Способ изготовления пъезоэлектрических резонаторов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

4З8ОЮЗ

СОюз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 18.12.72 (21) 1862516/26-9 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.07.74. Бюллетень" № 28 (51) М. Кл. H 03h 3/02

В 24b 1/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений и открьпнй (53) УДК 621.372.41 (088.8) Дата опубликования описания 03.01.75 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

В 111 Б (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

РЕЗОНАТОРОВ

Изобретение относится к технологии производства электро нных устройств и предназначено для изготовления пьезоэлектрических резонаторов, например кварцевых.

Известны способы изготовления кварцевых резонаторов, включающие двустороннюю механическую обработку пьезоэлемента с последующей его очисткой и металлизацией.

Недостаток этих способов состоит в снижении их эффективности при производстве высокочастотных резонаторов и з-за уменьшения механической прочности пьезоэлементов.

Цель изобретения — расширение частотного диапазона резонаторов при сохранении их механической прочности.

Эта цель достигается тем, что после двусторонней механической обработки пьезоэлемент устанавливают на оптический контакт с дополнительной пластиной со сквозными огверстиями, например, из кварца AT-среза, и подвергают окончательному шлифованию и полированию до заданного размера, соответсгвующего,резонансной частоте.

На фиг. 1 изображен пьезоэлемент с одной парой электродов, поперечный разрез: на фиг.

2 — то же, с двумя парами электродов.

Кристаллический элемент 1 с нанесенными электродами 2 — пьезоэлемент — соединен с дополнительной пластиной 3, имеющей сквозные отверстия 4 (диаметром d), число которых .равно числу пар электродов. При этом

d)54h для основной частоты (h — толщина пьезоэлемента), д)806 — для третьей гармопики, Ы)23 †д пятой гармоники.

5 Кристаллический элемент 1 перед установкой на оптический контакт с дополнителыной пластиной имеет отполированные двусторонним способом плоские и параллельные между собой поверхности и толщину, обеспечиваю10 щую ему достаточную прочность. После создания неразъемного соединения кристаллический элемент шлифуют и полируют до заданного размера, а затем подвергают очистке и металлизации.

Предмет изобретения

Способ изготовления пьезоэлектрических резонаторов, включающий двустороннюю механическую обработку пьезоэлемента с последу20 ющей его очисткой и металлизацией, отлич а ю шийся тем, что, с целью, расширения частотного диапазона резонаторов при сохранении их механической прочности, после двусторонней механической обработки пьезоэле25 мент плотно соединяют с дополнительной пластиной со сквозными отверстиями, например, из кварца AT-среза, и подвергают окончательному шлифованию и полированию до заданного размера, соответствующего, резонансной ча30 стоте.

М. И. Ярославский, Г. А; Ливенский, А. Н. Шкляр, С. С. Пашков и В. И. Дюжиков

438093

Составитель В. Дюжиков

Техред А. Камышникова

Корректор Т. Хворова

Редактор М. Бычкова

Типография, пр. Сапунова 2

Зака,з 3509/12 Изд. № 1875 Тираж 811 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров. СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5