Способ съемки рентгеновских топограмм

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.XII,1971 (№ 1723533/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.И.1973. Бюллетень № 27

1< з С О1п 23/93

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам иэооретений и открытий

УД К 82 1. 3,86. (Ñ88. 8 ) Дата опубликования описания 1.Х.1973

Автор изобретения

М. А.. Хацернов

Заявитель

СПОСОБ СЪЕМКИ РЕНТГЕНОВСКИХ ТОПОГРАММ

Изобретение относится к рентгенографическому анализу кристаллов, в частности к исследованию реальной структуры кристаллов методами трансмиссионой рентгеновской топографии.

Метод рентгеновских проекционных топограмм, известный как метод Ланга, предназначен для получения полной картины дефектов решетки в объеме кристалла. Изображение, зарегистрированное на топограмме, является проекцией всего объема кристалла в направлении дифрагированного пучка. В результате того, что изображения дефектов с разных глубин образца накладываются на топограмме, возможность разрешения отдельных .дефектов с увеличением толщины образца уменьшается. Кроме того, невозможно судить о глубине залегания различных дефектов.

Известен также способ съемки — так называемый метод ограниченных топограмм, который позволяет получать на одной топограмме изображение слоя только с одной глубины образца.

Цель изобретения — разработка такого способа съемки топограмм, который позволил бы на одной топограмме получать раздельное изображение всех слоев образца, т. е. развертку изображения по толщине образца.

В основу предлагаемого способа положена задача создания такого щелевого устройства, (2 которое позволяло бы получать развертку изображения дефектов по толщине образца на одной топограмме при съемке на рентгеновских камерах для проекционных топограмм.

При топографическом исследовании кристаллов по методу Ланга или методу ограниченных топограмм весь дифрагированный пучок рентгеновских лучей или часть его ограничиваются вертикальными щелями, края ко1О торых параллельны краям щели коллиматора.

Для получения развертки изображения дефектов по глубине образца предлагается ограничивать дифрагированный пучок наклонной щелью.

15 На чертеже представлена схема, иллюстрирующая предлагаемый способ.

Первичный пучок, ограниченный щелью S>, проходит в кристалле по плоскости

2О АА,Р Р, со всей поверхности которой отражаются дифрагированные лучи. Если на пути дифрагированного пучка поместить наклонную щель S, то разные участки щели по высоте будут пропускать дифрагированные лучи, от25 раженные от слоев кристалла с разной глубчны.

В приведенной схеме щель S имеет в верхней и нижней части вертикальные края, а в средней части — наклонный участок. В резуль30 тате на высоте h> дифрагированного луча бу387i2i69

Составитель И. Петрова

Техред Т, Курилко

Редактор А. Батыгин

Корректоры: Е. Сапунова и Л. Орлова

Заказ 2572/16 Изд. № 713 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

)3 дет формироваться изображение со всей толщины кристалла путем отражения от поверхности ААтВ В. Аналогично на высоте h изображение всего объема формируется путем отражения от |поверхности CC,D>D. Наклонный участок Ь щели S при сканировании создает на топограмме развертку изображения дефектов по глубине. Так, уровням P u P g на топограмме будут соответствовать слои P" и

//

Р> в образце, удаленные от поверхности выхода на глубину l> и l2 соответственно.

В результате съемки со сканированием при использовании такой щели возможно на одной топограмме провести анализ распределения дефектов по глубинке и сопоставить изображе(4 ние дефектов со всего объема образца с послойной,разверткой изображения.

Предмет изобретения

Способ съемки рентгеновских топограмм, основанный,на сканировании образца и выделении дифрагированного луча огран ичительной щелью, отличающийся тем, что, с целью повышения точности выявления дефектов кри10 сталлической решетки на топограммаХ, в качестве ограничительной щели используют щель, края которой,не параллельны краям щели коллиматора и просвет которой пересекает дифрагированный пучок по всей его шири15 «rе.