Патент ссср 403201

 

Союз Советских O Л И С А Н И

4О32О1 оциалистныескнх

Респубпии

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К ПАТЕНТУ

Зависимый От патента №вЂ”

М. К.1. С 23с 13 08

Заявлено 17.V.1968 (Лс 1242292/22-1) Приоритет 19Х. п 26.Х(1.1967. ¹ 639867 и

¹ 693529, ГША

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам нзобретений и открытий

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Опубликовано 19.Х.1973. Бю Iëåòåíü № 42

Дата опубликования описания (ОЛ 11.197т(.

Автор изобретения

Ишострянсц

Ирвин Вильям Фисчбейн (Гоединенныс Штаты Америки) Иностранная фирма

«Дзе Джиллет Компани» (Соединенные (Пта-.ы Америки) Заявнтсль

УС1АНОВКА ДЛ?{ НАН1- .СГ1111?1 11ОКР1?1ТИЙ В ВАКУУИ1:

Изобретение относится к обл?1 с н и a tIecc ия вакуумных покрытий.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая вакуумн3!о камеру, внутри которой расположены приспособления для закрепления деталей, установленные на опорах, расположсниы. Иа равны.; расстояниях or испарителя, и систему создания вакуума.

Предлагаемая установка отличястся от известной тем, что приспособления для зякреплсни51 деталей Выполнены В !Ièæ!:сй lac 1 11 в Виде закрепленного на опоре Г-образного элемента и прямоугольного элемента, между которыми проходит стержень для закрепления пакета дсталсй, верхний конец которого снабжен зажимным приспособлением, 1 испяритель, выполненный из нескольких спиралей, установлен параллельно оси расположения пакета деталей.

Данная устя11овкa улучшает качество 110крытия.

НЯ фиг. 1 представлен об1ций вид установки, поперечный разрез; !!а фиг. 2 — общий вид установки, вид в плане; ita фиг. 3 — приспособление для закрепления деталей; На фиг. 4 — испарптсль, в аксонометре; на фиг. 5 — испаритель, вид сверху; на фиг. 6 — электрическая схема установки.

Установка состоит из вакуумной камеры 1, 2

ВНУ TPII КОТОРОЙ (5ЯСПО. 10?Kelt lent 11PIICIIOCOOËC111151 для закрепления деталей, Выполненные 13 нижней части в виде закрепленного ня оиорс 2 Г-образного элемента,ю и прямоугольного элемента 4, между которыми проходит

СтЕРжЕНЬ т? ДЛЯ За КРЕПЛСН ПЯ ПаКЕта ДЕтх1.1С11, Всрхнп1! I!0HcII, которого сll аож ll зажим ным приспособлением 6, установленные на ош1рах 2 на равны. рясстоя11иях ог псп ipllTc 151, Выполненного пз нескольких el!»p;tлсй 7, и установленного параллельно осн расположснн5!

ПЯКЕТЯ ДС 1 Я let! ст И СНСТСХ(Ы СОЗДЯПИ51 13111хУУмя (нс показана!) .

После И1атсг! Иой очистки деталей бр!! !венных лезвий), последние н?!де!3?1ю! ня сгер?кснь 5т об?разул пакет лезвий. Затем к всрхП ИМ KOII Ija«1 Па КтСТЯ ЛСЗВИН КРЕПЯТ BblP aBH ИBaIO!iICC I

-"О равнь!х ряссто.11!Иях друг от друга по окру?кности. В Вакуум Ioti камере создается необходимое разряжснис посредством системы созда!1ия вакуума. Затем через канал 10 в вакУУмнУ10 камсРУ 1 впУскспот водоРод длЯ тlоддсрж 1ння л(е101цег0 рязр51дя. Э.1cктроды 11 и 12 пара lлельно соединены с клеммой 18 и служат в качестве анодов. Восемнадцат!» ПякетОВ . IСЗВии 8 также соединены параллельно с клеммой 14 и служат в каче;1о cтве кa101a. Ня клеммы 13 и 1 1 полается ток, 4ОЫО1

3 образующий тлеющий разряд между кромками лезвий и электродами 11 и 12, в результате чего устраняется загрязняющий слой, находящийся на заточенных кромках лезвий.

Затем на спирали 7 подается ток, в результате чего хром, нанесенный иа них, испаряется и откладывается равномерным слоем иа ðåжущих кромках лезвий.

Предмет изобретения

Установка для íàí= ñåíèÿ покрытий в вакууме, содержащаяя вакуумную камеру, внутри которой расположены приспособления для закрепления деталей, установленные на

4 опорах, расположенных на равных расстояниях от источника покрывающего материала, и систему создания вакуума, отличающаяся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, приспособления для закрепления деталей выполнены в нижней части в виде закрепленного на опоре Г-образного элемента и прямоугольного элемента, между которыми проходит стержень для закрепления пакета деlo талей, верхний конец которого снабжен зажимным приспособлением, а указанный источник, выполненный из нескольких элементов, установлен параллельно оси расположения пакета деталей.

403201

Риг Б

Ри2. Х

Составитель Н. Петров

Техред 3. Тараненко

Редактор Л. Новожилова

1(орректор Л. Орлова

Загорская типография

Заказ 1773 Изд. ¹ 1139 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Патент ссср 403201 Патент ссср 403201 Патент ссср 403201 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники
Наверх