Устройство для изменения режимов работы электронного микроскопа

 

< ц 519788

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советскиа

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3 аявлено 06.06.74 (21) 2034065/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.06.76. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 21.07.76 (51) М, Кл. - Н 01 J 37/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.385.833 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Н. П. Александров, П. В. Лекарев и Ю. Я. Томашпольский (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕНЕНИЯ РЕ)КИМОВ РАБОТЫ

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано в конструкциях микроскопов.

Известны устройства для изменения режимов работы электронного микроскопа, содержащие узлы управления апсртурной и селекторной диафрагмами и переключатель рода работ.

Однако такие устройства нс позволяют быстро переводить электронный микроскоп из режима наблюдения электронно-микроскопической картины в режим наблюдения микродифракции.

Наиболее близкий прототип устройства рассмотрен в работе (1).

Микроскоп содержит узлы управления апертурной и селекторной диафрагмами, не связанными друг с другом, переключатель рода работ. Это не позволяет сократить время перехода от непосредственного наблюдения электронно-микроскопической картины на экране к получению микродифракционного изображения до такой степени, чтобы избежать разрушения некоторых объектов, например биологических.

Цель изобретения — сокращение времени перевода электронного микроскопа с одного режима на другой.

Это достигается тем, что узлы управления диафрагмами снабжены пневматическими камерами, включенными в форвакуумную систему, вакуумный клапан которой соединен с переключателем электрических цепей микроскопа. Пневмокамеры снабжены рычажным механизмом, взаимодействующим с соответствующими держателями диафрагм. Вакуумный клапан выполнен в виде трубки с двумя отверстиями на поверхности и глухой перегородкой внутри втулки с рукояткой, прикреплен к основанию переключателя электрических цепсй, причем подвижная втулка соединена с переключателем электрических цепей.

На фиг. 1 показано устройство на колонне микроскопа; на фиг. 2 изображена пнсвмока15 мера с рычажным механизмом; на фпг. 3— вакуумный клапан, связанный с переклпочателем режимов работ электрической схемы микроскопа.

Узел управления апертурной диафрагмы

20 (фиг. 1) состоит из корпуса 1, держателя диафрагмы 2, возвратной пружины 3, фиксирующих шариков 4, крепежной гайки 5, рукоятки 6 попеременного перемещения, опорного кольца 7, рукоятки 8 продольного перемещения и кнопки 9 быстрого ввода и вывода диафрагмы. На прижимной гайке узла установлен кронштейн 10, на котором закреплена пневмокамера 11, снабженная рычагом 12.

Узел управления селекторной диафрагмы

30 (фиг. 2) состоит из корпуса 13, держателя

519788 диафрагмы 14, возвратной пружины 15, рукоятки 16 поперечного перемещения, íà оси которой находится ступенчатый экспентрический валик 17, рукоятки 18 продольного перемещения, фиксирующего кулачка 19 с рукояткой 20 и прижимной пружины 21. На кронштейне 22 закреплена пневмокамера, состоящая из корпуса 23, диафрагмы 24, прижимного кольца 25, стойки 26, тяги 27 и рычага 28.

Вакуумный клапан (фиг. 3) состоит из трубки 29, имеющей на поверхности два отверстия 30 и 31, между которыми внутри трубки установлена глухая перегородка 32, и подвижной втулки 33 с рукояткой 34. Втулка имеет вакуумное уплотнение 35. Трубка прикреплена скобой 36 к основанию 37 переключателя электрических цепей, втулка соединена с рукояткой 38 переключателя.

Устройство работает следующим образом.

Электронный микроскоп юстируется в обычном порядке, при этом апертурная диафрагма вводится в колонну в режиме получения электронно-оптического изображения, а селекторная — в режиме модификации.

В режиме получения электронно-оптического изображения рукоятка 34 вакуумного клапана (фиг. 3) устанавливается в такое положение, когда втулка 33, имеющая вакуумное уплотнение 35, обеспечивает откачку воздуха из пневмокамер 11, 23. Переключатель электрических цепей, рукоятка 38 которой связана с втулкой 33, производит необходимое переключение в электрической схеме.

Откачка воздуха из пневмокамер осуществляется по следующей цепи: пневмокамеры, соединительные трубки, трубка 29, отверстие 31, отверстие 30, трубка 29 и форвакуумная система микроскопа. При этом диафрагма 24 пневмокамеры 23 втянута, тяга 27 утоплена, рычаг 28 своим свободным концом нажимает на рукоятку 20, которая, поворачивая держатель диафрагмы 14 вокруг оси, выводит селекторную диафрагму из оптического канала.

Рычаг 12 (фиг. 1) пневмокамеры 11 нажимает кнопку 9, держатель диафрагмы 2, переместившись вдоль своей оси, вводит в оптический канал микроскопа апертурную диафрагму. Точная установка диафрагмы осуществляется рукоятками 6 и 8 поперечного и продольного перемещения.

При переходе в режим микродифракции рукоятка вакуумного клапана (фиг. 3) устанавливается в такое положение, когда втулка

33, имеющая вакуумное уплотнение 35, обеспечивает напуск воздуха в пневмокамеры 11, 23 (фиг. 1, 2). Переключатель электрических цепей, рукоятка 38 которой связана с втулкой 33, производит необходимое переключение в электрической схеме. Воздух напускается по цепи: отверстие 31 трубки 29, соединительные трубки и пневмокамеры.

При этом возвратная пружина 21 (фиг. 3) прижимает фиксирующий кулачок 19 к ступенчатому эксцентричному валику 17 (фиг.

2) и таким образом селекторная диафрагма введена в оптический канал микроскопа, Точная установка диафрагмы по центру оптической оси осуществляется рукоятками 16 и 18 поперечного и продольного перемещения.

С напуском воздуха в пневмокамеру 11

15 (фиг. 1) рычаг 12 освобождает кнопку 9 быстрого ввода и вывода апертурной диафрагмы. Держатель диафрагмы 2 под действием возвратной пружины 3 выводит диафрагму из оптического канала.

20 При изменении режимов описанные выше процессы повторяются.

Таким образом, в режиме получения электронно-оптического изображения апертурная диафрагма введена, селекторная выведена;

25 в режиме микродифракции селекторная диафрагма введена, апертурная выведена.

Формула изобретения

30 1. Устройство для изменения режимов работы электронного микроскопа, содержащее узлы управления апертурной и селекторной диафрагмами и переключатель рода работ, отличающееся тем, что, с целью сокраще35 ния времени перевода электронного микроскопа с одного режима на другой, узлы управления диафрагмами снабжены пневматическими камерами, включенными в форвакуумную систему, вакуумный клапан которой соеди40 нен с переключателем электрических цепей микроскопа.

2. Устройство по и. 1, отличающее с я тем, что пнсвмокамеры снабжены рычажным механизмом, взаимодействующим с соответ45 ствующими держателями диафрагм.

3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что вакуумный клапан выполнен в виде трубки с двумя отверстиями на поверхности и глухой перегородкой, расположенной внут50 ри втулки с рукояткой, прикреплен к основанию переключателя электрических цепей, причем втулка соединена с переключателем электрических цепей.

55 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент США Хе 3535514, кл. 250 — 49 — 5, от 24.05.66.

Редактор Т. Рыбалова

Составитель Б, Канин

Техред А, Камышникова Корректор Л. Брахнина

Заказ 1515/11 Изд. М 1441 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сап нова, 2