Способ измерения давления в газоразрядном приборе

 

Ф..ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

366514

Союз Советских

Социалистических ресотблик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

М. Кл. Н Olj 41i00

Заявлено 25Х.1970 (№ 1447288 26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.1.1973. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 14.III.1973

Комитет ао лелем изсбрвтвиий и открытий ори Ссзоте Цииистрсв

CUP

УДК 621.52:531.788 (088.8) Авторы изобретения

И. А. Зайцев, А. А. Николаев и С. П. Шумаков

Рязанский радиотехнический институт

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ

В ГАЗОРАЗРЯДНОМ ПРИБОРЕ

Изобретение относится к области изготовления электровакуумных приборов, в частности к измерению давления в отпаянных приборах без нарушения их геометрии и без дополнительных датчиков давления.

Известный способ измерения давления газов в отпаянных электро вакуумных приборах путем подачи напряжения на электроды и измерен ни ионного тока при заданной величине электронного тока не позволяет производить измерения в области низкого вакуума.

По предлагаемому способу расширение измеряемых давлений в области низкого вакуума достигается тем, что на электроды прибора подают импульсное напряжение с амплитудой, превышающей статическое .напряжение зажигания разряда, и длительностью не менее времени деионизации плазмы и измеряют время существования низковольтного разряда, пропорциональное измеряемому давлению.

Предлагаемый способ осуществляется подключением электродов прибора;к источнику импульсного напряжения прямоугольной формы че1рез соединенные параллельно емкость и сопротивление, величины которых соответствен но составляют десятки килоом и сотни пикофарад. В первый момент действия импульса напряжения емкость шунтирует сопротивление; поэтому к газоразрядному промежутку прикладывается почти полная амплитуда импульса и между электродами возбуждается плазма с концентрацией заряженных частиц

10" — 10"- за р./сл . После пробоя разрядного промежутка в течение десятых долей микро5 секунды емкость заряжается, и все напряжение внеш него источника выделяется .на сопротивлении, так как внутреннее сопротивление газоразрядного промежутка не превышает десятков оль Напряжение между электродами

10 снижается почти до нуля,,ионизация прекращается н наблюдается деионизация,или распад плазмы. Последующее уменьшение концентрации зарядов не приводит к увеличению падения напряжения на газоразрядном проме15 жутке, так как проводимость плазмы остается выше проводимости внешней цепи. По мере дальнейшего распада плазмы убыль зарядов приводит к росту внутреннего сопротивления газоразрядного промежутка. Указанное сни20 жение сопротивления после пробоя и повышение его после деионизации фиксируют по падению напряжения при известных амплитуде импульса и величине внешнего сопротивления с:oìîùüþ, например осциллографа.

25 Для обеспечения стабильных условий зажигания ра зряда амплитуда импульса должна быть выше статического напряжения зажигания разряда при длительности импульса не менее времени депонизацпи илн распада

30 плазмы. Частота следования импульсов опре, 366514

Предмет изобретения

7 r:n сел

10 IOP

Составитель В. Мирошкииа

Техрсд Т. Курилко Корректоры: Е. Давыдкина и В. Петрова

Редактор А. Батыгин

Заказ 480712 Изд. ¹ 1!3 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретешш и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4;5

Типография, пр. Сапунова, 2 деляется свойствами устройств, .регистрирующих время распада плазмы. При использовании запоминающих устройств или при фотографи рова нии для проведения измерений достаточно одного им пульса.

Окончание распада плазмы свидетельс.гвует о,прекращении низковольтной стадии разряда. Соответствующая описанным выше процессам экспериментальная осциллограмма на пряжения,на газораэрядном промежутке устанавливает пропорциональную зависимость длительности, низковольтно и стадии разряда от измеряемого давления, На чертеже п редставлена иллюстрирующая предлагаемый, способ экспериментальная зависимость времени существования низковольтной стадии разряда т от давления ксенона в тиратроне Т= .

Измеряя с погмощью осциллографа длительность стадии деио низации плазмы, по градуировочным .кривым определяют давление газа в электровакуумном приборе.

Предлагаемый способ расширяет диапазон измеряемых давлений в области низкого ва5 куума и повышает точность и быстродействие измерений.

10 Способ измерения давления в газоразрядном приборе путем подачи,на его электроды ,напряжения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений в области низкого вакуума, ка электроды по15 да,ют .импульсное напряжени,е с амплитудой, пре вышающей статическое напряжение зажигания разряда,,и длительностью не менее времени деио низации плазмы и измеряют время существования низковольтного разряда, про20 порциональное измеряемому давлению.