Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Сова Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15.11.72 (21) 1846526/26-9 (51) l. Кл. С 01п 27/00

Н Oll 1/10

Н 05!(3/00 с присоединением заявки М

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (32) Приоритет

Опубликовано 25.11.74. Бюллетень Хе 43

Дата опубликования описания 26.05.75 (53) УДК 621.396.6.049:

:75.002 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. Н. Сорокин и В. 3. Петрова

Московский институт электронной техники (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Изобретение относится к радиоэлектронике, а именно к технологи и тонкопленочных микросхем.

Известен электролит для выявления дефектов в пленке двуокиси кремния, представляющий собой солянокислый раствор бензидина.

Однако применение этого раствора ограничено, его нельзя использовать для определения пористости стеклянных покрытий. Бензидин хорошо растворяется только в соляной кислоте, но в солянокислых растворах растворяются и пленки стекла. Кроме того, бензидин является токсичным веществом.

Целью изобретения является повышение точности определения количества и размеров дефектов в диэлектрических пленках.

Для этого электролит содержит водный раствор фенола и желатину при следующем соотношении компонентов, в вес.%.

Фенол 2 — 5

Желатина 0,1 — 0,5

Вода остальное.

При электролизе окисление фенола происходит только на дефектах тонких диэлектричесиих пленок с образованием продукта темнокоричневого цвета, нерастворимого в воде.

sceeen

ahTStfthO11Л1; е „

Сиблиотеи М д,п1 451 0 0 5

Присутствие в растворе желатины способствует получению более четких фенольных отпечатков.

Пример. Растворением в воде 3 вес. /О фенола и 0,1 вес. /о желатины приготовляют рабочий электролит. Кремниевую или металлизированную ситалловую пластину, покрытые тонкими стеклянными пленками, погружают в электролит и присоединяют к положительному полюсу постоянного источника тока. Катодом может служить свинец или графит. На электроды подают напряжение 8 — 10 в в течение

5 — 10 мин. При этих условиях выявляются нарушения в стеклянных пленках.

Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок, отличающийся тем, 2О что, с целью повышения точности определения количества и размеров дефектов, он содержит водный раствор фенола и желатину при следующем соотношении компонентов, в вес. /о.

Фенол 2 — 5

25 Желатина 0,1 — 0,5

Вода остальное,