Устройство для измерения парциаль-ного давления кислорода b вакууме

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик о >851143 (61) Дополнительное к авт. св д-ву(22) Заявлено 030879 (21) 2807959/18-10 (53)м. Ки.З а 01 1, 21/30 с присоединением заявки М—

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) ПриоритетОпубликовано 300781. Бюллетень М (53) УДК 531.787 (088.8) Дата опубликования описания 300781 еликой Октябрьской социалистиче (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО

ДАВЛЕНИЯ КИСЛОРОДА В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к газоаналитической технике и может быть использовано при исследовании взаимодействия кислорода с поверхностями твердых тел.

Известен полупроводниковый измеритель парциального давления газов, включающий корпус, на котором закреплен чувствительный элемент, содержащий чувствительный слой и нагреватель (1) .

Недостатком этого измерителя является высокая температура чувствительного слоя.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является измеритель парциального давления кислорода, содержащий корпус, катод, покрытый.чувствительным слоем из окиси цнркония, и анод. Температура катода поддерживается постоянной с помощью нагревателя и термометра сопротивления, включенных в мостовую схему (2) .

Недостатком этого измерителя яв» ляется высокая температура чувствительного слоя, вызывающая изменение состава газов, что вносит погрешности в измерения.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочно-земельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическая подломка, причем термометр сопротивления, нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком.

На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг. 2 — то же, в плане.

15 устройство содержит корпус 1 с крышкой 2. На корпусе закреплены изоляторы 3, на которых расположена подложка 4. На подложке. 4 располо.жены слой термометра 5 сопротивления

20 с контактными площадками 6, диэлектрик 7, слой нагревателя 8 с контакт« ными площадками 9, диэлектрик 10, чувствительный слой ll с катодом и анодом и с контактными площадками 12.

Устройство работает следующим образом.

При взаимодействии молекул кислорода с поверхностью чувствительного слоя ll. при 400-600 С, изменяется сопротивление чувствительного слоя 11.

851143

ИИПИ Заказ 6 317/56 раж 907 Подписное

Величина сопротивления чувствительного слоя 11 является функцией парциального давления кислорода в вакууме. Получение температуры 400600 С и измерение ее величины осуществляются соответственно нагревателем 8 и термометром 5 сопротивления.

Селективность измерения кислорода в смеси газов обеспечивается добавлением в чувствительный слой металла

Таким образом, введение в чувствительный слой металла, например серебра, позволяет уменьшить погрешность измерения кислорода эа счет снижения температуры чувствительного слоя.

Формула изобретения

Устройство для измерения парциального давления -,нслорода в вакууме, содержащее корпус, анод, катод, чувствительный слой из окиси циркония н нагреватель с термомет.ром сопротивления, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочноземельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическая подложка, причем термометр сопротивления, нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком.

Источники информации, 35 принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CtQA 9 3479257, кл. 204-1,18.11.69.

2. Заявка Великобритании 9 1301931, кл. G 1 N, 04.01.73 (прототип).

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Проектная, 4