Устройство для закрепления и подачислитков при резке полупроводниковых материаловна пластины алмазным отрезным кругом

 

ОП ИСАЙИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

423662

Союз Советских

:Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 10.07.72 (21) 1807331 /29-33 (51) М. Кл. В 28d 5/02

В 23d 45/08 с присоединением заявки X"— йсудврственный комитет

Совета Министров СССР во делам изобретеня» и открытий (32) Приоритет—

Опубликогано 15.04.74. Бюллетснь ¹ 14 (53) УДК 679.8.053 3 (088.8) Дата опубликования описания 06,02.73 (72) Авторы изобретения

Л. Л. Таланцев, Г. Ф. Скрипко и А. Н. Трембовецкий (71) Заявитель

Украинский ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский конструкторско-технологический институт синтетических сверхтвердых материалов и инструмента (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ И ПОДАЧИ

СЛИТКОВ ПРИ РЕЗКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

НА ПЛАСТИНЫ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ

Известно устройство для закрепления и подач и слитков при резке полупроводниковых материалов на пластины алмазным отрезным кругом, содержащее >вал с,пл а ншай бой и плиту. Устройство помешают на столе станка, соверша!ощето рабочую подачу под действием груза, т. е. подачу с постоянным усилием реза!ния.

Иавестиое устройство имеет следующие недостатки, которые ограничивают его пр!!!мснсние !в промышленности: — при резке вращающегося вокруг своей оси сл!итка наблюдается большой процент брака из-за сколов,в центре отрезаемой пластины, которые при да!иной схеме резания 15 практическ!и ноизбеж ны; — необходимость предва р!ительной калибр овкии слитков для точного центрирования; —,неполное использование слитка, так как часть его служит для зажима !в устройстве; 20 — недостаточная производительность, так как устройство позволяет отрезать не более одной пластилины за один проход, а также невоз !ожность использования известных устройств одновременно для .закрепления и пода- 25

>чи !сл.итко!в.

Цель изобретения — уменьшение брака и увеличение производительност!и.

Для этого в предложенном устройстве вал размещен в корпусе, закрепленным на плите, а 30 планшайба выполисна с радиальными пазамн, в которых установлены оправки-ползуны с закрепленными иа них слитками, находящиеся в зацеплении со спиралью, выполненной,на торце диска, нсподв:!жно закрепленного на плите и концентрично расположенного относительно вала.

На чертсже показано предложенное устройство, общ !!! в:!д и разрезы по 1 —;1 и Б — Б.

Устройство состоит из корпуса 1, в Iла 2, планшайбы 3, оправок-ползунов 4 для крепления слитков 5, диска 6 с нарезанной на его торцовой поверхности спиралью. подшипника 7 .I плиты 8.

Работает устройство следующим образом.

При вращении зала 2 с планшайбой 8 оправ-! л!-Ползуны 4 с закрсп ILIIIIbIII!I на них слит! ам.! 5,,находящпеся в зацеплениll с неподвижным относительно корпуса диском 6, на когором нарезала спираль, перез!еща!отся ио спирали диск и направля!ощ их пазах планшайбы 3, осуществляя одновременную подачу всех .слитков 5 относительно режущей кромки инструмента — рабочий ход.

После окончания рабочего хода залу 2 сооошают ускоренное, вращение II обратном направлении, и оправки перемещаются в !!сходное положение — холостой ход,.

423662

П р е д м c. т:1 3 о 0 р с: т с н 11 я

Составитель М, Моргунова

Текред 3. Тараненко

Редактор М, Макарова

I(oppã:iTîð A. Дзесова:

Заказ 3572 Изд. u¹ 1512 Тираж 537

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Обл. тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли

Устройство для закрепления и подач;1 слитков прап резке полупроводниковых материалов на пластины алмазным отрезным кругом, содержащее вал с планшайбой и плиту, отли11аюи еесл тем, что, с целью уменьшения брака и увеличения произ водительности, вал размещс:1 3; îðïóñc, закрсплсн11ым на плптс, 1 ила;-1 ш айоа выпол.1сн а р,ä:i aл ь11ы м11 па з ами, в которых устанозлсны оправки-ползуны с закрепленнымс1 II 3 них слитками, 11аходя5 щиеся в зацеплении со спиралью, выполнс iной,на торце диска, неподвижно закрепленного на плите и концентрично расположенногi) относитсльно лала.