Устройство для катодного распыления

 

>xi ..

ОП ЙСсАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ-Н ИЯ

Союз Советск гх

Социалистических

Уесвубпик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от а(вт. свидетельства № 273616

М,Кл. С 23с 15/00

Заявлено ОЗ,V.1971 (¹ 1652680/22-1) при(о((и((си;.(с1(з((iгвкн ¹ ——

Hpнорнтет—

Опубликовано 29.Н11.1973. Бю.плетень ¹ 36

Дата опубл((кованкя описания 17.1.!974

Государстввииь(й иоиитет

Совета Министров СССР оо делам квЯретоиий и стиру(гни х ДК 621 793 12 002 51 (088.8) Авторы пзобретс(шя

Б. A. Александров и С. В. Налимов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДКОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Изобрете((ие относится к области ианесения покрытий в вакууме,и может быть применено для получения тонких пленок методом катодного распыления.

По основному авт. св. № 273616 известно устройство для каторжного распыления, содержащее камеру с размещенными внутри нес катодами, анодами и подложкодержателями.

Катоды выполнены в виде гребенки, заполняющей объем камеры, между зубьями которой, имеющими форму дисков, расположены дисковые подложкодержатели.

В таком устройстве наблюдается значительная,потеря распыляемого материала, происходящая за счет осаждения его на стенки разрядной камеры, что снижает производительность.

Цель изобретения — повышение производительности.

Для этого устройство снабжено дополнительными подложкодержателями, выполненными в виде полых усечвнных конусов и укрепленных между плоскими подложкодержателями и катодами.

На чертеже представлено предлагаемое устройство для катодного распыления.

Устройство состоит из вакуумной камеры 1, и(утри которой расположены дисковые катоды 2 и дисковые подложкодержатели 3, заключенные в разъемный полый цилиндр 4, выполненный в виде двух цилиндрических поверхсчостей. На внутренней поверхности цилиндра укреплены дополнительные подложкодержатели 5, выполненные в виде полых усеченных конусов. Натекатель 6 служит для (a(0 пуска р" áî÷åãî газа в камеру 1.

Устройство раоотает следующим ооразом.

Подложки крепят на по jëîÿêîäåðæ;iòåëëx 3 и 5. В камере 1 создают давление (2 — 5) 10 л.(г рт. ст. Через натекатель о H (-! з пускают газ, например аргон, повышая давление в .камере до (1 — -2) -10 л.и рт. ст. К катодам 2 прикладывают потенциал 4000 в. Для

3 получения пленок толщиной !800 — 2000 А вре2з мя Hàí"ce:(((ÿ !О- !2 вин.

Предмет изобретения

Устройство для катодного распыления по авт. св. № 273616, от г(гчающееся тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено дополнительными подложкодержателями, выполненными в виде полых усеченных конусов и укрепленными между плоскими подложкодержателями и катодами.

396451

Составитель Л. Анисимова Редактор E. Шепелева Техред А. Камышникова Корректор T. Добровольская .Заказ 6508 Изд. № !908 Тираж 82б Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Минжтров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Ра ушакая наб., л 4/5

Обл. тип. Кастрол|окого управления издательств, полиграфии и книжной торговли