Устройство для контроля полированных пластин

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ЬВтОРСКОМЮ СВИДЕтЕЛЬСтВЮ

Союз Советских

Социаиистичесиик

Республик (1)) 507771 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04 11.74(21) 2073811/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано25.03.7 6.бюллетень № 11 (45) Дата опубликования описания,13.04.76

Гасударатваккый канктет

Сааата Мккаетроа СССР аа лакеи кзебретани» и еткрыткй (53) УДК 5Э1.715.27 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. В. Гвоздевский, Л. А. Иванов, А. С. Савлук. и М. И, Щевелев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ПОЛИРОВАННЫХ ПЛАСТИН телевизионном экране возникает интерфе:ренционная картина, по которой и оценива ют качество полировки. При определении плоскостности пластин относительную неплоскостность. (деформацию) определяют подсчетом числа интерференционных полос или колец на экране телевизора, В процессе измерения горизонтальную поверхность оптического клина с помощью юстировочных винтов устанавливают параллельно поверхности контролируемой пластины. При каждом,измерении возникает необходимость и в ориентировании эталонного клина с помощью юстировочных винтов, что связано со значительными затратами времени.

Uem, изобретения — повышение производительности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве эталонный оптический клин расположен над полупроэ» рачным зеркалом так, что его горизонтальная плоскость служит опорой для кон» тролируемой пластины.

В предлагаемом устройстве эталонный ,оптический клин закреплен постоянно, а

Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено, например для определения степени дефектности полированных поверхностей, плоскостности полированных плоскостей любого профиля и стрелы рориба однородно изогнутых пластин, Известно устройство для контроля поли рованных пластин, содержащее последовательно расположенные источник когерентного излучения, коллиматор и полупрозрачное зеркало, эталонный оптический клин и видеоконтрольный блок, Кона ролируемую пластину устанавливают на подставке (предметном столике), на нее направляют когерентное излучение через д коллиматор, полупрозрачное зеркало и эталонный оптический клин сверху вниз. Эта« лонный оптический клин расположен под полупрозрачным зеркалом. Отраженный свет направляется полупрозрачным зеркалом на экран видеоконтрольного блока-.видикона

1щромыщленной телевизионной установки (ПТУ).

В результате интерференции, возникающей

I между световыми лучами, отраженными от анализируемой и эталонной поверхностей, на 25 (5l) М. Кл.С01В 11/24

507771 кбгерентное излучение направлено через него, коллиматор и полупрозрачное зеркало на поверхность контролируемой пласти,ны, вплотную прилегающей к горизонтальной поверхности клина. Такое взаимное расположение частей устройства, а также расположение контролируемой пластины по отношению к эталонному клину позволяет устранить операцию по выставлению оптического клина в процессе контроля, и, следовательно, повысить производительность контроля., На чертеже изображено описываемое уст; ройство.

Оно содержит источник когерентного из ® лучения-лазер 1, коллиматор 2 для расширения луча лазера и равномерного освещения поверхности контролируемой пластины 3,, полупрозрачное зеркало 4, эталонный оптический клин 5, видеоконтрольный блок 6, Пластину 3 помещают контролируемой поверхностью на горизонтальную плоскость эталонного оптического клина 5. После это го включают лазер 1. Луч света от лазера 1 достигает коллиматора 2, расширяет ся и, проходя через полупрозрачное зерка, ло 4 и эталонный оптический клин 5, по падает на контролируемую поверхность плаотины 3. Отраженный от поверхности плас

1 тины 3 свет направляется полупрозрачным яв зеркалом на видеоконтрольный блок 6. Интерференционную картину, получаемую на экране видеоконтрольного блока 6, анализируют и оценивают возможные дефекты в пластине 3.

В результате того, что в предлагаемом устройстве эталонный оптический клин ус тановлен неподвижно, а контролируемая пластина располагается непосредственнона его поверхности, процесс контроля упрощается, причем производительность контроля существенно возрастает. Эти преимущества обеспечивают самое широкое применение данного устройства в производствен ных условиях для установления разнообраз ных дефектов объектов различного рода, в частности пластин.

Формула иэобре ения

Устройство для контроля. полированиых пластин, содержашее последовательно рас положенные источник когерентного излуче ния, коллиматор и полупрозрачное зеркало, этапонный оптический клин и видеоконтродьиий бжн4 о т и н ч е ю щ e e а а тем, что, с целью повышения прризнодительноа тн контроля, эталонный оптичвакий клин расположен над подупро.зычным зеркалом так, что его горизонтальная плоскость служит опорой для контролируемой пластины °

Составитель Лобзова

Техред Л.,демьянова Корректор Л, Лилжш и< каи

Редактор В. Дибобес

Филиал ППП "Патент", . Ужгород, ул. Проектная, Заказ 161 Тираж 864 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Советч Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5