Ионизационный манометр

 

О П И С А Н И Е 3038I4

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К ПАТЕНТУ

Зависимый от патента _#_

Заявлено 21,Х11.1967 (№ 1205552/26-25)

Приоритет 23.XII.1966, М P-118133, ПНР

МПК G 01/ 21/30

Комитет по лелем изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 13 т .1971. Бюллетень ЛЪ 16

УДК 621.52:531.788.7 (088.8) Дата опубликования описания 5.Х.1971

Автор изобретения

Иностранец

Януш Грошковски (Польская Народная Республика) Иностранная фирма

«Политехника Варшавска» (Польская Народная Республика) Заявитель

ИОНИЗАЦИОННЬ|Й МАНОМЕТР

В известных ионизационных манометрах, действующих по принципу измерения ионного тока часто происходит явление, называемое электронной десорбцией. Это явление состоит в том, что электронный ток вызывает ионизацию газов, сорбированных на поверхности анода. Это может привести к ошибкам измерения, причем эти ошибки увеличиваются по мере :понижения давления, так как ионный ток, образующийся в пространстве датчика манометр а, уменьшается быстрее, чем ток поверхностных ионов.

Для устра нения этого недостатка предложенный ионизационный манометр имеет два анода с различными потенциалами (положительными относительно катода) . Второй анод расположен внутри пространств а, ограниченного витками основного анода. Витки второго анода расположены между витками основного анода и образуют в совокупности с последними общую поверхность анодной системы.

Эти отличия позволяют устранить указанный недостаток.

Аноды выполнены в виде концентрических сетчатых клеток. Электроны, эмиTTHp) åìûå катодом, расположенным снаружи анодов, входят в пространство сетки, где они ионизи; руют остаточные газы и образуют ионы, ко2 торые затем собираются коллектором, имеющим отрицательный потенциал.

Для того чтобы ионы, образованные при бомбардировке электронами поверхности анодных пластин, не шли на коллектор, вн утренний анод имеет более низкий потенциал, чем внешний, Таким образом, ток этих ионов значительно уменьшается. Ионизация на пластинах внутренней сетки значительно слабее, 10 так как ток на этой сетке слабее, чем на внешнем аноде, имеющем более высокий потенциал. При помощи соответствующего выбора расстояний, наклона и толщины пластины, образующих сетку, можно добиться резкого

15 уменьшения числа ионов, образующихся при поверхностной ионизации и текущих по направлению к аноду, по сравнению с числом таких ионов в ионизационном манометре с одним анодом.

20 На фиг. 1 показано продольное сечение датчика ионизационного манометра с уменьшенной электронной десорбцией; на фиг. 2— конструктивная модификация анодов манометра.

25 Г1редложенный датчик понизационного манометра содержит катод 1, два концентричесКНх анода 2 и 8, выполненных в виде цилиндрических сетчатых клеток, и ионный коллектор 4, расположенный внутри или снару3О жи анодов напротив их торцов, как это по3038!4 личающийся тем, что, с целью снижения электронной десорбции, манометр имеет второй сетчатый анод.

2. Манометр по п. 1, атличающийся тем, что второй анод расположен внутри пространства, ограниченного витками основното анода.

То 3. Манометр по п. 1, отличающийся тем, что витки второго анода расположены между витками основного анода и образуют в совокупности с последними общую поверхность анодной системы.

Предмет изобретения

21, е о ° r(e о фиг f Риг g

Составитель Г. А. Жукова

Редактор В. С. Левитов Текрсд Л. Л. Евдонов Корректор Е. Н. Зимина

Заказ 2220/12 Изд. № 959 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2 казано Fla фиг. 2. Аноды, изображенные на фиг. 2, образую1т сетчатую клетку, которая состоит из двух частей, электрически изоли.рованных одна от другой, хотя они и образуют общий цилиндр, а их торцы расположены в общей плоскости. На фиг, 2 один анод изображен точками, другой — кружками.

Система электродов датчика расположена в стеклянной или металлической колбе 5.

1. Ионизационный манометр, содержащий катод, сетчатый анод и коллектор ионов, от3

oo e(o

v о о о о еоео о о о о

° о ° ое