Способ изготовления прецизионных многослойных тонкопленочных керамических конденсаторов

 

О П И С А Н И Е (») 486387

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05,07.71 (21) 1676877/26-21 (51) М. Кл. Н Olg 13/00 с присоединением заявки ¹

Гвсударстввннгнй комитет

Совета Мнннстров СССР ло делам изобретений н открмтнй (23) Приоритет

Опубликовано 30.09.75. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 24.12.75 (53) УДК 621.396.69 (088.8) (72) Авторы пзобрсте Д. Б. Салитра, М. Я. Рабинович, Л. А. Гельперин и В. А. Булавкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННЫХ

МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ

КОНДЕНСАТОРОВ

Изобретение относится к изготовлению тонкопленочных керамических конденсаторов и предназначено для использования в радиодеталестр оении.

Известен способ изготовления прецизионных многослойных тонкопленочных керамических конденсаторов, включающий операции нанесения электродов на пленку, выруоки с использованием вырубного штампа, сборки заготовок в пакет, прессования пакета и разрезки его на полосы.

С целью увеличения механической прочности и обеспечения монолитизации пакета с одновременным достижением высокой точности взаимного расположения электродов сборку пакета заготовок по предлагаемому способу осуществляют в процессе вырубки в гнезде матрицы штампа, а перед прессованием производят нагрев пакета.

На фиг. 1 изображено электромагнитное приспособление с многогнездной рамкой для металлизации пленки; на фиг. 2 — схема штампа для вырубки металлизированной пленки Л, укладки пленки в пакет Б и подпрессовки пакета В.

Многогнездную рамку 1 укладывают на электромагнитное приспособление, состоящее из плиты 2 с электромагнитами 3, верхние площадки которых входят в гнезда рамки и нежат с ней строго в одной плоскости. Керамическую пленку 4 закрепляют на рамке с помощью прижимов 5, а тонкие металлические трафареты 6, изготовленные фотолитографическим способом, определяющие контур и расположение электродов, укладывают поверх пленки, фиксируя их на раме с помощью штифтов 7.

Необходимую плотность прилегания трафаретов достигают действием электромагнитов.

Для усиления магнитного прижима поверх трафаретов укладывают стальные накладки 8 с более крупными окнами, чем у трафаретов.

Нанесение электродов (металлизацию) производят сквозь трафареты одним из известных

) способов (например, пульверизацией или вакуумным напылением).

По окончании металлизации трафареты и накладки снимают, а рамку с пленкой укладывают на поверхность матрицы 9 так, чтобы

20 штифты вошли в фиксирующие отверстия матрицы штампа 10. Пуансоном 11 вырубают из пленки групповую заготовку 12, которая после подъема пуансона остается в матрице.

Затем производят вырубку заготовки из сле25 дующего гнезда рамки и т. д. При этом последующие заготовки ложатся на предыдущие с точным совмещением электродов. Если керамическая масса, из которой изготавливается групповой пакет, требует при прессова30 нии нагрева, то включается электронагрева486387 тель 13, охватывающий матрицу. При достижении требуемой темпер атуры производят подпрессовку (монолитизацию) пакета на гидропрессе (фиг. 2). Температуру и давление, обеспечивающие качественную мояолитизацию, подбирают в зависимости от состава керамической массы.

Спрессованные групповые пакеты имеют строго стабильные размеры, определяемые размерами гнезда матрицы, причем расположение металлизированных слоев отдельных конденсаторов в пакете также строго ориентировано относительно торцовых сторон пакета, что обеспечивает разрезку пакета на отдельные конденсаторы по координатам, отсчитываемым от двух смежных сторон.

Групповой пакет с помощью воска или легкоплавкой мастики приклеивается к керамической подложке, которая, в свою очередь, приклеивается к металлическому столику.

Приклейку производят на угольнике так, чтобы смежные базовые стороны пакета и столика строго совпадали.

Несколько таких столиков с приклеенными пакетами устанавливают на приспособлении алмазно-отрезного станка так, чтобы одна из базовых сторон прижималась к борту приспособления, расположение которого строго совпадает с направлением хода стола станка.

Выдерживание координат резки обеспечивают поперечным перемещением стола.

По окончании разрезки пакетов на полосы с помощью тонкого алмазного круга столики с пакетами поворачивают на 90, прижимают к борту второй базовой стороной и производят разрезку пакета уже на отдельные конде н са тор ы.

По окончании разрезки конденсаторы отделяют от подложки, отмывают в горячей воде, просушивают, металлизируя торцы одним из известных способов, и производят обжиг в конвейерной или муфельной печи.

15 Предмет изобретения

Способ изготовления прецизионных многослойных тонкопленочных керамических конденсаторов, включающий операции нанесения электродов на пленку, вырубки с использованием вырубного штампа, сборки заготовок в пакет, прессования пакета и разрезки его на полосы, отличающийся тем, что, с целью увеличения механической прочности и обеспечения монолитизации пакета с одновременным достижением высокой точности взаимного расположения электродов, сборку пакета заготовок осуществляют в процессе вырубки в гнезде матрицы штампа, а перед прессованием производят нагрев пакета.

486387 1

Составитель В. Задорожный

Редактор Е. Караулова Техред Т. Миронова

Корректор О. Тюрина

Заказ 3202(8 Изд. № 1843 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, 2