Устройство для контроля толщины и плоскопараллельности кристаллических пластин

 

СОюз СОВВтских

Социалистических

Республик (61)Дополнительное к авт. свид-ву

2 (22) Заявлено06.05.74 (21) 2030812/25-28 (51) М. Мл. С О1Ц 11/06

С 019 11/24 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 25.01.76Бтоллетеиь ¹ 3 (53) УД 531.717.2 н (088.8) (45) П,ата опубликования описанкя 1 1 08 76 1

Гасударственный квинтет

6вввтв Мнннстрвв СССР па двлам нэобрвтвннй н атнритнй

Г. Не Домышев, В. П. Садохин,и В, И. Скоморовский (72) Авторы изобретения (7>) заявитель Сибирский институт земного магнетизма, инос и а п ан „„ радиоволн (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ И ПЛОСКО-;

ПЛРЛЛЛКЛЬНОСТИ КРИСтЛЛЛИЧЕСКИХ . ПЛАСТИН

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля толши

1ны и плоскопараллельности кристаллических пластин и;может использоваться в проиэводст ве, занятом Изготовлением интерференпионно 5 .,поляриэационных фильтров.

Известно устройство для контроля нлосКопараллельных пластин, содержащее источ нкк монохроматического света, точечную диаф рагму, объектив коллиматора, пробное стекr6, ло, аналиэируюшую систему. Однак1о этим устройством невозможно проконтролировать ,толшину испытуемой пластины, так как в дан

-: l5 ном приборе наблюдают интерференпионную фартину, образованную лучами, отраженными

: от передней плоскости контролируемой пласти ны и1эталоиной поверхности пробного стекла.

Кроме того, известным устройством невоэ ,можно контролировать пластины непосредст °

,венно на полировальнике, так как исследуе .мую пластину необходимо устанавливать эа

1пробным стеклом и юстировать е в системе.1

Бель изобретения - повысить производи,тельность измерений и осушествить контроль,@

; во время добавки пластин непосредственно на полировальнике.

Для этого предлагаемое устройство снаб жено кристаллическим клином, установленньм эа объективом коллиматора перед полирова

1 ником, и плоским зеркалом закрепленным

Э . в полировальнике так, что плоскость зерка

1 ла наклонена K оптической осН объектива, коллиматора на угол, обеспечиваюший развФдение иэображений точечной диафрагмы от

KpHcTsBBH÷eñKoé пластины и от эФркала.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.

Оно содержит осветительную систему, chic

; тояшую из источника 1 монохроматическогп света (лазера)е,1микрообъектива 2, полупроз-! рачной пластины 3, объектива коллиматора

4, который одновременно служит объективоМ ! зрительной трубы. Вблизи фокальной плоскос ти объектива установлена четвертьволновая

;пластинка 5 и анализатор 6, угол поворота» !

»котороМ относительно четвертьволоповвй пл»ас тинки может быть ртсчитан по лимбу.

За объективом расположен кристалличес-, 500466

12

° -I

Составитель B. 1 оников

Редактор J3. Дашкова Тел ред N. Карандашове Корректор М ЛензеРмвн

Заказ 5 зд pp gP тыращ . 864 Подлвсвов

HHHHflH Государственного комитета Сонета Мввыстров СССР по делам изобретений ы открытяв

Москва, ПЗО35, Раушская ыаб., 4 Филиал ППП .Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4