Кассета для химической обработки и отмывки пластин

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОР СКОМУ СВИДЕТс ЙЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

" 457125 (61) Дополнительное к авт. свид-ву —— (22) Заявлено 31,07.72 (21) 1815615/26-25 с присоединением заявки ¹â€” (32) Приоритет—

Опубликовано 15,01.75. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 14.03.75 (51) М. Кл, Н 01l 7/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР но делам изооретвний н открытий (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения

В, М. Ходяк, Jl. Я. Шварцман и H. Н, Бойко

* " (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И

ОТМЫВКИ ПЛАСТИН

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов.

Известна кассета для химической обработки 5 и отмывки пластин, содержащая ячейки для укладки пластин, выполненные в виде парных пазов на концентрично расположенных поверхностях, одна из которых (меньшего диаметра) является наружной образующей ци- 10 линдра, а другая (большего диаметра) — образующей внутренней поверхности усеченного конуса.

Между цилиндром и конусом образовано сквозное кольцевое отверстие для доступа реагента.

Недостатком известной кассеты является то, что при перемешивании раствора пластины всплывают и перемещаются в соседшою ячейку, что приводит к их слипанию, Кроме того, 20 возможно выпадание пластин через кольцевое отверстие и их поломка.

С целью упрощения конструкции кассеты и повышения ее надежности в предлагаемой кассете корпус выполнен в виде ступенчатого 25 цилиндра с осевым отверстием, имеющего на наружной цилиндрической поверхности каждой ступени кольцевую проточку, продольное сечение которой образовано параллельными прямыми, расположенными к оси корпуса 30

2 под углом около 45 и сопряженных в нижней части полуокружностью, причем сечение каждого паза для пластин образовано углублением на 1,5 — 2 мм вдоль всей образующей сечения кольцевой проточки, и фиксатор пластин выполнен в виде колпака, повторяющего форму корпуса.

На чертеже показана п1юдлагаемая кассета и разрез по А — А, Кассета содержит корпус 1, выполненный в виде ступенчатого цилиндрического стерхкня с осевым отверстием 2, Каждая ступень корпуса имеет кольцевую проточку 3, сечение которой имеет в нижней части полуокружность 4, сопрягающую параллельные прямые 5, расположенные к оси корпуса под углом около 45 .

Ячейка 6 для пластины 7 образована пазом одинаковой глубины (1,5 — 2 мм), ирофрезерованным вдоль всей образучощей сечения кольцевой проточки. 1-Ia корпус 1 надет колпак-фиксатор 8. В верхний торец конуса 1 ввернута ручка 9 для переноски кассеты. В корпусе 1 и колпаке-фиксаторе 8 выполнены отверстия 10 для прохода реагента и циркуляции его при перемешивании.

Перед загрузкой кассеты колпак-фиксатор

8 снимается с корпуса 1, и пластины 7 вставляются в пазы ячеек 6.

В результате наклона оси проточки 3 пластины не выпадают из ячеек. После загрузки

457125

Составитель И. Островская

Редактор T. Янова Техред А. Камышникова Корректор М. Щипкова

Заказ 856 Изд. № 1010 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб„д. 4/5

Череповецкая городская типография всех пластин на корпус 1 надевается колпакфиксатор 8 и кассета переносится в ванну с травителем, который при кипячении циркулирует через отверстия 10.

Предмет изобретения

Кассета для химической обработки и отмывки пластин, содержащая корпус с ячейками для пластин в виде пазов и отверстиями для реактива, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции кассеты и повышен11я ес надежности, корпус выполнен в виде ступенчатого цилиндра с осевым отверстием, имеющего на наружной цилиндрической поверхности каждой ступени кольцевую проточку, продольное сечение которой образо5 вано параллельными прямыми, расположенными к оси корпуса под углом около 45 и сопряженных в нижней части полуокружностью, причем сечение каждого паза для пластин образовано углублением на 1,5 — 2 мм вдоль

10 всей образующей сечения кольцевой проточки, а фиксатор пластин выполнен в виде колпака. повторяющего форму корпуса.