луча в центр фотоприемника ня усилитель и затем на двигатель не поступает никакого сигналя. При изменении толщины пластины 10 npottcxoaftT t)apaefëeëüíoå пс-!

)смс1цсlt tt t пучка луче и светя, и еlдяlоlцего на

20 зсркяло 8. Благодаря цилиндрической форме зеркала 8 изменяется угол падения пучка света и мн1)гокрятно увеличивается смещение огражснного луча. Смсгцсние луча фиксируется фотоприемником, сигнал с которого через уси25 литсль вызывает вращение реверсивного двигателл, !1ри этом псрсмещаются связанные с двигателем перо самописца и подвижное основание б, »а котором укреплены цилиндрическое зеркало 8, линза 4 и фотоприсмник 5. Ос30 нование перемещается до тех пор, пока пучок

357464

Составитель Лобзова

Техред Л. Камышникова

Редактор Т. Баранова

Корректор 3. Тарасова

Заказ 3827/8 Изд. № 166б Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, jK-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 света вновь не попадает в центр фотоприемника.

О величине толщины измеряемой пластины судят по положе!пшо пера самописца.

Г1рсдмет изобретения

Устройство для бесконтактного измерения толщины прозрачной пластины, содержащее осветитель с щелевой диафрагмой и фотоприемник с измерительной схемой, отличающееся тем, что, с целью, повышения чувствительности измерения, оно снабжено расположенным в

5 ходе световых лучей между осветителем и фотоприемником зеркалом, имеющим отражающую поверхность в форме цилиндра.

Устройство для бесконтактного измерения с •*;-•/. толщины прозрачной пластины^-^-^^• Устройство для бесконтактного измерения с •*;-•/. толщины прозрачной пластины^-^-^^• 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх