Способ определения стабильности сопротивления оксидных диэлектриков

 

О П И C А Н И Е t;«r

И ЗОБРЕТЕ К ИЯ, Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт, свидетельства—

i (22) Заявлено 2 1.07.72 (21) 1 22390/26-9

1 ( (32)Приоритет (43) Опубликовано 05.10.74.Бюллетень М 37 I (45) Дата опубликования описания 2О.О6.75, (о1, М. Кл. И01;,", 00, с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Миннстооа СССР по делам изобретений и открытий (БЗ, УДК6:-. . 9 ",С 9:

:621,319.4 (ose.e} (72) Авторы изобретения А. Л. Авдеев, Ю. Л. Данилюк и Л. А.. Розенберг (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТАБИЛЬНОСТИ

СОПРОТИВЛЕНИЯ ОКСИДНЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Предмет изсбре-е:.— Ня

Изобретение относится к радиоэлектронной технике.

Известен способ определения стабильности сопротивления оксидных диэлектриков, позволяющий судить о стабильности диэлект- q риков в постоянном электрическом поле, основанный на измерении изменения -,îêà во времени: образец из испытуемого мате.риала помещают в условия более жесткие (по напряженности электрического поля и тл температуре), чем эксплуатационный режим материала. Однако испытание материала этим способом отнимает много времени (десятки, сотни часов).

Цель изобретения ускорение испытания 15

- достигается тем, что после измерения сопротивления образцы подвергают тепловой обработке при пониженном давлении пс кислороду, после чего вновь измеряют сопротивление. 20

Предлагаемый способ состоит в следующем. Из исследуемых материалов изготавливают образцы одинаковых размеров, причем поперечные размеры их должны существенно превышать (в 10 30 раз) толщину. 25

На про -«aoпслсжнь.е поверхности образцов нанос:- т аквацагов -.. . электроды и изме— ряют сопротивление образцов прп 50- 50" .. в зависимости ст толщины образца и его состава. Затем электроды смывают, и образцы нагревают дс 500-1000 С при дав-лении по кислороду а" 4- . 0" мк рт.:T. в течение 5-30 мин. После прогрева образец лифуют на глубину 5-20 мк.: "o стороны. к которой при измерении будет приложен положительный потенциал, затем на-нОсят яквадагсвые электроды и измесяю сопрстиьлеептя, Относительную стабильнОсть сспрОтиьления Образцов а э ектрическом поле спрсДЕЛЯЮТ СРаВНЕНИЕМ ОТНССИТЕЛЬНЬ.Х ИЗЬ PHe— ний со.-ipoòèalIaíèÿ О и после тепловой ссработки.

1. Способ определения стаЛильност1сопротивления оксидньтх диэлектриков, например нн основе двуокиси титана, в электрическом поле путем измерения их сопротивления, о т л и ч а ю ;ц и и с я тем

445935

А. Авдеев

Составитель

КоРРектор Д.Орлова

Редактор Ь,Федотов Те"Ред Нд анеева

Изд. ¹ ®3„ ) Тираж 760

Подписное

Заказ

Ц11ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Предприятие «Патент>, Москва, Г-59, Бережковская иаб., 24

ФКМП Зак.14В19 Тир.7ВО что, с целью ускорения испытания, после измерения сопротивления образць подвергают тепловой обработке при пониженном давлении по кислороду, после чего производят повторное измерение сопротивления.

2.Способпо и, 1,отличаюш и и с я тем, что тепловую обработку производят в интервале температур 500и

1000 С в течение 5-30 мин при давлении

5 по кислороду 10 4- 10 7 мм рт. ст.